Material science and technology





НазваниеMaterial science and technology
страница13/19
Дата публикации24.12.2014
Размер1.6 Mb.
ТипДокументы
100-bal.ru > Химия > Документы
1   ...   9   10   11   12   13   14   15   16   ...   19

Е.П.Светлов-Прокопьев. О рождении антиматерии при столкновениях атомных ядер с Z>85 в «тяжелой» высокотемпературной плазме и возможная схема аннигиляционного двигателя. Тезисы доклада. «Вторая междисциплинарная (биология, медицина, физика, химия…) конференция, посвященная 300-летию г.Петрозаводска «Новые биокибернетические и телемедицинские технологии 21 века» («НБИТТ-21»). 23-25 июня 2003 г. Петрозаводск: ПетрГУ, 2003. С.50,51.

  • С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.В.Калугин, В..И.Графутин. Разработка и изготовление структур КНИ сращиванием пластин кремния для производства радиационно-стойких ИС. Научная сессия МИФИ-2004. IV Научно-техническая конференция «Научно-инновационное сотрудничество». Сборник научных трудов. Часть 2. М.: МИФИ, 2004. С.47.


  • С.П.Тимошенков, В.В. Калугин, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.И.Графутин. Физико-химические основы производства микромеханических чувствительных элементов гироскопов и акселерометров. Научная сессия МИФИ-2004. IV Научно-техническая конференция «Научно-инновационное сотрудничество». Сборник научных трудов. Часть 2. М.: МИФИ, 2004. С.48,49.

  • Б.Ю.Богданович, В.В.Дягилев, В.И.Графутин, А.В.Нестерович, Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Применение ПАС в радиационной физике материалов. Научная сессия МИФИ-2004. Сборник научных трудов. Том 7. М.: МИФИ, 2004. С.185.

  • С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев. Исследование процессов подготовки поверхности пластин кремния в процессе изготовления структур КНИ и микроэлектронных изделий. Микроэлектроника. 2003. Т.32. №6.С.459-465.

  • А.Л.Суворов, Е.П.Прокопьев, А.Г.Залужный, В.И.Графутин, С.П.Тимошенков, В.В.Калугин. Исследование процесса очистки поверхности подложек с использованием методов термообработки во влажных условиях при получении структур кремний на изоляторе. Известия вузов. Электроника. 2002. №3. С.24-29.

  • Б.Ю.Богданович., А.В. Нестерович, С.П.Тимошенков, В.И Графутин,. Е.П Прокопьев, П.В. Алферов, В.В.Калугин, Ю.Я.Лапицкий, Ю.Б.Стасевич. .Возможности создания источников ионов водорода для технологических установок имплантации протонов в полупроводниковые пластины большого диаметра с целью создания многослойных структур. Оборонный комплекс-научно-техническому прогрессу России. 2004. №1. С.55-61.

  • Тимошенков С.П., Лапицкий Ю.Я., Графутин В.И., Прокопьев Е.П., Калугин В.В., Стасевич Ю.Б., Захаров А.А. Разработка источников ионов водорода для имплантации протонов в полупроводниковые пластины с целью создания многослойных структур. Оборонный комплекс - научно-техническомк прогрессу России. 2004. №4. С.45-49.

  • А.Л.Суворов, В.И.Графутин,. Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.В. Калугин. Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек. Атомная энергия. 2003. Т.95. Вып.5. С.359-363.

  • В.П.Бабаев, С.П.Тимошенков, Е.П.Прокопьев, Ан.С.Тимошенков, В.В.Калугин, Д.К.Григорьев, Ал.С.Тимошенков. Возможные синергетические подходы к проблемам электронного материаловедения. Петербургский журнал электроники. 2003. №3. С.21-39.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков. ELTRAN процесс в производстве солнечных элементов. . Петербургский журнал электроники. 2003. №4. С.18-24.
  • Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин.. Анализ массопереноса в гидридных и хлоридных процессах наращивания слоев кремния и GexSi1-x при быстром импульсном нагреве подложек некогерентными источниками света. Материаловедение. 2004. №5. С.18-23.

  • Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин. Особенности процесса роста слоев GexSi1-x на изолирующих и полупроводниковых подложках в смешанных гидридном и дихлорсилановом процессах. Материаловедение. 2004. №6. С.8-12.

  • В.И.Графутин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, П.В.Крамер, С.А.Гаврилов, Г.Г.Мясищева, Ю.В.Фунтиков. Позитронные состояния и фазовые переходы в пористом кремнии. Химическая физика. 2004. Т.23. №5. С.22-28.


  • Б.Ю.Богданович, В.В.Дягилев, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, В.В.Калугин, Г.Г.Мясищева, А.В.Нестерович, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков.Изучение протонированных пластин кремния, используемых для производства структур КНИ, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. I. Теория и методика эксперимента. Оборонный комплекс - научно-техническомк прогрессу России. 2004. №2. С.19-25.

  • Б.Ю.Богданович, В.В.Дягилев, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, В.В.Калугин, Г.Г.Мясищева, А.В.Нестерович, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков.Изучение протонированных пластин кремния, используемых для производства структур КНИ, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. . II. Теория позитронных состояний в кремнии, облученном протонами. Определение средних концентраций радиационных дефектов. Оборонный комплекс - научно-техническомк прогрессу России. 2004. №3. С.37-43.

  • С.А.Гаврилов, В.И.Графутин, В.В.Калугин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Исследование нанопористых материалов методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Доклад и тезисы докладов 54 Международного Совещания по ядерной спектроскопии и структуре атомного ядра (ЯДРО-2004) 22-26 июня 2004. Россия, Белгород. БелгорГУ. 2004. C.297.

  • Светлов-Прокопьев Е.П. Проблема физики и химии антивещества и возможности его синтеза. Доклад и тезисы докладов 54 Международного Совещания по ядерной спектроскопии и структуре атомного ядра (ЯДРО-2004) 22-26 июня 2004. Россия, Белгород. БелгорГУ. 2004. C. 264, 265.

  • Cветлов-Прокопьев Е.П. Возможности получения интенсивных потоков позитронов и их применение. Доклад и тезисы докладов 54 Международного Совещания по ядерной спектроскопии и структуре атомного ядра (ЯДРО-2004) 22-26 июня 2004. Россия, Белгород. БелгорГУ. 2004. C. 266, 267.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев. Анализ математических моделей процесса роста пленокв силановых плазменных смесях пониженного давления. Сборник трудов IV Международной конференции. (5-8 июля 2004 года. Санкт-Петербург: ФТИ им. А.Ф.Иоффе РАН, 2004) Санкт-Петербург: Изд-во СПбГПУ, 2004. С. 33, 34.

  • С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин, Е.П.Светлов-Прокопьев. Исследование свойств структур КНИ методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Сборник трудов IV Международной конференции. (5-8 июля 2004 года. Санкт-Петербург: ФТИ им. А.Ф.Иоффе РАН, 2004) Санкт-Петербург: Изд-во СПбГПУ, 2004. С.316, 317.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев. Возможная концепция Мирового Разума. Тезисы доклада. «Третья междисциплинарная (биология, медицина, физика, химия, математика, образование,…) конференция «Новые биокибернетические и телемедицинские технологии 21 века» («НБИТТ-21»). 21-23 июня 2004 г. Петрозаводск: ПетрГУ, 2004. С.48.

  • С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Светлов-Прокопьев. Подготовка кремниевых пластин для структур КНИ: химическая обработка. Петербургский журнал электроники. 2004. №1. С.13-19.

  • С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Светлов-Прокопьев. Подготовка кремниевых пластин для структур КНИ: Физико-химические основы методов обработки. Петербургский журнал электроники. 2004. №2. С.24-33.

  • С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев. Получение приборных структур КНИ с использованием методов химической обработки и сращивания пластин кремния. Микроэлектроника. 2004. Vol.33. №4. С.296-301.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев. О проблемe физики и химии антивещества и возможности его синтеза. Тезисы доклада. «Третья междисциплинарная (биология, медицина, физика, химия, математика, образование,…) конференция «Новые биокибернетические и телемедицинские технологии 21 века» («НБИТТ-21»). 21-23 июня 2004 г. Петрозаводск: ПетрГУ, 2004. С.49,50.

  • С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, В.И.Графутин, Е.П.Светлов-Прокопьев, О.М.Бритков. Получение приборных структур КНИ с использованием методов химической обработки и сращивания пластин кремния. пленки – 2004. Материалы Международной научно-практической конференции «Тонкие пленки и наноструктуры». 7-10 сентября 2004 г., Москва-2004. Часть 2. М.: МИРЭА (ТУ), 2004. С.145-148.

  • С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.И.Графутин, В.В.Калугин, А.Н.Бойко. Разработка и изготовление структур КНИ для производства интегральных схем и микроэлектромеханических систем. . intermatic – 2004. Матермалы Международной научно-практической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения». 7-10 сентября 2004 г., Москва-2004. Часть 2. М.: МИРЭА (ТУ), 2004. С.52-55

  • Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.В.Калугин. Учет вклада действия ударной волны в общий процесс массопереноса в гидридных и хлоридных процессах наращивания слоев кремния и GexSi1-x при быстром импульсном нагреве подложек некогерентными источниками света. intermatic – 2004. Материалы Международной научно-практической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения». 7-10 сентября 2004 г., Москва-2004. Часть 2. М.: МИРЭА (ТУ), 2004. С.127-129

  • С.П.Тимошенков, В.В.Дягилев, В.И.Графутин, Е.П.Прокопьев, В.В.Калугин. Исследование, разработка и изготовление структур КНИ для производства интегральных схем и различных приборов микроэлектроники. Материалы 14-й Международной конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо”2004). Севастополь, Крым, Украина – 13 – 17 сентября 2004 г. Черномор. Филиал МГУ и СевНТУ, 2004. C.545,546.

  • В.В.Дягилев, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Исследование облученных протонами пластин кремния, используемых для производства структур КНИ, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Материаловедение. 2004. №11. С.16-19. №12. С.14-21.

  • В.В.Дягилев, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Исследование облученных протонами пластин кремния, используемых для производства структур КНИ, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. ЧастьII. Материаловедение. 2004. №12. С.29-35.

  • Б.Ю.Богданович, А.В.Нестерович, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, Е.П.Светлов-Прокопьев,. П.В.Алферов, В.В.Калугин. Радиационные свойства структур КНИ. Труды XIV Международного совещания «Радиационная физика твердого тела». (Севастополь, 5 - 11 июля 2004 г.), ред. проф. Бондаренко Г.Г. М.: МИЭМ (ТУ), 2004. С.396-400.

  • В.И.Графутин, С.П.Тимошенков, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Светлов-Прокопьев, Ю.В.Фунтиков, О.М.Бритков. Применение ПАС для определения концентраций радиационных дефектов в пластинах кремния, облученных протонами. Труды XIV Международного совещания «Радиационная физика твердого тела». (Севастополь, 5 - 11 июля 2004 г.), ред. проф. Бондаренко Г.Г. М.: МИЭМ (ТУ), 2004. С.537-541.

  • В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков,А.А.Голубский, Ю.В.Фунтиков, П.В.Тимошенков. Исследование структур кремний на изоляторе методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Труды XIV Международного совещания «Радиационная физика твердого тела». (Севастополь, 5 - 11 июля 2004 г.), ред. проф. Бондаренко Г.Г. М.: МИЭМ (ТУ), 2004. С.542-546.

  • Е.П. Светлов-Прокопьев Возможность неравновесных фазовых переходов в ансамблях дефектов кремния в процессе ионной имплантации. Тезисы докладов Совещания «КРЕМНИЙ - 2004». 5 – 9 июля 2004 Иркутск. Иркутск:Изд-во Института географии, 2004. С.149.

  • С.П.Тимошенков, Е.П.Cветлов-Прокопьев, В.В.Калугин, В.И.Графутин, Ю.Я.Лапицкий, Б.Ю.Стасевич. Разработка модифицированного источника ионов водорода для технологических установок имплантации протонов в полупроводниковые пластины с целью создания многослойных структур. Тезисы докладов Совещания «КРЕМНИЙ - 2004». 5 – 9 июля 2004 Иркутск. Иркутск:Изд-во Института географии, 2004. С.187.

  • Е.П.Cветлов-Прокопььев. Лазерно-химические методы осаждения слоев кремния в гидридном и хлоридных процессах в стационарном и импульсном режимах. Тезисы докладов Совещания «КРЕМНИЙ - 2004». 5 – 9 июля 2004 Иркутск. Иркутск:Изд-во Института географии, 2004. С.88.

  • С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев. Радиационные свойства структур КНИ. Тезисы докладов Совещания «КРЕМНИЙ - 2004». 5 – 9 июля 2004 Иркутск. Иркутск:Изд-во Института географии, 2004. С.123.

  • Б.Ю.Богданович, А.В.Нестерович, С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, П.В.Алферов, В.В.Калугин, В.И.Графутин, Ю.Я.Лапицкий, Б.Ю.Стасевич. Разработка и исследование модифицированного источника ионов водорода для технологических установок имплантации протонов в полупроводниковые пластины большого диаметра с целью создания многослойных структур. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.53,54.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, В.И.Графутин. Лазерно-химические методы осаждения слоев кремния в гидридном и хлоридных процессах в стационарном и импульсном режимах. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.110,111.

  • С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.В.Калугин. Технологии получения многослойных структур и структур КНИ с использованием стеклообразных материалов. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.126,127.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев. Проблема физики и химии антивещества и возможности его синтеза. Материалы VIII Всерос. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 80-летию со дня рождения генерального конструктора ракетно-космических систем академика М.Ф. Решетнева (11-12 нояб 2004, г.Красноярск)/СибГАУ.-Красноярск,2004.-302 с.). С.102, 103.

  • Б.Ю.Богданович, А.В.Нестерович, С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, П.В.Алферов, В.В.Калугин, В.И.Графутин, Ю.Я.Лапицкий, Б.Ю.Стасевич. Разработка и исследование модифицированного источника ионов водорода для технологических установок имплантации протонов в полупроводниковые пластины большого диаметра с целью создания многослойных структур. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.53,54.




    1. Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, В.И.Графутин. Лазерно-химические методы осаждения слоев кремния в гидридном и хлоридных процессах в стационарном и импульсном режимах. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.110,111.

    2. С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.В.Калугин. Технологии получения многослойных структур и структур КНИ с использованием стеклообразных материалов. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.126,127.

    3. Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков. Возможность синергетического подхода к проблеме окисления поверхности германия в микроэлектронике. НАДЕЖНОСТЬ И КАЧЕСТВО. Труды международного симпозиума. Под ред. А.Н.Андреева, В.И.Волчихина, Е.А.Мокрова, А.В.Блинова, Н.К.Юркова, В.А.Трусова. Пенза: Изд-во Пенз. гос. ун-та, 2004. С.184-189. (об`ем – 481 с., илл. – 274, табл.96, библ. – 817 назв.).

    4. Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин. Учет вклада действия ударной волны в общий процесс массопереноса в гидридных и хлоридных процессах наращивания слоев кремния и GexSi1-x при быстром импульсном нагреве подложек некогерентными источниками света. Тезисы доклада Международной научной конференции «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии». 19-24 октября 2004 г. Кисловодск, Россия, 2004. С.121.

    5. Светлов-Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П. Получение слоев GexSi1-x на изоляторе в смешанных гидридном и дихлорсилановом процессах. Тезисы докладов девятой научно-технической конференции «Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники».
  • 1   ...   9   10   11   12   13   14   15   16   ...   19

    Похожие:

    Material science and technology iconДиссертации: «Формирование профессиональной общности работников сферы...
    Европейский Университет в Санкт-Петербурге, Факультет политических наук и социологии, PhD (Major: Science and Technology Studies;...
    Material science and technology iconFor reading science and technology
    «Холодильная, криогенная техника и кондиционирование», 150400 «Технологические машины и оборудование», 220301 «Автоматизация технолгических...
    Material science and technology iconThere is no national science just as there is no national multiplication...
    А. Kozhevnikova, Assoc. Prof of the Department of English for Humanities (Samara State University), Member of Board of Experts for...
    Material science and technology iconTsinghua Science and Technology Наука и техника университета Цинхуа
    Статьи включают исследования, проводимые преподавателями Университета Цинхуа и других китайских университетов, ученых Китайской академии...
    Material science and technology iconПрограмма по формированию навыков безопасного поведения на дорогах...
    Ключевые слова: 3d studio max, материал, Material, проецирование, текстурирование, uvw map, mapping coordinates
    Material science and technology iconУрок английского языка по теме «Путешествие в Лондон», 6 класс
    ...
    Material science and technology iconHistorical digression creation of mmwt kovert technology
    Программа отборочного этапа конкурса на получение подрядов на выполнение проектных и строительных работ
    Material science and technology iconPoqutec (Power Quality and Technology), Ltd
    Эксклюзивные представители Финской компании на Территории России, по поставке Гриль-домиков и Гриль-беседок
    Material science and technology iconМай Июнь Июль Авг. Сент. Окт. Ноя дек Всего 2010 Science

    Material science and technology iconУрок информатикая
    В англоязычных странах этому термину соответствует синоним computer science (наука о компьютерной технике)
    Material science and technology iconInformation technology. Security techniques. Methodology for it security evaluation
    Информационная технология. Методы и средства обеспечения безопасности. Методология оценки безопасности информационных технологий
    Material science and technology iconBut in science the credit goes to the man who convinces the world,...

    Material science and technology iconПатентам и товарным знакам (19)
    Ялта, Крым, Украина, 25-31 августа 2009, с. 214-215. Shoenfelder c. W. At all, Kinetics of thermal decomposition ofTiH2, Journal...
    Material science and technology iconХимия и технология топлив и масел. 2002. No C. 26-29. Chemistry and...
    Долговременная (до месяцев) «память» об условиях формирования эмульсий обусловлена прочностью пространственных структур, содержащих...
    Material science and technology iconРабочая программа учебной дисциплины
    «Management», qualification (degree) to be earned – Master of Science in Goods management. Full-time program
    Material science and technology iconДоклад на тему: «Здоровьесберегающие технологии в школе»
    Об актуальности такого подхода к образованию – технологического, с которым методисты, педагоги обращаются к новым для них понятиям...


    Школьные материалы


    При копировании материала укажите ссылку © 2013
    контакты
    100-bal.ru
    Поиск