Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (тусур)

4.4 Наноэлектроника СВЧ в ТУСУРе

• 
  разработка и развитие технологий изготовления наногетероструктурных СВЧ монолитных интегральных схем (МИС),
  
• 
  разработка методов измерения параметров наногетероструктур, характеризации СВЧ МИС и функциональных элементов,
  
• 
  создание библиотек моделей элементов для отечественных и зарубежных технологий изготовления СВЧ МИС,
  
• 
  разработка программного обеспечения для автоматизированного проектирования (синтеза) СВЧ устройств и управления СВЧ измерительными комплексами,
  
• 
  разработка и изготовление на базе современных наногетероструктурных технологий СВЧ МИС для радиоэлектронных устройств и систем различного назначения.
  

• 
  проведение научных исследований в области СВЧ наноэлектроники, нанофотоники, нанотехнологий и наноматериалов,
  
• 
  подготовка кадров высшей квалификации и специалистов, преимущественно для производства СВЧ МИС.
  

• 
  участок нанотехнологий (включая нанолитограф с разрешением до 20 нм),
  
• 
  участок измерений параметров гетероструктур и СВЧ МИС
  
• 
  дизайн-центр по проектированию СВЧ МИС,
  
• 
  учебно-исследовательские лаборатории,
  
• 
  участок инженерного обеспечения чистых комнат.
  

• 
  нанолитограф Raith-150 Two - электронный микроскоп с блоком для электронно-лучевого экспонирования, разрешение до 20 нм,
  
• 
  установка нанесения фоторезиста,
  
• 
  установка электронно-лучевого напыления,
  
• 
  установка отмывки пластин с системой мегазвуковой очистки пластин,
  
• 
  микроскоп Vistec (Leica) для контроля пластин и фотошаблонов в видимом и УФ диапазонах излучения,
  
• 
  установка допроявления фоторезиста - отображение параметров обработки в реальном времени.
  

• 
  проведение научных исследований в области СВЧ наноэлектроники, нанофотоники, нанотехнологий и наноматериалов, подготовка кадров высшей квалификации и специалистов,
  
• 
  разработка технологий изготовления наногетероструктурных СВЧ монолитных интегральных схем (МИС),
  
• 
  разработка методов измерения параметров наногетероструктур, характеризации СВЧ МИС и функциональных элементов,
  
• 
  создание библиотек моделей элементов для отечественных и зарубежных технологий изготовления СВЧ МИС,
  
• 
  разработка программного обеспечения для автоматизированного проектирования (синтеза) СВЧ устройств и управления СВЧ измерительными комплексами,
  
• 
  разработка и изготовление на базе современных наногетероструктурных технологий СВЧ МИС для радиоэлектронных устройств и систем различного назначения.
  

• 
  СВЧ МИС для радиоэлектронных устройств и систем различного назначения диапазона частот от 1 до 40 ГГц,
  
• 
  библиотеки моделей элементов для технологий изготовления СВЧ МИС заказчика,
  
• 
  интеллектуальная система автоматизированного проектирования (синтеза) СВЧ устройств,
  
• 
  программы управления СВЧ измерительными комплексами.
  

Разработки НОЦ «Наноэлектроника»

	Первая в России опытная партия гетероструктурных МИС МШУ диапазона 8-12 ГГц создана совместно с ИСВЧПЭ РАН и НПФ «МИКРАН» (2007 год)
	Первый в России комплект гетероструктурных МИС МШУ диапазона 8-12 ГГц с параметрами мирового уровня. Создан совместно с ИСВЧПЭ РАН (2008 год)
	МИС МШУ диапазона 2-10 ГГц – универсальный усилительный блок. Разработан совместно с Лиможским университетом (2005 год).
	МИС МШУ диапазона 27-31 ГГц для систем космической связи. Разработан совместно с Французским космическим агентством CNES и исследовательским институтом XLIM (2008 год).
	МИС МШУ диапазона 0,3-1,2 ГГц для применения в радиоастрономии. Разработан совместно с Голландским астрономическим центром ASTRON (2008 год).

Список использованных источников

1. 
   Wikipedia [электронный ресурс] - режим достура: http://ru.wikipedia.org/wiki/Наноэлектроника [1]
   
2. 
   Наноэлектроника – достижения и перспективы // Исследования и разработки  - 26.12.2012 – режим доступа : http://nanodigest.ru/stati/issledovaniia-i-razrabotki/nanoelektronika-dostizheniia-i-perspektivy [2]
   
3. 
   Химия – Наноэлектроника /Основные задачи наноэлектроники / 01.03.2011 – режим доступа:
   

4. 
   В.Е. Борисенко, А.И. Воробьева, Е.А. Уткина. Наноэлектроника: учебное пособие для студ. – Мн: БГУИР, 2004. – 25 с. [4]
   
5. 
   В.Л. Ткалич А.В. Макеева Е.Е. Оборина «Физические основы наноэлектроники» (Санкт-Петербург 2011) [5] 76-78 стр.
   
6. 
   В.Е. Борисенко, А.И. Воробьева, Е.А. Уткина. Наноэлектроника: учебное пособие для студ. – Мн: БГУИР, 2004. – 48 с. [6]
   
7. 
   Фотоприемники на квантовых ям / 11.01.2014 – режим доступа: http://studopedia.net/10_20218_fotopriemniki-na-kvantovih-yamah.html [7]
   
8. 
   В.Л. Ткалич А.В. Макеева Е.Е. Оборина «Физические основы наноэлектроники» (Санкт-Петербург 2011) [8] 76-78 стр.
   
9. 
   Introduction to Nanotechnology / How nanorobots are made – 09.07.2009 - режим доступа:
   

10. 
    Международный промышленный портал / Перспективы рахвития наноэлектроники в России – 19.10.2010 – режим доступа: http://www.promvest.info/news/otraslipredaticle.php?ELEMENT_ID=27973 [10]
    
11. 
    Наноэлектроника – режим доступа:
    

12. 
    Сибирь заживет на широкую полосу. «Коммерсантъ» (Омск), №44 (4582) (16 марта 2011). — NSN и «Микран» создадут в Томске производство базовых станций для мобильных сетей 4G. [11]
    
13. 
    Бизнес в СВЧ – диапазоне/Владислав Михайлов – Москва 13.02.2012 - режим доступа: http://expert.ru/siberia/2012/06/biznes-v-svch-diapazone/ [11]
    
14. 
    НПФ «Микран» / Деятельность – режим доступа: http://www.micran.ru/about/activity/ [13]
    
15. 
    ТУСУР / Наука / Приоритетные и основные направления научных исследований / Наноэлектроника СВЧ – режим доступа: http://www.tusur.ru/ru/science/nni/nanoelectronics/ [14]