«методы экспериментального исследования поверхности»
Скачать 285.36 Kb.
|
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Ивановский государственный химико-технологический университет» Факультет неорганической химии и технологии Кафедра технологии приборов и материалов электронной техники Учебно-методический комплекс по дисциплине «МЕТОДЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ» Направление подготовки 210100 «Электроника и микроэлектроника» Магистерская программа «Микро и нанотехнологии в производстве изделий электронной техники». Квалификация (степень) Магистр Форма обучения очная Составитель: д.ф-м.н., профессор Титов В.А. Иваново, 2011 Дисциплина «МЕТОДЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ» входит в цикл специальных дисциплин, устанавливаемых вузом, для подготовки магистров по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника», магистерская программа – «Микро и нанотехнологии в производстве изделий электронной техники». РАБОЧАЯ УЧЕБНАЯ ПРОГРАММА по дисциплине «МЕТОДЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ» Курс 5, Семестр 9; Экзамен - 9 сем. Всего часов по дисциплине: 150 Аудиторные занятия: 72 часа. Лекции - 36 часов Лабораторно-практические занятия - 36 часов Самостоятельная работа - 78 часов 1. ВВЕДЕНИЕ 1.1. ЦЕЛЬ ПРЕПОДАВАНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ: Целями освоения дисциплины являются изучение физико-химических основ и аналитических возможностей экспериментальных методов исследования поверхности и тонких слоев материалов с целью диагностирования микро- и наноструктур, а также возможностей применения этих методов в микро- и нанотехнологиях. 1.2. ЗАДАЧИ ИЗУЧЕНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ. Формирование у будущих специалистов информационной базы для выбора методов диагностики микро- и наноструктур, навыков интерпретации результатов, получаемых с использованием отдельных методов. 1.3. ТРЕБОВАНИЯ ПО ДИСЦИПЛИНЕ Выпускник должен: иметь представление: о физико-химических основах современных методов диагностики поверхности твердых тел, о диагностических возможностях методов и их ограничениях, а также об областях применения при разработке и производстве изделий микро и наноэлектроники; уметь: правильно выбирать методы диагностики для решения задач исследования поверхности материалов; владеть: информацией о современных тенденциях в развитии методов диагностики поверхности и их аппаратурного оформления; навыками интерпретации результатов исследований, полученных отдельными методами. 1.4. Распределение часов по темам и видам учебной работы
2. СОДЕРЖАНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ (Учебные модули) 2.1. Модуль 1. Общая характеристика методов диагностики поверхности и тонких слоев материалов 2.1.1. Лекционный материал: 9 часов. Основные характеристики поверхности твердых тел. Классификация методов диагностики по зондирующим воздействиям и детектируемым частицам, характер получаемой информации. 2.1.2. Самостоятельная работа (18 часов). Подготовка к промежуточному тестовому экзамену. 2.2. Модуль 2. Ионная спектроскопия поверхности. 2.2.1. Лекционный материал: 9 часов. Физические основы и аналитические возможности спектроскопии рассеяния медленных ионов. Спектроскопия обратного рассеяния быстрых ионов (резерфордовское обратное рассеяние): определение элементного состава поверхностных слоев материалов; определение толщины слоев и глубины залегания отдельных элементов. Принцип работы и основные узлы аппаратуры для реализации методов ионного рассеяния. Масс-спектрометрия вторичных ионов: физические основы и аналитические возможности. Качественный и количественный анализ, определение пространственного распределения отдельных элементов. Аппаратура для реализации метода МСВИ. Примеры применения методов ионной спектроскопии в диагностике материалов и структур микро и наноэлектроники. 2.2.2. Самостоятельная работа (20 часов). Подготовка к промежуточному тестовому экзамену или подготовка реферата. 2.3. Модуль 3. Методы электронной спектроскопии и ИК спектроскопии МНПВО. 2.3.1. Лекционный материал: 9 часов. Общие физические принципы методов рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС), оже-электронной спектроскопии, рентгеновского флуоресцентного анализа. Факторы, определяющие глубину анализируемых слоев. Интерпретация рентгеновских фотоэлектронных спектров, «химический сдвиг», качественный и количественный анализ методом РФЭС, ограничения метода. Оже-электронная спектроскопия: физические принципы, аналитические возможности, интерпретация спектров. Сканирующая оже-электронная микроскопия. Физические основы и аналитические возможности методов рентгеновского флуоресцентного анализа и электронного микроанализа. Аппаратура для реализации методов. Примеры применения методов электронной спектроскопии в диагностике материалов и структур микро и наноэлектроники. Сопоставление возможностей и ограничений различных методов. Физические основы колебательной спектроскопии. Явление полного внутреннего отражения и его использование для диагностики поверхностных слоев материалов, глубина анализа. ИК спектры МНПВО и их интерпретация. Примеры применения ИК спектроскопии МНПВО для диагностики материалов. 2.3.2. Самостоятельная работа (20 часов). Подготовка к промежуточному тестовому экзамену или подготовка реферата. Модуль 4. Методы электронной микроскопии и сканирующей зондовой микроскопии. 2.4.1. Лекционный материал: 9 часов. Основные принципы электронной микроскопии; просвечивающий, отражательный, зеркальный, эмиссионный электронные микроскопы. Сканирующая электронная микроскопия, сканирующая электронная спектроскопия. Основные узлы сканирующего электронного микроскопа. Физические основы сканирующей туннельной микроскопии. Возможности и ограничения метода, аппаратурное оформление. Физические основы атомно-силовой микроскопии. Аппаратурное оформление метода. Режимы сканирования, получаемая информация. Принцип работы ближнепольного оптического микроскопа. Магнитно-силовой микроскоп. Электросиловой микроскоп. 2.4.2. Самостоятельная работа (20 часов). Подготовка к промежуточному тестовому экзамену или подготовка реферата. 3. ФОРМЫ ОТЧЕТНОСТИ: 3.1. Промежуточные тесты или контрольные работы по модулям дисциплины. 3.2. Индивидуальные задания или рефераты по материалам одного или нескольких модулей в рамках самостоятельной работы, суммарный объем выполнения - 12 часов. 4. ТЕМЫ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ Практические занятия по данной дисциплине не запланированы 5. КОМПЛЕКТ ЗАДАНИЙ И ЗАДАЧ ДЛЯ САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ Для самостоятельной работы студентов используются вопросы, задания и задачи, приведенные в перечисленных ниже учебных пособиях: 1. Пентин Ю.А., Вилков Л.В. Физические методы исследования в химии. – М.: Мир, 2003. – 683 с. 2. Брандон Д., Каплан У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля. – М.: Техносфера, 2006. – 384 с. 4. Технология СБИС: в 2-х кн. Кн. 2. Пер. с англ./ Под ред. С. Зи. – М.: Мир, 1986. – 453 с. 6. ЛАБОРАТОРНЫЙ ПРАКТИКУМ Часы, отведенные на лабораторный практикум по данной дисциплине, используются для выполнения индивидуальной научно-исследовательской работы в рамках плана подготовки магистерской диссертации. 7. УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ 7.1. ЛИТЕРАТУРА а) основная литература: 1. Пентин Ю.А., Вилков Л.В. Физические методы исследования в химии. – М.: Мир, 2003. – 683 с. 2. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. – М.: Техносфера, 2005. – 443 с. 3. Брандон Д., Каплан У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля. – М.: Техносфера, 2006. – 384 с. 4. Щука А.А. Наноэлектроника. – М.: Физматкнига, 2007. – 463 с. 5. Рембеза С.И., Синельников Б.М., Рембеза Е.С. Физические методы исследования материалов твердотельной электроники. Ставрополь: [Северо-кавказ. гос. техн. ун-т], 2002. - 429 с. б) дополнительная литература: 1. Вилков Л.В., Пентин Ю.А. Физические методы исследования в химии. Структурные методы и оптическая спектроскопия. – М.: Высшая школа, 1987. – 367 с. 2. Вилков Л.В., Пентин Ю.А. Физические методы исследования в химии. Резонансные и электрооптические методы. – М.: Высшая школа, 1989. – 288 с. 3. Старостин В.В. Материалы и методы нанотехнологии. – М.: БИНОМ. Лаб. знаний, 2008. – 432 с. 4. Неволин В.К. Зондовые нанотехнологии в электронике. – М.: Техносфера, 2005. – 148 c. 5 Технология СБИС. В 2 кн. Кн. 2 / под ред. С. Зи ; пер. с англ. В. М. Звероловлева [и др.] ; под ред Ю. Д. Чистякова. - М. : Мир, 1986. - 456 с. 6. Шешин Е.П. Структура поверхности и автоэмиссионные свойства углеродных материалов. – М.: Физматкнига, 2001. – 287 с. 7.2. МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ И ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ Лекции по дисциплине проводятся в аудитории, оснащенной видеопроектором. Промежуточное тестирование проводится в дисплейном классе кафедры, оснащенном ПЭВМ типа «Pentium». Информационное обеспечение дисциплины
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Добавить документ в свой блог или на сайт
Похожие:
 | Рабочая программа модуля (дисциплины) в 3 Процессы на поверхности раздела фаз Владение теоретическими знаниями и навыками экспериментального исследования дисперсных систем и поверхностных явлений, необходимых... |  | Российской федерации В рамках данной дисциплины рассматриваются основные принципы и законы физики и биофизики, методы наблюдения и экспериментального... |
| Отчет о выполнении проекта «Разработка режимов инфракрасной сушки плодов и овощей» Приборы и методы экспериментального исследования процесса инфракрасной сушки плодов и овощей | | Гинекологии для студентов 5 курса Исследование функции яичников. Дополнительные методы исследования: биопсия, диагностическое выскабливание, аспирационная биопсия,... |
| Спектральные методы исследования в биохимии М 545 Спектральные методы исследования в биохимии: методические указания к самостоятельной работе [Текст ] / cост. О. А гусейнов.... | | Методические рекомендации по изучению дисциплины «Методы исследований... Целью освоения дисциплины «Методы исследования в социальной работе» является формирование целостной системы знаний об основных общенаучных... |
| Программа вступительных экзаменационных испытаний в ординатуру по... Методы исследования пищевода. Рентгенологические методы. Эзофагоманометрия. Фармакодиагностика. Методы выявления гастроэзофагеального... | | Пояснительная записка Курс «Физико-химические методы исследования» Курс «Физико-химические методы исследования» преподается в течение 6 семестра (одо), предназначен для магистрантов, обучающихся по... |
| Реферат На тему: “поверхности второго Поверхности второго порядка – это поверхности, которые в прямоугольной системе координат определяются алгебраическими уравнениями... | | Памятка по подготовке к лабораторным методам исследованиям лабораторные методы исследования Лабораторные методы исследования служат важным этапом обследования больного. Полученные данные помогают оценке состояния больного,... |
| Программа по формированию навыков безопасного поведения на дорогах... Методы работы: частично проблемно- поисковый, лабораторный опыт как метод экспериментального изучения химии | | Примерная программа наименование дисциплины инструментальные методы исследования почв и растений Инструментальные методы исследования почв и растений является предшествующей дисциплиной для следующих дисциплин: история и методология... |
| Московский энергетический институт (технический университет) институт... Целью дисциплины является изучение методов синтеза, анализа и экспериментального исследования цифровых устройств радиотехнического... | | Программа для подготовки аспирантов специальности 07. 00. 09 «Историография,... «Историография, источниковедение и методы исторического исследования» (07. 00. 00 Исторические науки и археология) [Электронный ресурс]... |
| «Роль женщины в современном мире» Введение (аннотация, актуальность, проблема, цель и задачи, предмет и объект исследования, гипотеза и методы исследования) | | Исследования Гипотеза: в результате проведённого исследования будут определены последствия воздействия пк на организм человека, указаны методы... |
