Правительство Российской Федерации Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»» Московский институт электроники и математики Национального исследовательского университета «Высшая школа экономики» Департамент электронной инженерии Программа дисциплины
«Оборудование для получения тонкопленочных структур» для направления 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра.
Специализация «Электронное машиностроение»
Разработчики программы:
Быков Д.В.,д.т.н., профессор, dbykov@hse.ru
Ивашов Е.Н, д.т.н., профессор, eivashov@hse.ru
Одобрена на заседании комиссии
«_31_»_августа_ 2015 г
Председатель комиссии Б.Г Львов ___________ Утверждена «_31_»_августа_ 2015 г
Руководитель Методического центра ДООП
«_31_»_августа_ 2015 г
В.П. Симонов ___________
Москва, 2015
Настоящая программа не может быть использована другими подразделениями университета и другими вузами без разрешения департамента-разработчика программы
1Область применения и нормативные ссылки Настоящая программа учебной дисциплины устанавливает минимальные требования к знаниям и умениям студента и определяет содержание и виды учебных занятий и отчетности.
Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавров специализации «Электронное машиностроение» изучающих дисциплину «Оборудование для получения тонкопленочных структур».
Программа разработана в соответствии с:
. Образовательным стандартом федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Национальный исследовательский университет “Высшая школа экономики”» МИЭМ для направления 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра.
Рабочим учебным планом университета по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра; утвержденным в 2015 г.
2Цели освоения дисциплины Целями освоения дисциплины «Оборудование для получения тонкопленочных структур» являются: изучение теоретических и прикладных основ технологии формирования тонких пленок, оборудования для нанесения тонких пленок на подложки.
3Компетенции обучающегося, формируемые в результате освоения дисциплины В результате освоения дисциплины студент должен:
Знать: Конструкции технологического оборудования для нанесения тонких пленок, технологии нанесения тонких пленок, физические основы формирования тонкопленочных покрытий, способы нанесения тонких пленок, вакуумные системы технологического оборудования.
Уметь : Рассчитывать вакуумные системы технологического оборудования, оценивать скорость распыления материалов и степень загрязнения покрытий.
Владеть: представлениями о возможностях современного технологического оборудования. В результате освоения дисциплины студент осваивает следующие компетенции: ОК-10, ПК- 1,2,3,18,19,20,21.
4Место дисциплины в структуре образовательной программы Дисциплина «Оборудование для получения тонкопленочных структур» предназначена для подготовки бакалавра по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» специализации «Электронное машиностроение».
Изучение дисциплины «Оборудование для получения тонкопленочных структур» базируется на следующих дисциплинах:
. Вакуумная техника
. Материалы электронной техники
Данная дисциплина является предшествующей для изучения физических основ микроэлектроники, основ технологии электронной компонентной базы, вакуумной и плазменной электроники, физических основ ионно-плазменной технологии.
5.Тематический план учебной дисциплины .
-
№
| Название темы
| Всего часов по дисциплине
| Аудиторные часы
| Самостоятельная работа
| Лекции
| Практические занятия
| 1
| Введение. Предмет дисциплины и ее задачи. Элементная база современных инфокоммуникационных систем.
| 10
|
2
| 2
| 6
| 2
| Процесс формирования тонкопленочных покрытий. Факторы влияющие на свойства пленок.
| 10
| 2
| 2
| 6
| 3
| Получение покрытий равномерной толщины. Подготовка подложек.
|
10
| 2
| 2
| 6
| 4
| Требования к вакуумно-техническим параметрам установок. Контроль скорости осаждения и толщины тонких пленок.
| 14
| 2
| 6
| 6
| 5
| Вакуумно-технологические установки и линии для нанесения тонкопленочных покрытий.
| 18
| 4
| 6
| 8
| 6
| Принципы построения и эксплуатации откачных систем. Элементы расчета вакуумных систем.
| 10
| 2
| 4
| 4
| 7
| Автоматизация оборудования для получения тонкопленочных структур.
| 8
| 2
| 2
| 4
|
| Итого:
| 80
| 16
| 24
| 40
| 6. Формы контроля знаний студентов
Тип контроля
| Форма контроля
| Модуль
| Параметры
| Текущий
| реферат
| 1
| Представление реферата
| Промежуточный
| Домашнее задание
| 1
| Защита домашних заданий
| Итоговый
| Экзамен
| 1
| ответы на вопросы в билете
|
|
|
|
| 7.Порядок формирования оценок по дисциплине
текущий контроль предусматривает представление реферата
промежуточный контроль предусматривает защиту домашнего задания;
итоговый контроль проводится в форме ответа на вопросы в билете
Итоговая оценка формируется как взвешенная сумма оценки, накопленной в течение курса, и оценки на экзамене.
Накопленная оценка (НО) (максимум 10 баллов) включает оценку за работу над рефератом (Ореф.) и подготовку и защиту домашних заданий (Од.з.) и формируется по следующему правилу:
НО=0,5Ореф...+0,5Од.з.
Итоговый экзамен(ИЭ) (максимум 10 баллов): ответ на вопросы в билете
Итоговая оценка (ИО) (максимум 10 баллов) по курсу определяется с учетом накопленной оценки (с весом 0,4) и оценки за экзамен в конце курса (с весом 0,6) по следующей формуле:
ИО=0,4*НО + 0,6*ИЭ
Все округления производятся в соответствии с общими математическими правилами.
Оценки за курс определяются по пятибалльной и десятибалльной шкале.
Количество набранных баллов
| Оценка по десятибалльной шкале
| Оценка по пятибалльной шкале
| 9,5-10
| 10
| отлично
| 8,5-9,4
| 9
| отлично
| 7,5-8,4
| 8
| отлично
| 6,5-7,4
| 7
| хорошо
| 5,5-6,4
| 6
| хорошо
| 4,5-5,4
| 5
| удовлетворительно
| 3,5-4,4
| 4
| удовлетворительно
| 2,5-3,4
| 3
| неудовлетворительно
| 1,5-2,4
| 2
| неудовлетворительно
| 0–1,4
| 1
| неудовлетворительно
|
Критерии оценки знаний, навыков
Активность на лекциях и практических занятиях оценивается по следующим критериям:
Ответы на вопросы, предлагаемые преподавателем;
Решение задач у доски;
Участие в дискуссии по предложенной проблематике.
8.Разделы дисциплины и междисциплинарные связи с обеспечиваемыми ( последующими ) дисциплинами.
№
п/п
| Наименование обеспечиваемых дисциплин
| №№ разделов данной дисциплины необходимых для изучения обеспечиваемых дисциплин
| 1
| 2
| 3
| 4
| 5
| 1
| Элементная база инфокоммуникационных систем нового поколения на основе микро- и наноэлетроники.
| 1
| 2
| 4
| 5
| 6
|
9. Примерная тематика домашних заданий:
1. Типовые схемы напылительного оборудования.
2. Расчет параметров вакуумных систем.
10. Реферат: История развития вакуумной техники в России.
10. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины:
1. основная литература:
«Технология тонких пленок», С.В. Антоненко, М., изд-во МИФИ, 2008
«Справочник по вакуумной технике и технологиям», под ред. Д. Хоффман, Б. Сингха, Дж. Томаса, «Техносфера», М., 2011
«Вакуумная техника в производстве интегральных схем», Б.С.Данилин, изд-во «Энергия», 1972
«Технологическое вакуумное оборудование. Част 1», Л.В.Кожитов, Н.А.Чиченев, В.А. Демин и др.,М., изд-во МГИУ, 2010
2 дополнительная литература:
«Получение тонкопленочных элементов микросхем», Б.С.Данилин, М., изд-во «Энергия», !977.
«Термическое испарение в вакууме при производстве изделий радиоэлектроники», А.В. Кондратов, А.А. Потапенко, М., изд-во «Радио и связь»,1986.
в) rvs.insoft.ru, iuvsta.org, «Вакуумная техника»,справочник, М., изд-во «Машиностроение»2009.
11.Методические рекомендации по организации изучения дисциплины:
Теоретические основы вакуумной техники, получение вакуума, вакуумные установки, метрология, материалы электронной техники. Выполнение и защита домашних заданий.
Авторы программы проф. Е.Н. Ивашов, Д.В. Быков
Эксперт проф. А.П. Лысенко |