Скачать 120.07 Kb.
|
равительство Российской Федерации Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики" Московский институт электроники и математики Национального исследовательского университета "Высшая школа экономики" «Факультет электроники и телекоммуникаций» Программа дисциплины «Физические основы микро- и наносистемной техники» для направления 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемной техники» подготовки бакалавра Автор программы: Васильевский В.В. доцент vvasil@hse.ru Одобрена на заседании кафедры «Микросистемная техника, материаловедение и технологии» «_29_»_августа_ 2013 г Зав. кафедрой Кулагин В.П. Рекомендована секцией УМС по электронике «___»____________ 20 г Председатель С.У.Увайсов Утверждена УС факультета электроники и телекоммуникаций «___»_____________20 г. Ученый секретарь В.П.Симонов ________________ [подпись] Москва, 2013 Настоящая программа не может быть использована другими подразделениями университета и другими вузами без разрешения кафедры-разработчика программы.
Целью преподавания дисциплины является формирование знаний о компонентах микросистемной техники, физических принципах их функционирования, конструкциях, базовых и специальных технологических операциях используемых при создании элементов и устройств микросистемной техники. 2. Место дисциплины в структуре ООП: Дисциплина относится к вариативной части блока технических дисциплин и является неотъемлемой составной частью образовательной программы нанотехнологии и микросистемная техника. Одновременно курс создает предпосылки для более глубокого освоения базовых дисциплин; физическая химия материалов и процессов электронной техники, микросхемотехника и др., а также дальнейшего расширения теоретической и практической подготовки молодых специалистов. ОК-10 – Способность использовать основные законы естественнонаучных дисциплин в профессиональной деятельности, применять методы математического анализа и моделирования, теоретического и экспериментального исследования. ПК-1 – Способность представлять адекватную современному уровню знаний научную картину мира на основе знания основных положений, законов и методов естественных наук и математики. ПК-2 – Способность выявлять естественно-научную сущность проблем, возникающих в ходе профессиональной деятельности, привлекать для их решения соответствующий физико-математический аппарат. ПК-6 – Способность собирать, обрабатывать, анализировать и систематизировать научно-техническую информацию по тематике исследования, использовать достижения отечественной и зарубежной науки, техники и технологии. ПК-14 – Способность выполнять работы по технологической подготовке производства материалов и изделий электронной техники. ПК-18 – Способность собирать, анализировать и систематизировать отечественную и зарубежную научно-техническую информацию по тематике исследования в области электроники и наноэлектроники. ПК-21 – Готовность анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций.
Процесс изучения дисциплины направлен на формирование следующих компетенций: - готов к работе на современном исследовательском оборудовании диагностики материалов и компонентов нано- и микросистемной техники (ПК-13); - способен выбирать оптимальные технологические процессы, их последовательности и контрольно-измерительные операции для производства материалов и компонентов нано- и микросистемной техники (ПК-30); В результате изучения дисциплины студент должен: Знать:
Уметь:
Владеть:
4. Объем дисциплины и виды учебной работы
5. Содержание дисциплины 5.1. Содержание разделов дисциплины
6. Лабораторный практикум
6.2. Рекомендуемый перечень практических занятий
7. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины: а) основная литература 1. Парфенов С.Д. Технология микросхем М. В.Ш.,1990. 2. Броудай И., Мерей Дж.. Физические основы микротехнологии. М., Мир, 1985. 3. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М., В.Ш., 1986. б) дополнительная литература 1. Введение в микромеханику. Онами М., Ивасмидзу С., Гэнка К., Сиодзава К., Танака К. / Под ред. Онами М. – М.: Мир, 1987. 2. Агеев О.А., Мамиконова В.М., Петров В.В. и др. Микроэлектронные преобразователи не электрических величин: Учебное пособие. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2000. в) программное обеспечение - Компьютерная программа моделирования электростатических преобразователей; - Компьютерная программа моделирования электромагнитных преобразователей;
- Компьютерная программа моделирования процесса термического окисления кремния;
- Компьютерная программа моделирования процесса анизотропного травления. Рабочая программа составлена в соответствии с Государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемной техники» подготовки бакалавра |
Программа дисциплины «Физические основы радиационных технологий»... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов, обучающихся по направлению... | Программа дисциплины «Вычислительная термодинамика» для направления... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления 222900. 62 «Нанотехнологии... | ||
Программа дисциплины «Процессы на поверхности раздела фаз» для направления... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления 222900. 62 «Нанотехнологии... | Программа дисциплины "Физико-механические свойства материалов для... Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования | ||
Программа дисциплины "Физико-механические свойства материалов для... Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования | Программа дисциплины «Моделирование и проектирование микро- и наносистем»... Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования | ||
«методы экспериментального исследования поверхности» Магистерская программа «Микро и нанотехнологии в производстве изделий электронной техники» | Разработка элементов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок... ... | ||
Учебно-методический комплекс по дисциплине «Компьютерные технологии в науке и образовании» Магистерская программа «Микро и нанотехнологии в производстве изделий электронной техники» | Программа дисциплины «Основы кристаллографии и кристаллохимии» ... Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования | ||
Программа дисциплины «Физические основы микро- и наноэлектроники»... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления подготовки 210100... | Программа дисциплины «Теория дефектов в кристаллах» для направления... Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования | ||
Рекомендуется для магистрантов и аспирантов технических вузов по... П 29 Философия техники: учебное пособие / М. А. Петинова. – Самара: Самар гос техн ун-т, 2014. – 92 с | Рабочая программа учебной дисциплины «физические основы электроники» Цель дисциплины «физические основы электроники» направления подготовки бакалавра 200100. 62 электроника и наноэлектроника профиль... | ||
Программа дисциплины "Физическое материаловедение" для специальности... Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования | Программа по формированию навыков безопасного поведения на дорогах... Целью освоения дисциплины «Философские проблемы науки и техники» является формирование у магистрантов углубленных знаний о роли науки... |