5. 15 Image Capture Mode

5.16 User Preferences

The User Preferences allow for specific pre-settings in the user interface. They are called up using the TOOLS-^ USER PREFERENCES popup menu. The window is subdivided into six index cards.

1

.) Privileged User Directory Setup:

Modify the user directory if the option is released to the individual user in the Administrator. (see 3.1.1) This directory will be used when loading user specific parameters (e.g. Load State, Load Annotation, Macro Library etc.),

2.) Privileged Image Directory Setup:

Modify the image directory if this option is released to the individual user in the Administrator (see 3.1.1). Images can be loaded from or saved to this directory.

3.) SEM Condition:

The Emission Mode allows determination whether the

automatic function for brightness and contrast of the

detectors should be activated when switching to the

emission image. If Auto Signal is set to Off, the current

setting will be used for the respective detector. The

Crosshairs box allows you to select whether crosshairs

should automatically be displayed when calling up the

emission image.

Two pre-settings are available for the focus wobbler. If

the Reduced Raster is activated, the system will

automatically switch to the reduced raster scan mode

when calling up the focus wobbler. It is often

recommended to use a faster scan rate when adjusting

the focus wobbler. The field Scan Rate allows you to

select whether a faster scan rate should automatically

be selected when activating the focus wobbler.

Activation of the Beam Blanking box blanks the

electron beam from the beam path after freezing the

image storage by using the electromagnetic aperture switch. The sample will no longer be scanned as long as

the image is frozen. The risk of beam damages is thus reduced.

In the box Aperture Align it is possible to select whether the settings for Aperture Align and Gun Align of the

different apertures should also be saved when storing specific instrument settings using Save State (see

3.3.1).

Stage drive or beam shift will be used for the centring depending on the magnification. The respective value,

when to switch from one to the other, is implemented in the software. It is possible, however, to use the stage

drive even for higher magnifications where the system would normally switch to beam shift. To do so, a

magnification can be selected in the Beam Shift Mag. box from which the Centre Point and Centre Feature

centring functions will only be realised by using the beam shift.

When using slow scan rates, it is often difficult to see which line is currently being scanned by the electron

beam as there is no significant difference between the acquired image and the current line on the monitor. It

is therefore often recommended to leave a small bar on the left side of the image which indicates the scanned

line on the monitor. This bar can be activated in Scan Marker. The size and colour of the bar can be changed.

When using quicker scan rates, the Scan Marker is automatically deactivated and will only be displayed

when switching to a slower image acquisition.

281

The Display LUT function (see 5.5) allows for subsequent modification of the grey value distribution. When

activating Reset LUT on unfreeze, the modified setting of the Display LUT function is automatically reset

whenever unfreezing the image storage so that these settings do not affect the new image.

The Magnification Display field offers the possibility of selecting the

output device to be used for the calculation of the magnification. When

selecting Polaroid 545, the value of the magnification always refers to

the size of a Polaroid. Modifications to the Output to parameter in the

SEM Status do not influence the indicated magnification. When

activating Out Dev., however, it is up to the user to decide which output

device the magnification should refer to. Double-clicking this parameter

with the left mouse button selects the respective output device. User-specific magnification settings can also

be applied. This is recommended when the acquired images are integrated into a report, for example. As the

images in the report will certainly have another size than on the available output devices (e.g. monitor or

Polaroid), user-specific magnifications can be entered for the parameters User Dev 1 to 5.

4.) Pressure - Language - User Level - Error Messages:

T

he pressure unit can be switched between Torr, mbar and Pascal by clicking Pressure Unit. The Language box allows you to select the language for the menus, parameters and help text. At present, switching to German and French is only possible within certain limits. Help texts are only available in English.

The settings in User Access Level refer to parameters and commands to be selected e.g. in the SEM Status window (see 5.2) or by using the annotations (see 5.6). The desired level can be selected by clicking Novice, Expert or Service.

Novice: frequently used parameters and

commands

Expert: parameters and commands which may

be helpful for an advanced user

Service: Activation of all available parameters and commands

The Error Messages switch enables pre-settings to display error and warning messages.

Acknowledge on event: Display of error and warning messages. When this switch is activated, a dialogue window opens in case of error, indicating the error to the user. The user will only be able to continue working after confirmation. If the switch is disabled, the message will only be written in the list in the server.

282

5.) Stage:

The Backlash selection field offers the possibility of selecting the type of backlash correction for the

different motorised stage axes to improve the drive precision of the stage.

It may be recommended to use a quicker scan rate during the stage drive, particularly when scanning certain

sample ranges. After having found the sample range, it is recommended to switch back to a slower scan rate

to obtain a noise-free image. Such a presetting is possible by using Fast Scanning. When On is activated, the

system automatically switches to the quicker scan rate indicated in the selection bar anytime the specimen

stage moves. If the stage stops, the system switches back to the scan rate set at the start of the drive. The

same applies to the use of the noise reduction (Noise Reduction).

If the stage is moved by means of the soft joystick (see 4.1.1), a number of graphics are displayed to indicate

the direction of the drive and the position of the stage inside the specimen chamber. The desired graphics can

be selected in the Stage Graphics field.

N

ormally, the tilt plane of the stage is in the Y direction. When strongly tilting a plane

sample and focusing a spot, the stage may continue to move in the X direction without

losing the focus. Driving in the Y direction, however, will result in defocusing due to

the geometric alignment of the sample. This effect can be compensated to a certain

extent by changing the Z axis as a function of the Y drive. If the XY+Z ref. to Stage T

parameter is activated in the Stage Y in Tilted Plane (XY+Z) field, the Z axis will

always be moved when the Y axis is moved. It is essential, however, that the Stage XY+Z parameter be

activated in the SEM Control- window Stage. The tilt angle (Stage at T) of the table is now used to calculate

the value for the movement of the Z axis required to safeguard the focus when moving the stage in the Y

direction.

I

f a 6-axis motorised stage (e.g. SUPRA60) is installed on the SEM,

the stage disposes of two Z axes (Z, M). The M axis is used to set the

eucentric point. Unlike the normal Z axis, the M axis is moved to the

top (negative direction - reduction of the M coordinate) and to the

bottom (positive direction) when increasing this value. If the Give

Warning parameter is activated in the M Axis Warning field, a

message will be displayed anytime the M axes moves in a negative

direction in order to inform the user that the sample has moved to the

top.



283

5.16 Пользовательские настройки

Пользовательские настройки (User Preferences) позволяют осуществлять индивидуальную преднастройку программы-интерфейса СЭМ. Они вызываются с помощью всплывающего меню Инструменты>Пользовательские настройки (TOOLS-^ USER PREFERENCES). Окно подразделяется на шесть вкладок.



1.) Установка каталога привилегированного пользователя (Privileged User Directory Setup):

Выберите пользовательский каталог (папку), если такая функция была разрешена пользователю в окне Администратор (Administrator) (смотрите п. 3.1.1). Этот каталог будет использоваться при загрузке параметров, выбранных пользователем (например, Загрузить режим (Load State), Загрузить комментарий (Load Annotation), Макробиблиотека (Macro Library) и т.д.).

2.) Установка привилегированного каталога для изображений (Privileged Image Directory Setup):

Выберите каталог для изображений, если такая функция была разрешена пользователю в окне Администратор (Administrator) (смотрите п. 3.1.1). Из этого каталога можно загружать изображения и сохранять их в него.

3.) Режим СЭМ (SEM Condition):

Режим излучения (Emission Mode)позволяет решать, активировать ли автоматическую функцию яркости и контрастности детекторов при переключении к эмиссионному изображению. Если значение параметра Автосигнал (Auto Signal) – Выкл. (Off), текщая настройка будет использована для соответствующего детектора. Блок Перекрестие (Crosshairs) позволяет выбирать, будут ли на экране показаны перекрестия при вызове эмисионного изображения.

Для фокусного колебателя доступны две преднастройки. Если активирован параметр Уменьшенный растр (Reduced Raster), система автоматически переключится в соответствующий режим сканирования при вызове фокусного колебателя. При настройке фокусного колебателя часто рекомендуют использовать более быструю частоту сканирования. Поле Частота сканирования (Scan Rate) позволяет выбирать, будет ли при вызове фокусного колебания автоматически включаться режим быстрого сканирования. Активация параметра Гашение луча гасит электронный луч по траектории луча после фиксирования устройства содержания изображений с использованием электромагнитного переключателя раствора объектива. Пока изображение зафиксировано, исследуемый образец не будет сканироваться. Таким образом снижается вероятность повреждений от луча. Параметр Выравнивание раствора объектива (Aperture Align) позволяет выбирать, должны ли настройки для Выравнивания раствора объектива (Aperture Align) и Выравнивания электронной пушки (Gun Align) раличных растворов объектива сохраняться вместе с настройками инструмента при использовании меню Сохранить состояние (Save State) (смотрите п. 3.3.1).

В зависимости от увеличения для центрирования используется привод столика или смещение луча электронной трубки. Смена между ними приводится в исполнение программным обеспечением. Однако можно использовать привод столика даже для высоких коэффициентов увеличений, когда система переключилась бы на смещение луча электронной трубки. Для этого в настройках Увеличение сдвига луча ЭЛТ (Beam Shift Mag.) должно быть выбрано увеличение, из которого функции центрирования Начало отсчета (Centre Point) и Центральная точка (Centre Feature) будут осуществлены с использованием сдвига луча ЭЛТ. При низкой частоте сканирования часто трудно увидеть, какая линия в настоящий момент сканируется электронным лучом, так как между полученным изображением и текущей линией на мониторе нет практически никакой заметной разницы. В таком случае рекомендуется оставить с левой стороны изображения небольшую панель, обозначающую сканируемую линию на мониторе. Эту панель можно активировать в окне Метка сканирования (Scan Marker). Размер и цвет панели можно изменять. При высокой частоте сканирования Метка сканирования (Scan Marker) автоматически деактивируется и появляется только при переключении на низкую скорость сканирования.
281

Функция Показать ЛПТ (Display LUT) (смотрите п. 5.5) позволяет изменять рспределение оттенков серого цвета. Активируя Сброс ЛПТ при расфиксации (Reset LUT on unfreeze) измененное значение параметра Показать ЛПТ (Display LUT) автоматически сбрасывается при расфиксации устройства хранения изображений, чтобы эти значения не влияли на новое изображение.

В поле Параметры увеличения (Magnification Display) можно выбрать устройство вывода данных для расчета коэффициента увеличения. При выборе устройства Polaroid 545 значение коэффициента увеличения всегда будет зависеть от размеров устройства Polaroid. Изменения значения параметра Вывод на (Output to) в окне Статус СЭМ (SEM Status) не влияют на указанный коэффициент увеличения. Однако, активируя У-во вывода (Out Dev.), пользователь сам должен решить, для какого устройства вывода данных будет рассчитан коэффициент увеличения. Двойной щелчок левой кнопкой мыши на этом параметре выбирает соответствующее устройство вывода. Также можно применить пользовательские настройки увеличения. Это рекомендуется делать, например, тогда, когда полученные изображения вставляются в доклад. Поскольку размер изображений в отчете будет отличаться от размера на устройстве вывода (например, мониторе или Polaroid), пользователь может присвоить собственные значения для параметров У-во пользователя (User Dev) 1-5.

4.) Давление (Pressure) – Язык (Language) – Уровень пользователя (User Level) – Сообщения об ошибках (Error Messages):

Н

ажатием на Единица давления (Pressure Unit) можно изменять единицы давления между торром, милибаром и паскалем. Ячейка Язык (Language) позволяет выбирать язык для меню, параметров и справочных текстов. В настоящее время использование немецкого и французского языков ограничено. Справка доступна тольуо на английском.

Настройки в Уровне доступа пользователя (User Access Level) определяют, какие команды и параметры будут доступны, например, в окне Статус СЭМ (SEM Status) (смотрите п. 5.2) или доступны ли будут комментарии (смотрите п. 5.6). Доступен выбор из трех уровней: Новичок (Novice), Эксперт (Expert) и Служебный (Service).

Новичок (Novice): часто использующиеся параметры

и команды

Эксперт (Expert): параметры и команды, которые могут быть полезны продвинутому пользователю

Служебный (Service): Активация всех доступных параметров и

Сообщения об ошибках включает/выключает опцию показа предупреждений и сообщений об ошибках.

Подтверждение события (Acknowledge on event): Показывает предупреждения и сообщения об ошибках. Когда этот параметр активирован, в случае ошибки открывается диалоговое окно, сообщающее пользователю об ошибке. Пользователь сможет продолжить работу только после подтверждения.

Всплывающее окно (Pop Up on Warning): Активирование этого параметра показывает предупреждение в диалоговом окне. Если оно не активировано, диалоговое окно останется на заднем плане.

Пресекающее предупреждение (Suppress Warning): Если этот параметр активирован, в диалоговом окне появляется сообщение об ошибке. Если он не активирован, сообщение не будет появляться, но в протоколе на сервере будет произведена запись. Параметра Подтверждение события (Acknowledge on event) имеет приоритет перед параметром Пресекающее предупреждение (Suppress Warning).


282

5.) Столик (Stage):

Поле выбора Боковой зазор (Backlash) предоставляет возможность выбора типа коррекции бокового зазора для различных параметров механизированного столика с целью улушить точность хода столика

Во время привода столика рекомендуется использовать быстрое сканирование, в особенности при сканировании отдельных областей объектов. После обнаружения необходимого участка рекомендуется снова переключиться в режим медленного сканирования для получения изображения без помех. Такая настройка возможна при использовании параметра Быстрое сканирование (Fast Scanning). Когда активирован параметр Вкл. (On), система автоматически переключается на более высокую скорость сканирования, отображающуюся в отборочной полосе все то время, когда двигается предметный столик. Если столик останавливается, система снова переключается на скорость, установленную при запуске прибора. То же самое справедливо и для снижения помех (Снижение помех (Noise Reduction)).

Если столик двигается при помощи джойстика (смотрите п. 4.1.1), на экране отображается ряд графиков, показывающих направление привода и положение столика внутри помещения для столика. Выбрать графики, которые будут показываться, можно в поле Графики столика (Stage Graphics).

О

бычно наклонная пластина на столике находится в положении Y. Если сильно наклонить плоский образец и сфокусировать на точке, столик может продолжить двигаться в направлении Х без потери фокуса. Однако, движение в направлении Y приведет к расфокусировке из-за геометрической ориентации образца. Этот эффект в некоторой степени можно компенсировать, изменив ось Z в качестве функции привода Y. Если в поле Stage Y in Tilted Plane (XY+Z)активирован параметр XY+Z ref. to Stage T, ось Z всегда будет двигаться во время движения оси Y.

Однако важно при этом, чтобы параметр Stage XY+Z был активирован в окне Режим СЭМ (SEM Control). Угол наклона (Stage at T) столика в таком случае используется для расчета значения для движения оси Z, необходимого для обеспечения фокуса во время движения в направлении Y.

Е

сли на СЭМ установлен 6-осный механизированный столик (например, SUPRA60), столик располагает двумя Z-осями (Z, M). Ось М используется для установки эуцентрической точки. В отличие от нормальной оси Z, ось M движется к вершине (негативное направление – редукция координаты М) и к низу (позитивное направление) при увеличении этого значения. Если в поле Предупреждение оси М (M Axis Warning) активирован параметр Давать предупреждения (GiveWarning), всякий раз, когда ось М будет двигаться в негативном направлении, будет показываться сообщение, информирующее пользователя о том, что образет движется к верху.
283

283