Заключение
Итак, перспективы исследований наноматериалов и нанотехники на их основе в т.ч. для применения в области создания СВЧ компонентов и СВЧ устройств очевидны, хотя технологически для российского уровня производства микроэлектронных устройств являются к сожалению лишь будущим.
Однако есть область, называемая нанотехнологией ей можно и нужно заниматься уже сейчас в сегодняшнем состоянии отставания на 10 лет от Японии минимум.
Есть предложение поставить нанотехнологический процесс на порядок увеличивающий разрешающую способность электронной литографии
“Исследование и разработка фуллереновых масок для электронной литографии”.
Разрешающая способность электронной литографии в значительной степени определяется размером молекул материала резиста. В этом отношении перспективным резистом для электронной литографии является наноматериал фуллерен С60, молекулярный размер которого значительно меньше традиционно используемых высокомолекулярных соединений, в качестве негативных электронных резистов.
Пленки С60 наносить на подложки GaAs методом вакуумного напыления. Облучать пучком электронов, с энергией ~30 кэВ.
Исследовать чувствительность жесткого негативного резиста и скорость реактивного ионного травления хлором.
Рассчитанные нами величины отношений скоростей травления в структурах С60 /GaAs должны быть ~20.
Т.о. маска С60 толщиной ~3000 Å на подложках GaAs должна позволить изготавливать уверенно структуры с микростолбиками диаметром  мкм.
Приложение
База литературных источников
Основы политики Российской Федерации в области науки и технологий на период до 2010 года и дальнейшую песпективу // Поиск. 2002. № 16 (19 апреля).
Алферов Ж.И., Асеев А.Л., Гапонов С.В., Копьев П.С, Панов В.И., Полторацкий Э.А., Сибельдин Н.Н., Сурис Р.А. Наноматериалы и нанотехнологий // Микросистемная техника. 2003. №8. С. 3-13.
Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Прогноз направления развития // Под ред. М.К.Роко, Р.С.Уильямса и П.Аливисатоса: Пер. с англ. М.: Мир, 2002. С. 292.
Глинк Б., Пастернак Дж. Молекулярная биотехнология. Принципы и применение: Пер. с англ. М.: Мир, 2002. С. 589.
Пикро Т.,Пирси П. Ионная имплантация//В мире науки.-1985.-№5.-С.51-58.
Боголюбова Л.С.,Карева Т.А. Влияние имплантации ионов средних энергий на свойства пленок двуокиси кремния//Электронная техника.Сер.7,Технология, организация производства и оборудование.-1982.-Вып.1(110).-С. 10-13.
MOS capacitance-voltage characteristics and dielectric properties of ion implanted thermal oxides on silicon/A.Chandorkar, V.T. Karulkar, A.S.Vengurlekar, K.V. Ramanathan.Phys. status solidity.-1984.-Vol. A81,№1.-P. 407-414.
Дж. Мейер, Л. Эриксон, Дж. Девис. Ионное легирование полупроводников: Пер. с англ./ Под ред. В.И. Гусева-М.: Мир, 1973.-288 с.
Павлов П.В. Особенности синтеза химических соединений в полупроводниках и диэлектрических материалах при ионном внедрении// Труды 2-го советско-американского семинара по ионной имплантации, Пущино, 1979.-С. 251-267.
Козейкин Б.В., Фролов И.А., Высоцкий С.А. Аномальное поведение примесей в ионнолегированном эпитаксиальном слое//ФПТ.-1987.-Т. 2, №5.-С.979.
Козейкин Б.В., Бахтиозин В.У. Электрофизические параметры структур арсенида галлия, имплантированных ионами азота//Электронная техника.Сер.6, Материалы.-1983.-Вып.1.-С.77.
Гусева М.И. Ионная имплантация в металлах//Поверхность. Физика, химия, механика.-1982.-№4.-С.27-50.
Палмер Д. Успехи ионной имплантации: Сборник статей:-Пер. с англ./Под ред. В.С. Вавилова.-М.:Мир, 1980.-305с.
Ion beam mixing kinetics of Fe-Al multilayers studies by insitu electrical resistivity messurements//J.P. Riviere, J.Delafoud,C.Jaoneu,A.Bellara,J.E. Dinhut//Appl. Phys.-1989.-Vol.A33,№2.-P.77-82.
Конорова Е.А., Ткаченко А.Д., Цикунов А.В. Увеличение адгезии пленки сурьмы к поверхности алмаза методом атомов отдачи//Сверхтвердые материалы.-1983.-№3.-С. 8-10.
Пат. 49-108064 Япония. Способ изготовления фотошаблона Т. Хасимото, Т. Окуяма.
Камадрин А.И., Ионное облучение пленок фоторезистов при изготовлении износостойких фотошаблонов// Электронная техника.-1982,-Сер.7, Технология, организация производства и оборудование.-Вып.1(110).-С. 66-67.
Перинский В.В. Применение ионно-стимулированной химической пассивации металлов для формирования СИС СВЧ// Тез.докл. Всесоюзный науч.-техн.конф./ САПР радиоэлектронных систем СВЧ на объемно-интегральных схемах.-Суздаль,1989.-С.203
Фазообразование в пленках алюминия, имплантированных различными ионами/Клечковская В.В., Семилетов С.А., Тихонова А., Хитрова В.И.//Известия АН СССР.Сер.Физика.-1983.-Т.47,№6.-с.1228-1231.
Перинский В.В., Маренко Б.А. Исследование радиационно-химической пассивации тонких алюминиевых слоев//Тез.докл. межотраслевой науч.-техн. Конф./ Технологические проблемы комплексной миниатюризации РЭА.-Саратов: Дом техники Областного совета НТО,1986.
Козейкин Б.В., Перинский В.В. Структурно-химическая модификация имплантированного алюминия// Электронная техника. Сер.7, Технология и организация производства и оборудование.-1989.-Вып.5.-С.4-7.
О влиянии бомбардировки на химическую активность металлических пленок/В.Ф. Дорфман, Б.В. Севастьянов, Б.В. Козейкин и др.//Микроэлектроника-1982.-Т.2,вып.4.-С. 349-356.
Влияние ионной имплантации на химическую активность твердых тел/ В.Ф. Дорфман, И.А. Фролов, Б.В.Козейкин, В.В.Севастьянов//Приборы и системы управления.-1980.-№3.-С.41-42.
Перинский В.В. Разработка и применение имплантационных методов обработки материалов твердотельных СВЧ устройств ионами электрически неактивных примесей:-Автореф.дис. на соиск.уч.ст.к.т.н.,1985.
Эффекты аномальной химической пассивации металлов при бомбардировке ионами аргона/ В.В. Перинский, Б.В.козейкин, А.И.Фролов, А.Г.Гурьянов//Электронная техника.Сер.8.-1967.-Вып.2(125).-С.40-42.
О взаимосвязи гидрофобности покрытий на поверхности стали и их защитных свойств и о роли наноструктурных добавок / Ярцев И.К., Плескунов В.Н., Сырков А.Г., Федосеева М.С. // Цветные металлы. - 2005. - N 9. - С.36-40. - Библиогр.: 12 назв.
О плазмонном резонансе в наносфере / Зуев В.С., Францессон А.В., Власов Д.В., Зуева Г.Я. // Оптика и спектроскопия. - 2004. - Т.96, N 3. - С.472-476. - Библиогр.: 14 назв.
О применение полимерных нанокомпозитов в качестве болометров / Варфоломеев А.Е., Волков А.В., Зарецкий Д.Ф. и др. // Письма в ЖТФ. - 2004. - Т.30, вып.16. - С.1-6. - Библиогр.: 7 назв.
Об определении собственных частот нанообъектов / Еремеев В.А., Иванова Е.А., Морозов Н.Ф., Соловьев А.Н. // Докл. АН. - 2006. - Т.406, N 6. - С.756-759. - Библиогр.: 11 назв.
Об оценке прочности твердых тел в слоях нанометрового диапазона / Волынский А.Л., Моисеева С.В., Ярышева Л.М., Бакеев Н.Ф. // Докл. АН. - 2006. - Т.409, N 1. - С.64-65. - Библиогр.: 10 назв.
Образование высокотемпературных фаз в наночастицах диоксида циркония / Петрунин В.Ф., Попов В.В., Чжу Хунчжи, Тимофеев А.А. // Инж. физика. - 2003. - N 4. - С.2-6. - Библиогр.: 11 назв.
Образование наночастиц меди и латуни при лазерной абляции в жидкости / Казакевич П.В., Воронов В.В., Симакин А.В., Шафеев Г.А. // Квантовая электроника. - 2004. - Т.34, N 10. - С.951-956. - Библиогр.: 17 назв.
Обсуждение [темы "Наноструктуры и нанотехнологии"] // Вестн. РАН. - 2003. - Т.73, N 5. - С.429-449.
Обухов И.А. О возможности применения СТМ-АСМ литографии для создания новых типов квантовых приборов // Микросистемная техника. - 2003. - N 6. - С.34-37. - Библиогр.: 6 назв.
Оглезнева С.А. Порошковые метастабильные стали с нанокристаллическими элементами структуры // Металлы. - 2005. - N 5. - С.49-58. - Библиогр.: 28 назв.
Огнев А.В., Воробьев Ю.Д., Чеботкевич Л.А. Магнитная анизотропия нанокристаллических Co / Cu / Co пленок // Физика металлов и металловедение. - 2004. - Т.97, N 6. - С.47-52. - Библиогр.: 9 назв.
Оликевич А., Свидиненко Ю. Российский наноурожай // Что нового в науке и технике. - 2004. - N 12(26). - С.40-51.
Оликевич А.А. Эволюция деловой разведки и контрразведки в эпоху нанотехнологий // Защита информации. Конфидент. - 2004. - N 4(58). - С.56-59.
Определение среднего размера и оценка полидисперсности наночастиц золота по спектрам поглощения и рассеяния света / Богатырев В.А., Дыкман Л.А., Хлебцов Б.Н., Хлебцов Н.Г. // Оптика и спектроскопия. - 2004. - Т.96, N 1. - С.139-147. - Библиогр.: 25 назв.
Оптимизация использования процесса нанофильтрации при подготовке воды питьевого качества / Первов А.Г., Ефремов Р.В., Андрианов А.П., Макаров Р.И. // Критические технологии. Мембраны. - 2004. - N 3(23). - С.3-13. - Библиогр.: 5 назв.
Оптические свойства наноструктур: Учеб. пособие / Воробьев Л.Е., Ивченко Е.Л., Фирсов Д.А., Шалыгин В.А. - СПб.: Наука, 2001. - 188 с. - Библиогр.: 46 назв.
Особенности окисления нанопорошка вольфрама / Громов А.А., Квон Я.С., Ильин А.П., Верещагин В.И. // Журн. физ. химии. - 2004. - Т.78, N 9. - С.1689-1693. - Библиогр.: 12 назв.
Особенности получения модифицированным золь-гель методом силикатных стекол, содержащих наноразмерные частицы соединений меди // Алексеенко А.А., Гурин В.С., Юмашев К.В. и др. // Перспективные материалы. - 2004. - N 1. - С.27-35. - Библиогр.: 34 назв.
Особенности роста самоиндуцированных SiGe наноостровков на SiGe буфере / Валах М.Я., Джаган В.Н., Красильник З.Ф. и др. // Нано- и микросистемная техника. - 2005. - N 6. - С.8-13. - Библиогр.: 16 назв.
Особенности структуры и магнитные свойства наночастиц Co-Ni, капсулированных в углеродных нанотрубках / Комогорцев С.В., Исхаков Р.С., Шайхутдинов К.А. и др. // Вестн. КрасГУ. - 2004. - N 5. - С.37-41. - Библиогр.: 8 назв.
Павлюченко М.Н. Анализ самоорганизованных наноразмерных структур в имплантированном кремнии: Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук / Мос. гос. ин-т электрон. техники. - М., 2002. - 26 с..
Панин В.Е., Панин А.В. Проблемы мезомеханики прочности и пластичности наноструктурных материалов // Изв. вузов. Физика. - 2004. - Т.47, N 8. - С.5-17. - Библиогр.: 24 назв.
Панфилов Ю.В. Наноструктурированные материалы и нанотехнология: анализ современного состояния. Ч.2 // Нано- и микросистемная техника. - 2005. - N 12. - С.26-33.
Панфилов Ю.В. Технология получения, свойства и области применения наноструктурированных материалов (обзор докладов 7 междунар. конгр. "Наноструктурированные материалы") // Справочник. Инж. журнал. - 2006. - N 7(112). - С.17-30.
Паренаго О.П., Бакунин В.Н., Кузьмина Г.Н. Наноразмерные структуры в углеводородных смазочных материалах // Рос. хим. журнал. - 2003. - Т.47, N 2. - С.45-50. - Библиогр.: 20 назв.
Пархоменко Ю.Н., Малинкович М.Д., Антипов В.В. Сканирующий зондовый микроскоп: некоторые новые решения // Изв. вузов. Матер. электрон. техники. - 2005. - N 4. - С.42-49. - Библиогр.: 18 назв.
Пентагональные нанотрубки, формирующиеся при электрокристаллизации меди / Викарчук А.А., Довженко О.А., Костин В.И., Ясников И.С. // Материаловедение. - 2005. - N 3(96). - С.42-47. - Библиогр.: 15 назв.
Пентагональные нанотрубки, формирующиеся при электрокристаллизации меди / Викарчук А.А., Довженко О.А., Костин В.И., Ясников И.С. // Материаловедение. - 2005. - N 3(96). - С.42-47. - Библиогр.: 15назв.
Перенос волнообразного нанорельефа на поверхность различных материалов / Кибалов Д.С., Журавлев И.В., Лепшин П.А., Смирнов В.К. // Письма в ЖТФ. - 2003. - Т.29, вып.22. - С.63-67. - Библиогр.: 6 назв.
Пермяков Е.А. Применение нанотехнологий в молекулярной и клеточной биофизике // Нанотехника. - 2005. - N 2. - С.78-83. - Библиогр.: 33 назв.
Перов М.Ю. Развитие методов анализа 1/f шума полупроводниковых наноразмерных структур: Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук / Нижегород. гос. ун-т им. Н.П.Лобачевского. - Ниж. Новгород, 2003. - 18 с.
Перспективные материалы и технологии: Нанокомпозиты. Т.2. - М.: ТОРУС ПРЕСС, 2005. - 288 с.
Перспективы изучения нанобактерии в пульмонологии / Волков В.Т., Смирнов Г.В., Волкова Н.Н. и др. // Докл. АН ВШ РФ. - 2004. - N 1(2). - С.113-122. - Библиогр.: 15 назв.
Перспективы развития наноэлектронных и микроэлектромеханических систем. Взгляд на проблему // Электрон. промышленность. Наука. Технологии. Изделия. - 2004. - N 3. - С.22-29.
Петрунин В.Ф. Российская ниша наноматериалов как перспективная база нанотехнологий // Нано- и микросистемная техника. - 2005. - N 12. - С.2-4. - Библиогр.: 7 назв.
Петрунин В.Ф. Ультрадисперсные (нано-) материалы и нанотехнологии // Инж. физика. - 2001. - N 4. - С.20-27. - Библиогр.: 23 назв.
Петрунин В.Ф. Ультрадисперсные порошки - российская "ниша" наноматериалов и перспективная база технологий // Нанотехнология - технология XXI века: Матер. междунар. науч.-техн. интернет-конф. - М.: МГОУ, 2004. - С.5-6.
Петрунин В.Ф. Ультрадисперсные порошки - российская ниша наноматериалов и перспективная база нанотехнологий // Экология - XXI век. - 2005. - N 3(27). - С.90-91.
Петрушко М.И. Энергетическая структура макромолекул и наноструктур: Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук / МЭИ (ТУ). - М., 2004. - 19 с.
Пискунов В.Н., Давыдов И.А., Жогова К.Б. Фуллерены и нанотрубки. Основные свойства и методы расчета: Учеб. издание. - Саров: РФЯЦ - ВНИИЭФ, 2005. - 92 с.
Пискунов В.Н., Жогова К.Б., Давыдов И.А. Наноматериалы и нанотехнологии - и наука и фантастика // Вестн. Саровского физтеха. - 2005. - N 8. - С.66-67.
Плазмохимический способ получения ультрадисперсных (нано-) порошков оксидов металлов и направления их применения / Дедов Н.В., Кутявин Э.М., Малый Е.Н. и др. // Материалы 7 науч.-техн. конф. Сиб. хим. комбината, Северск, 22-25 окт. 2002 г. В 4 ч. Ч.1. - Северск: СГТИ, 2003. - С.104-110. - Библиогр.: 5 назв.
Плазмохимический способ получения ультрадисперсных (нано-) порошков оксидов металлов и перспективные направления их применения / Ларин В.К., Кондаков В.М., Малый Е.Н. и др. // Изв. вузов. Цветная металлургия. - 2003 - N 5. - С.59-64. - Библиогр.: 12 назв.
Пленки - 2004: Матер. Междунар. науч. конф. "Тонкие пленки и наноструктуры", Москва, 7-10 сент. 2001 г. В 2 ч. - М.: МИРЭА, 2004.
Ч.1. - 252 с.
Ч.2. - 244 с.
Пленки - 2005: Матер. междунар. науч. конф. "Тонкие пленки и наноструктуры", Москва, 22-26 нояб. 2005 г. - М.: МИРЭА, 2005.
Ч.1. - 244 с.
Ч.2. - 232 с.
Плохов Д.И. Макроскопические квантовые когерентные эффекты, индуцированные нестационарным магнитным полем в динамике высокоспиновых магнитных нанокластеров, молекул и ионов: Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук / МГУ. - М., 2004. - 20 с.
Повышение стойкости инструмента с помощью многокомпонентных наноструктурных тонкопленочных покрытий / Панфилов Ю.В., Гладышев И.В., Левашов Е.А. и др. // Справочник. Инж. журнал. - 2004. - N 4(85). - С.40-42. - Библиогр.: 3 назв.
Подпотенциальное осаждение свинца на наноразмерные частицы серебра и золота / Бокшиц Ю.В., Осипович Н.П., Стрельцов Е.А., Шевченко Г.П. // Вестн. Белорус. гос. ун-та. Сер.2. Химия. Биология. География. - 2004. - N 1. - С.16-20. - Библиогр.: 15 назв.
Поздняков В.А. Механизмы и кинетика формирования наноаморфных твердых тел // Материаловедение. - 2004. - N 6(87). - С.32-40. - Библиогр.: 23 назв.
Поздняков В.А. Микроструктурные механизмы зернограничной деформации нанокисталлических материалов // Материаловедение. - 2003. - N 3(72). - С.2-8. - Библиогр.: 24 назв.
Поздняков В.А. Особенности механического поведения наноструктурных материалов, полученных кристаллизацией аморфных сплавов // Материаловедение. - 2003. - N 2(71). - С.32-38. - Библиогр.: 16 назв.
Поздняков В.А. Особенности разрушения нанокристаллических материалов // Изв. АН. Сер. физ. - 2003. - Т.67, N 6. - С.867-875. - Библиогр.: 28 назв.
Поздняков В.А. Размерные эффекты мартенситных превращений в нанокристалллических материалах // Изв. РАН. Сер. физическая. - 2005. - Т.69, N 9. - С.1282-1291. - Библиогр.: 32 назв.
Поздняков В.А., Глезер А.М. Структурные механизмы разрушения нанокристаллических материалов // ФТТ. - 2005. - Т.47, вып.5. - С.793-800. - Библиогр.: 29 назв.
Покидько Б.В. Адсорбционное модифицирование слоистых силикатов для получения полимерсиликатных нанокомпозитов: Автореф. дис. ... канд. хим. наук / Мос. гос. акад. тонкой хим. технологии. - М., 2004. - 24 с.
Покропивный А.В., Покропивный В.В. Дислокационный механизм формирования нанотрубок // Письма в ЖТФ. - 2003. - Т.29, вып.12. - С.21-24. - Библиогр.: 8 назв.
Покропивный В.В. Неуглеродные нанотрубки (Обзор). I. Методы синтеза // Порошковая металлургия. - 2001. - N 9/10. - С.50-63. - Библиогр.: 102 назв.
Полухин В.А. Моделирование наноструктуры и прекурсорных состояний. - Екатеринбург: УрО РАН, 2004. - 207 с. - Библиогр.: 293 назв.
Получение и исследование атомной и магнитной структуры нанокристаллических кобальтовых покрытий на порошковые тефлоновые материалы / Исхаков Р.С., Чеканова Л.А., Мальцев В.К. и др. // Перспективные материалы. - 2003. - N 5. - С.78-83. - Библиогр.: 10 назв.
Получение и исследование наноразмерных пленок меди с фрактальной структурой / Серов И.Н., Лукьянов Г.Н., Марголин В.И. и др. // Микросистемная техника. - 2004. - N 1. - С.31-37. - Библиогр.: 18 назв.
Получение и структура пористой керамики из нанокристаллического диоксида циркония / Никитин Д.С., Жуков В.А., Перков В.В. и др. // Неорг. материалы. - 2004. - Т.40, N 7. - С.869-872. - Библиогр.: 7 назв.
Получение износостойких хромовых покрытий с применением наноалмазов различной природы / Долматов В.Ю., Фуджимура Т., Буркат Г.К. и др. // Порошковая металлургия. - 2003. - N 11/12(434). С.55-59. - Библиогр.: 9 назв.
Получение нанокристаллических материалов с уникальными магнитными свойствами / Цепелев В.С., Белозеров В.Я., Влох А.Н. и др. // Изв. вузов. Электроника. - 2002. - N 5. - С.13-16. - Библиогр.: 8 назв.
Получение наночастиц углерода с помощью электродугового разряда между коаксиальными электродами / Чупрасов В.В., Третьяк М.С., Торопов В.В. и др. // Инж.-физ. журнал. - 2004. - Т.77, N 3. - С.152-154. - Библиогр.: 3 назв.
Помогайло А.Д. Металлополимерные нанокомпозиты с контролируемой молекулярной архитектурой // Рос. хим. журнал. - 2002. - Т.46, N 5. - С.64-73.
Помогайло А.Д. Полимерный золь-гель синтез гибридных нанокомпозитов // Коллоидн. журн. - 2005. - Т.67, N 6. - С.726-747. - Библиогр.: 108 назв.
Помогайло А.Д., Розенберг А.С., Уфлянд И.Е. Наночастицы металлов в полимерах. - М.: Химия, 2000. - 672 с. - Библиогр.: 2156 назв.
Пономарева И.В. Динамические процессы трансформаций углеродных "луковичных" и нанотрубных структур: Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук / Ин-т биохим.физики РАН. - М., 2004. - 20 с.
Попков А.Ф. Магнитная наноэлектроника // Электрон. промышленность. Наука. Технологии. Изделия. - 2004. - N 3. - С.38-42. - Библиогр.: 11 назв.
Попов В.А., Котов Ю.А., Иванов В.В. Новые способы получения металло-матричных композитов, основанные на применении наноматериалов // Цв. металлы. - 2005. - N 1. - С.92-95. - Библиогр.: 4 назв.
Попова Г.В. Молекулярная инженерия наноразмерных систем // Нанотехника. - 2004. - N 1. - С.47-48.
Попова Г.В., Коригодский А.Р. Разумные биомиметические материалы для молекулярной электроники и медицины // Нанотехника. - 2004. - N 1. - С.41-43.
Попова Г.В., Спицын А.Н. Белковые модели для переноски лекарственных веществ: от мезо- до наноразмерного уровня // Нанотехника. - 2005. - N 2. - С.84-89. - Библиогр.: 33 назв.
Попок В.Н., Степанов А.Л., Оджаев В.Б. Синтез наночастиц серебра в стеклах методом ионной имплантации и исследование их оптических свойств // Журн. прикл. спектроскопии. - 2005. - Т.72, N 2. - С.218-223. - Библиогр.: 23 назв.
Потапов А.А. Состояние и перспективы построения теоретических основ механосинтеза // Нанотехника. - 2005. - N 4. - С.32-42. - Библиогр.: 18 назв.
Прангишвили И.В., Алексенко А.Г., Бабаян Р.Р. Нанотехника, наноиндустрия, микросистемы // Датчики и системы. - 2002. - N 7. - С.57-65. - Библиогр.: 32 назв.
Применение ионной имплантации для синтеза наночастиц меди в оксиде цинка с целью создания новых нелинейно-оптических материалов / Степанов А.Л., Хайбуллин Р.И., Кан Н. и др. // Письма в ЖТФ. - 2004. - Т.30, вып.20. - С.8-16. - Библиогр.: 16 назв.
Применение нанопорошков при изготовлении высоконагруженных деталей транспортных средств / Крушенко Г.Г., Редькин В.Е., Карпов И.В., Гончаров В.М. // Технология машиностроения. - 2003. - N 2. - С.37-40. - Библиогр.: 14 назв.
Применение сканирующей оптической микроскопии ближнего поля для изучения субмикро- и нанообъектов, а также распределения электромагнитного поля / Ежов А.А., Магницкий С.А., Музыченко Д.А., Панов В.И. // Наукоемкие технологии. - 2005. - Т.6, N 1. - С.34-40. - Библиогр.: 28 назв.
Принц В.Я. Нанооболочки и прецизионные наносистемы на основе напряженных гетероструктур: Автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук / ИФП СО РАН. - Новосибирск, 2005. - 40 с.
Принц В.Я. Трехмерные самоформирующиеся наноструктуры на основе свободных напряженных гетеропленок // Изв. вузов. Физика. - 2003. - Т.46, N 6. - С.35-43. - Библиогр.: 43 назв.
Принц В.Я., Селезнев В.А., Чеховский А.В. Самоформирующиеся полупроводниковые микро- и нанотрубки // Микросистемная техника. - 2003. - N 6. - С.29-34. - Библиогр.: 41 назв.
Проблемы создания нанореакторов для синтеза металлических наночастиц в углеродных оболочках / Липанов А.М., Кодолов В.И., Хохряков Н.В. и др. // Альтернативная энергетика и экология. - 2005. - N 2(22). - С.58-63. - Библиогр.: 6 назв.
Прокофьева Е. Нанотехнологии - производству 2005 // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2005. - N 8. - С.81.
Процессы микро- и нанотехнологии: Учеб. пособие / Данилина Т.И., Смирнова К.И., Илюшин В.А., Величко А.А. - Томск: ТУСУР, 2005. - 316 с. - Библиогр.: 52 назв.
Прочность и структура нанокристаллического Ti / Носкова Н.И., Перетурина И.А., Столяров В.В., Елкина О.А. // Физика металлов и металловедение. - 2004. - Т.97, N 5. - С.106-112. - Библиогр.: 17 назв.
Прошин Ю.Н., Хусаинов М.Г. Многовариантные спиновые переключатели тока на базе наноструктур ферромагнетик - сверхпроводник // Наукоемкие технологии. - 2004. - Т.5, N 4. - С.65-74. - Библиогр.: 20 назв.
Псахье С.Г., Зольников К.П., Блатник С. О проектировании и создании интеллектуальных наноустройств на основе современных нанотехнологий // Физ. мезомеханика. - 2003. - Т.6, N 4. - С.125-128. - Библиогр.: 16 назв.
Птицын В.Э. Новый высокоинтенсивный "точечный" источник электронов // Науч. приборостроение. - 2005. - Т.15, N 4. - С.18-26. - Библиогр.: 23 назв.
Пул Ч., Оуэнс Ф. Нанотехнологии: Учеб. пособие / Пер. с англ. - 2-е изд., доп. - М.: Техносфера, 2005. - 336 с.
Пути получения упорядоченных гетероструктур Ge-Si с германиевыми нанокластерами предельно малых размеров / Болховитянов Ю.Б., Кривощапов С.Ц., Никифоров А.И. и др. // ФТТ. - 2004. - Т.46, вып.1. - С.67-69. - Библиогр.: 24 назв.
Путилов А.В. О концепции инновационного развития результатов работ в области наноматериалов и нанотехнологий // Микросистемная техника. - 2003. - N 10. - С.22-27.
Путилов А.В. О развитии работ в России в области наноматериалов и нанотехнологий // Микросистемная техника. - 2003. - N 9. - С.2-5.
Пчеляков О.П. Формирование пленок и наноструктур при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния и германия: Автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук / ИФП СО РАН. - Новосибирск, 1996. - 32 с.
Пятаев М.А. Электронный транспорт в искривленных наноструктурых с присоединенными проводниками: Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук / Мордов. гос. ун-т. - Саранск, 2005. - 18 с.
Развитие в России работ в области нанотехнологий / Алфимов С.М., Быков В.А., Гребенников Е.П. и др. // Микросистемная техника. - 2004. - N 8. - С.2-8. - Библиогр.: 4 назв.
Развитие нанотехнологии в США // Коринф. - 2004. - N 13(757). - С.14-15.
Развитие нанотехнологий и их применение для разработки устройств полупроводниковой электроники / Сидоров Ю.Г., Торопов А.И., Шашкин В.В. и др. // Автометрия. - 2004. - Т.40, N 2. - С.4-19. - Библиогр. |
