Валентина Ширшова Екатерина Фомченко bazalt1@rambler ru
Скачать 325.46 Kb.
|
Оборудование для нанесения поли-n-ксилиленовых покрытий. В настоящее время серийное производство отечественных установок для нанесения ППКП отсутствует. До 2006 г. в основном использовались установки 1989-1991 г. выпуска (ВЗ-901, КОШ, Ксигер, Ксигер-1). Установки отличаются объемами камер полимеризации (от 15 до 130 л), конструктивами основных узлов испарения и пиролиза, методами их нагрева, вакуумными системами, энергопотреблением. В связи с низким уровнем автоматизации и существенным физическим износом для обеспечения работоспособности установок и получения качественных покрытий требуется высококвалифицированный персонал, что значительно увеличивает трудоемкость их обслуживания и стоимость покрытия. Фирма ООО “Базальт”, имеющая большой практический опыт по нанесению ППКП на установках различных типов, с 2005 г. начала разработку и выпустила ряд технологических промышленных установок: ВЗ-901М, УНБ-1, УНБ-2. Рис.4   УНБ-1 УНБ-2 П  олучение высококачественных покрытий в этих установках обеспечивается современными средствами контроля и управления технологическими параметрами процесса. За счет применения прибора прямого контроля толщины наносимого покрытия удалось разработать алгоритм автоматического управления многофакторным процессом и реализовать его на обычном ПК.ВЗ-901М Технические данные выпускаемых установок.
Установка ВЗ-901М – модифицированная установка ВЗ-901. Сохранены, хотя и с принципиальными доработками, основные конструктивные элементы испарителя, пиролизатора и вакуумной системы. Полностью заменена система управления технологическими параметрами процесса. Установлены современные датчики и микропроцессорные вторичные преобразователи вакуума, микропроцессорные регуляторы температуры. Впервые в установке реализовано программное управление процессом нанесения покрытия с заданной скоростью роста пленки до полного испарения димера. Установки УНБ-1 и УНБ-2 – это модели новой конструкции (рис.4). Особенностями их конструкции являются: - новые технические решения конструктивных узлов установки - новый программный продукт автоматического управления процессом - современные средства контроля и управления - 2-х уровневая система управления - модульность конструкции - любой объем камеры нанесения покрытия - удобство в обслуживании и ремонте - цена в 2-3 раза ниже импортных анализов - прямой контроль толщины покрытия в ходе процесса УНБ-1 – малогабаритная установка с объемом камеры осаждения от 5 до 25 л. УНБ-2 – автоматическая промышленная установка модульного типа. Может выпускаться с разными объемами камеры осаждения (от 50 до 200 л). В этих установках реализованы новые технические решения по конструкции основных узлов установки, уменьшающие энергопотребление и исключающие применение системы охлаждения. Максимальная автоматизация процесса обеспечивает надежную и стабильную работу установки и исключает влияние человеческого фактора. При разработке установок особое внимание было уделено удобству обслуживания и ремонтопригодности: любое устройство электроавтоматики доступно для проверки и ремонта без демонтажа других устройств. На сегодняшний день фирма “Базальт” является единственным отечественным разработчиком и производителем установок для нанесения поли-n-ксилиленовых покрытий по заказам предприятий. Как видно из приведенного материала, технология поли-n-ксилиленовых покрытий интересна не только в научном плане, но и имеет большую область практического применения. В настоящее время продолжаются научные исследования в области ППКП, которые проводятся в НИФХИ им. Л.Я Карпова. К сожалению, летом 2005г. безвременно ушел из жизни профессор И.Е. Кардаш – безусловный лидер и авторитет в области химии полимеров России. Но в институте остался высококвалифицированный коллектив, который успешно продолжает начатые им исследования по ряду направлений: - исследование механизма газофазной полимеризации на поверхности при формировании ППКП [37] -получение ППКП с уникальными оптическими, электрофизическими свойствами и термостойкостью [38, 39] - получение нанокомпозиционных материалов на основе поли-n-ксилилена и его производных уникальными свойствами (например, сенсорными) [40, 41] - применение ППКП для реставрации (консервации) уникальных памятников культуры (музейных экспонатов). Дальнейшему, более широкому использованию поли-n-ксилиленов в нашей стране будет способствовать восстановление отечественного производства исходных материалов, разработка новых методов их синтеза, что сделает эту технологию более дешевой и доступной. Важнейшее значение при этом для масштабного освоения отечественными предприятиями этой уникальной технологии имеет и необходимость создания серийного производства установок для нанесения покрытий, которое может иметь место только при государственном целевом финансировании. ЛИТЕРАТУРА 1. Ткачук Б.В., Колотыркин В.М. Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы. Л.,Химия, 1977, 214 с. 2. Gorham W.F. "J. Polymer Sci.", 1966, A-1, 4, №12, р. 3027-3039. 3. Кардаш И.Е., Пебалк А.В., Праведников А.В. Химия и применение поли-n-ксилиленов. В кн.:Итоги науки и техники. С. Химия и технология высокомолекулярных соединений, М.,ВИНИТИ,1984, Т.19. 4. Бюллер К.-У. Тепло- и термостойкие полимеры. / Пер. с нем. М.: Химия, 1984 - 1056с. 5. Пебалк А.В., Кардаш И.Е., Праведников А.Н. Исследование строения и полимеризации продуктов пиролиза ?,??-дихлор-n-ксилола и ?,??-дибром-n-ксилола методами электронной и ИК спектроскопии // Высокомолекулярные соединения. 1981, А23, №9, с.1926-1930. 6. Murthy N.S., Kim H.-g. Molecular packing in alkylated and chlorinated poly-n-xylylenes // Рolymer. 1984, 25, №3, р.1093-1096. 7. "Journal of Polimer Science. Part A. Polimer Chemistry", 1987, v.25, №6, 1481-1503. 8. Ширшова В.А., Машляковский Л.Н., Котов Г.В., Кочкин В.Ф. Исследование морфологии тонкослойных полимерных пленок и покрытий, полученных из газовой фазы //Композиционные полимерные материалы. 1990, № 44, с.15-19. 9. Маилян К.А. Структура и свойства поли-n-ксилилена и их зависимость от параметров пиролитической полимеризации [2,2]-парациклофана. Дисс. канд. хим. наук. М., НИФХИ им. Л.Я. Карпова, 1995, 119 с. 10. Заявка ФРГ № 1943880 (1978) 11. Заявка ФРГ № 7737792 (1977) 12. Пат. США № 3600216 (1968) 13. Пат. США № 412308 (1978) 14. Ли Г., Стофи Д., Невилл К. Новые линейные полимеры. М., Химия, 1972, 280 с. 15. Szwarc M. // Polym. Eng. 1976, 16, № 7, р. 473-479. 16. Spivac M.A. // Rev. Sci. Instrum. 1972, 43, №7, р. 985-990. 17. Spivac M.A. // Rev. Sci. Instrum. 1970, 41, №11, р. 1614-1616. 18. Boker T.E., Fix G.L., Yudge J.S. Modified poly-para-xylylene coatings and films with improved oxidation resistance // J. Electrochem. Soc. 1980, 125, №8, р.1851-1852. 19. Калашник А.Т., Праведников А.Н. К вопросу о механизме термической деструкции поли-n-ксилилена // Высокомолекулярные соединения. 1967, №2, с.89-92. 20. http://www.scs cookson.com, http://www.scseurope.com, http://www.paratech.nu 21. Грищенко А.Е., Бызова В.В., Николаев В.Я., Вилесова М.С. и др. Механооптические свойства пленок поли-n-ксилилена // Высокомолекулярные соединения. Краткие сообщения. 1985, т.27, №11, с.814-818. 22. Способ получения поли-n-ксилиленовых покрытий. Патент РФ № 1361800. Приор.02.04.1985. Заявка № 387976. 23. Способ получения полимерной пленки на основе поли-n-ксилилена. А. с. СССР № 1830915. Заявка 1989 г. 24. Способ получения поли-n-ксилиленовых покрытий и пленок. А. с. СССР 1985г. № 1151546 Заявка № 3624204. 25. Калошина Н.В., Гречаник Г.Т. Испытания покрытий на основе полипараксилилена // Технология авиационного приборо- и агрегатостроения. 1988, №2, с.8-10. 26. Гармонов В.И. Получение и изучение некоторых свойств поли-n-ксилилена // Известия вузов. Сер. Химия и химическая технология. 1985, №4, с.85-87. 27. Шитова В.В., Хохлова Г.С. Получение диэлектрических пленок полипараксилилена за 1 технологический цикл // Активируемые процессы технологии микроэлектроники. 1979, №5, с.93-103. 28. Способ получения покрытий из поли-пара-ксилилена. Патент РБ № 1819687. 1993г. Заявка № 4931984/05. 29. Способ получения поли-n-ксилиленовых покрытий. Заявка РБ № 4423637/05. 1991 г. 30. Технология защиты микросхем с помощью поли-пара-ксилилена // ЦНИИ "Электроника". Сборник рефератов НОИКР. Сер. РТ, 1986, №24,с.6. 31. Разработка полимерных защитных покрытий для МДП БИС // Сборник рефератов НИОКР. Сер. РТ, 1985, №18. 32. Ширшова В.А. Технология влагозащиты и электроизоляции изделий РЭА полипараксилиленом // Компоненты и технологии. 2002, №2. 33. Кочкин В.Ф., Ширшова В.А. и др. Разработка и применение лакокрасочных материалов и покрытий со специальными свойствами в 12 пятилетке и на период до 2000 г. Мат. семинара 8-9 окт. Л., 1986, с.48-50. 34. Broer D.J., Luijks W. Penetration of p-xylylene vapor into small channels prior to polymerization // Journal of applied polymer science. 1981, 26, №7, р.2415-2422. 35. McDonald J.F., Lin H.T. Techniques for fabrication of water scale interconnections in multichip packages // IEEE Transactions on Components, Hybrids and Manufacturing Technology, 1989, №2, р. 195-205. 36. В поисках методов влагозащиты изделий нового поколения, разработанных и производимых Государственным Рязанским приборным заводом //Технологии в электронной промышленности. 2006, №1, с.91-92. 37. Бузин А.И., Бартоломе Д.С., Маилян К.А., Пебалк А.В., Чвалун С.Н. Анализ поверхности тонких пленок поли-n-ксилилена и его производных // Высокомолекулярные соединения, 2004, серия А, том 46, № 12, с.2053-2058. 38. Park S.Y., Blackwell J., Chvalun S.N., Mailyan K.A., Pebalk A.V., Kardash I.E. Three dimensionally oriented texture for poly(?,?,?,???-tetrafluoro-p-xylylene) // Macromolecules, 1999, v.32, № 23, р.7845. 39. Нурмухаметов Р.Н., Волкова Л.Д., Пебалк А.В., Маилян К.А., Белайц И.Л., Кардаш И.Е., Такахаши А. Оптические спектры поглощения и флуоресценции поли-?,?,??,??-тетрафтор-n-ксилилена // Доклады Академии Наук. Физическая химия, 2000, том 373, №5, с.650. 40. Озерин С.А., Киреева Е.В., Григорьев Е.И., Герасимов Г.Н., Чвалун С.Н. Структура нанокомпозитов на основе сульфида свинца и поли-n-ксилилена // Высокомолекулярные соединения, 2007, серия А, том 49, №7, с.1215-1223. 41. Клименко И.В., Криничная Е.П., Журавлева Т.С., Завьялов С.А., Григорьев Е.И., Мисуркин И.А., Титов С.В., Логинов Б.А. // Ж. физ. химии, 2006, т. 80, №12. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Похожие:
 | Деревня голыгино Тема моей работы: «Екатерина II и её время в трудах отечественных историков XVIII – XIX вв.». Екатерина II алексеевна (21. 04. 1729... | | "Они были первыми. Валентина Терешкова 50 лет со дня полёта первой женщины в космос" В этом реферате: Почему в космос полетела именно Валентина Терешкова? |
 | 186 420 сегежа карелия проезд монтажников дом 5а кв. 127 8-814-31-5-01-15... Сегежа карелия проезд монтажников дом 5а кв. 127 8-814-31-5-01-15 natvenmark@rambler. Ru 8-921-4555877 | | 3 декабря 2012 года я посетила открытый урок в 1 «Б» классе (классный... «Б» классе (классный руководитель Петроченкова Екатерина Алексеевна), где учится моя внучка. Я полагала, что за 35 минут урока будет... |
| Программа по формированию навыков безопасного поведения на дорогах... Дню Знаний. В новом учебном году в школе 4 первых класса – это задорные девчонки и мальчишки. А помогать им постигать основы знаний... | | Валентина Терешкова: Главное себя преодолеть и поверить в свои силы Нет, их влекли настоящие звезды. Планеты, туманности и галактики казались не такими уж недосягаемыми, и школьники писали в своих... |
| Валентина Терешкова: Главное себя преодолеть и поверить в свои силы Нет, их влекли настоящие звезды. Планеты, туманности и галактики казались не такими уж недосягаемыми, и школьники писали в своих... | | Тема «Екатерина Великая» Мы продолжаем говорить об известных личностях в истории нашей страны. Это личности правителей, ученых, военных. Сегодня мы подходим... |
| Екатерина II великая Великая (Екатерина Алексеевна; при рождении София Августа Фредерика фон Анхальт-Цербст-Дорнбург) родилась 21 апреля (2 мая) 1729... | | E-mail: school 71@rambler ru О профилактике инфекционных заболеваний, в том числе энтеровирусной инфекцией в начальных классах маоу сош №71 |
| Ширшова Ирина Анатольевна. Подготовка к написанию части с (егэ по... «С» единого экзамена, научиться формулировать проблему, поставленную в тексте, определять позицию автора прочитанного текста, выражать... | | Ширшова Диана Дмитриевна Русский язык, 8 класс Термин, который по своему значению выбивается из общего ряда – окончание. Поскольку окончание – это часть слова, а метафора, сравнение... |
| Программа по формированию навыков безопасного поведения на дорогах... «Голоса России», опубликованные информационными интернет-агрегаторами «Rambler ru», «Mail ru». 9 | | Ассистент каф. Ммт, Елишева Валентина Яковлевна Ассистент каф. Ммт, Елишева Валентина Яковлевна (степень, звание, фамилия, имя, отчество составителей) |
| Программа по формированию навыков безопасного поведения на дорогах... Ивановская обл., Южский р-н, с. Мугреевский, ул. Школьная, д. 7а, e-mail schoolmugreevo1@rambler ru тел. (49347) 2-47-59 | | Реферат Поисковые системы интернета на примере системы «Rambler» Расширенный поиск: как искать в Рамблере более эффективно, пользуясь страницей Расширенного поиска |
