Программа дисциплины «Оборудование для получения тонкопленочных структур» для направления 210100. 62 «Электроника и наноэлектроника»
Скачать 84.09 Kb.
|
| Правительство Российской Федерации Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»» Московский институт электроники и математики Национального исследовательского университета «Высшая школа экономики» Факультет Электроники и телекоммуникаций Программа дисциплины «Оборудование для получения тонкопленочных структур» для направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра. Специализация «Электронное машиностроения» Автор программы: Быков Д.В.,д.т.н., профессор, dbykov@hse.ru Одобрена на заседании кафедры “Электроника и наноэлектроника» Зав. кафедрой Петросянц К.О. «___»____________ 2014 г Рекомендована секцией УМС Председатель «___»____________ 2014 г Утверждена УС факультета Электроники и телекоммуникаций Ученый секретарь ________________________ «___»_____________2014 г. Москва, 2014 Настоящая программа не может быть использована другими подразделениями университета и другими вузами без разрешения кафедры-разработчика программы 1Область применения и нормативные ссылкиНастоящая программа учебной дисциплины устанавливает минимальные требования к знаниям и умениям студента и определяет содержание и виды учебных занятий и отчетности. Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления подготовки 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавров специализации «Электронное машиностроение» изучающих дисциплину «Оборудование для получения тонкопленочных структур». Программа разработана в соответствии с: . Образовательным стандартом федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Национальный исследовательский университет “Высшая школа экономики”» МИЭМ для направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра. Рабочим учебным планом университета по направлению 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра; утвержденным в 2012г. 2Цели освоения дисциплиныЦелями освоения дисциплины «Оборудование для получения тонкопленочных структур» являются: изучение теоретических и прикладных основ технологии формирования тонких пленок, оборудования для нанесения тонких пленок на подложки. 3Компетенции обучающегося, формируемые в результате освоения дисциплиныВ результате освоения дисциплины студент должен: Знать: Конструкции технологического оборудования для нанесения тонких пленок, технологии нанесения тонких пленок, физические основы формирования тонкопленочных покрытий, способы нанесения тонких пленок, вакуумные системы технологического оборудования. Уметь : Рассчитывать вакуумные системы технологического оборудования, оценивать скорость распыления материалов и степень загрязнения покрытий. Владеть: представлениями о возможностях современного технологического оборудования. В результате освоения дисциплины студент осваивает следующие компетенции: ОК-10, ПК- 1,2,3,18,19,20,21. 4Место дисциплины в структуре образовательной программыДисциплина «Оборудование для получения тонкопленочных структур» предназначена для подготовки бакалавра по направлению 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» специализации «Электронное машиностроение». Изучение дисциплины «Оборудование для получения тонкопленочных структур» базируется на следующих дисциплинах: . Вакуумная техника . Материалы электронной техники Данная дисциплина является предшествующей для изучения физических основ микроэлектроники, основ технологии электронной компонентной базы, вакуумной и плазменной электроники, физических основ ионно-плазменной технологии. 5.Тематический план учебной дисциплины .
6. Формы контроля знаний студентов
7.Порядок формирования оценок по дисциплине
Итоговая оценка формируется как взвешенная сумма оценки, накопленной в течение курса, и оценки на экзамене. Накопленная оценка (НО) (максимум 10 баллов) включает оценку за работу над рефератом (Ореф.) и подготовку и защиту домашних заданий (Од.з.) и формируется по следующему правилу: НО=0,5Ореф...+0,5Од.з. Итоговый экзамен(ИЭ) (максимум 10 баллов): ответ на вопросы в билете Итоговая оценка (ИО) (максимум 10 баллов) по курсу определяется с учетом накопленной оценки (с весом 0,4) и оценки за экзамен в конце курса (с весом 0,6) по следующей формуле: ИО=0,4*НО + 0,6*ИЭ Все округления производятся в соответствии с общими математическими правилами. Оценки за курс определяются по пятибалльной и десятибалльной шкале.
Критерии оценки знаний, навыков Активность на лекциях и практических занятиях оценивается по следующим критериям:
8.Разделы дисциплины и междисциплинарные связи с обеспечиваемыми ( последующими ) дисциплинами.
9. Примерная тематика домашних заданий: 1. Типовые схемы напылительного оборудования. 2. Расчет параметров вакуумных систем. 10. Реферат: История развития вакуумной техники в России. 10. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины: 1. основная литература: «Технология тонких пленок», С.В. Антоненко, М., изд-во МИФИ, 2008 «Справочник по вакуумной технике и технологиям», под ред. Д. Хоффман, Б. Сингха, Дж. Томаса, «Техносфера», М., 2011 «Вакуумная техника в производстве интегральных схем», Б.С.Данилин, изд-во «Энергия», 1972 «Технологическое вакуумное оборудование. Част 1», Л.В.Кожитов, Н.А.Чиченев, В.А. Демин и др.,М., изд-во МГИУ, 2010 2 дополнительная литература: «Получение тонкопленочных элементов микросхем», Б.С.Данилин, М., изд-во «Энергия», !977. «Термическое испарение в вакууме при производстве изделий радиоэлектроники», А.В. Кондратов, А.А. Потапенко, М., изд-во «Радио и связь»,1986. в) rvs.insoft.ru, iuvsta.org, «Вакуумная техника»,справочник, М., изд-во «Машиностроение»2009. 11.Методические рекомендации по организации изучения дисциплины: Теоретические основы вакуумной техники, получение вакуума, вакуумные установки, метрология, материалы электронной техники. Выполнение и защита домашних заданий. Автор программы проф. Д.В. Быков Эксперты проф. В.Н. Кеменов проф. А.П. Лысенко . | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Добавить документ в свой блог или на сайт
Похожие:
 | Программа дисциплины «Оборудование для получения тонкопленочных структур»... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления подготовки 11.... | | Программа дисциплины «Методология инновационного инженерного проектирования»... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления подготовки магистра... |
| Программа дисциплины «Методология инновационного инженерного проектирования»... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления подготовки магистра... |  | Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину,... ... |
| Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину,... ... | | Программа дисциплины «Физические основы микро- и наноэлектроники»... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления подготовки 210100... |
| Основная образовательная программа бакалавриата, реализуемая вузом... Нормативные документы для разработки ооп бакалавриата по направлению подготовки 210100 Электроника и наноэлектроника | | Рабочая программа учебной дисциплины м № Иностранный язык Код и название... ... |
| Программа дисциплины «Основы технологии электронной компонентной... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления 210100 Электроника... | | Программа дисциплины «Материалы электронной техники» для направления/... Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования |
| Программа дисциплины Материалы электронной техники для направления/... Цель: создание педагогических условий для формирования общих компетенций студентов педагогического колледжа | | Программа дисциплины «Основы конструирования оборудования мнт» для... Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования |
| Программа дисциплины «Методология инновационного инженерного проектирования»... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления подготовки магистра... | | Программа дисциплины «Методология инновационного инженерного проектирования»... Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления подготовки магистра... |
| Программа дисциплины «Основы принятия решений при проектировании... Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования | | Программа дисциплины «Основы принятия решений при проектировании... Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования |
