 -Н и р- . М., 1991. С.55-59. - Деп. в ВИНИТИ. 5.07.91. №2886-В91.
Прокопьев Е.П. Позитронная аннигиляция и космическая гамма-астрономия. М., 1991. С.58-59. - Деп. в ВИНИТИ. 5.07.91. №2886-В91.
Прокопьев Е.П. Аннигиляция позитронов и проблема суператомов в полупроводниковых сверхструктурах. М., 1991. С.62-65. - Деп. в ВИНИТИ. 5.07.91. №2886-В91.
Прокопьев Е.П. О позитронных состояниях в квантовых ямах полупроводниковых сверструктур. М., 1991. С.66-67. - Деп. в ВИНИТИ. 5.07.91. №2886-В91.
Прокопьев Е.П. О позитронных состояниях в тонких полупроводниковых слоях. М., 1991. С.68 - 69. - Деп. в ВИНИТИ. 5.07.91. №2886-В91.
Прокопьев Е.П. Энергетический спектр атома позитрония в малых сферических частицах. М., 1991. С.70-71. - Деп. в ВИНИТИ. №2886-В91.
Прокопьев Е.П. О процессе аннигиляции позитронов в галактической среде с низкой плотностью // В кн.: Ядерная спектроскопия и структура атомного ядра. Тезисы докладов 41 Международного совещания. Л.: Наука, 1991. С.453.
Прокопьев Е.П. Исследование дефектов структуры ВТСП материалов методом аннигиляции позитронов // В кн.: Ядерная спектроскопия и структура атомного ядра. Тезисы докладов 41 Международного совещания. Л.: Наука, 1991. С.475.
Прокопьев Е.П. Исследование ВТСП материалов методом аннигиляции позитронов. М., 1991. 51 с. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5451. Электронная техника. Сер.6. Материалы. 1991. Вып.8. С.80.
Прокопьев Е.П. Позитроны зондируют сверхпроводимость // В кн.: Ядерная спектроскопия и структура атомного ядра. Тезисы докладов 42 Международного совещания. Санкт-Петербург: Наука, 1992. С.408.
Прокопьев Е.П. О позитронных состояниях в полупроводниковых сверхрешетках // В кн.: Ядерная спектроскопия и структура атомного ядра. Тезисы докладов 42 Международного совещания. Санкт-Петербург: Наука, 1992. С.408.
Прокопьев Е.П. Аннигиляция позитронов, связанных с отрицательными ионами в диэлектрической среде. М., 1992. С.53-60. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5482.
Прокопьев Е.П. О позитронной метрике дефектов структуры твердого тела. М., 1992. С.61-65. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5482.
Прокопьев Е.П. Позитроны и позитроний в квантовых ямах полупроводниковых сверхструктур. М., 1992. С.66. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5482.
Прокопьев Е.П. Позитронная аннигиляция и суператомы в полупроводниковых сверхрешетках. М., 1992. С.67-72. - Деп. в ЦНИИ”Электроника”. Р-5482.
Прокопьев Е.П. Позитронная аннигиляция и суператомы в полупроводниковых сверхрешетках. 11. М., 1992. С.73-77. - Деп. в ЦНИИ”Электроника”. Р-5482.
Прокопьев Е.П. Энергия связи позитрона с вакансиями в конденсированных средах: модельный потенциал V(r) = - Ze /(+ r) . М., 1992. С.78. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5482.
Прокопьев Е.П. Позитронная астрофизика и позитронные состояния в галактической среде с низкой плотностью. М., 1992. С.79-84. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5482.
Прокопьев Е.П. О процессе аннигиляции позитронов в галактической среде с низкой плотностью. М., 1992. С.85-89. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5482. Доклад на 42 Международном совещании по ядерной спектроскопии и структуре атомного ядра. Минск, 1991.
Прокопьев Е.П. Аннигиляция позитронов, связанных с отрицательными ионами в диэлектрической среде // Физика твердого тела. 1992. Т.34. №6. С.1671-1675.
Прокопьев Е.П. Позитроний в полупроводниковых структурах с квантовыми ямами // Физика и техника полупроводников. 1992. Т.26. Вып.10. С.1681-1687.
Прокопьев Е.П. О взаимодействии вещества и антивещества. Системы -Н, р- и Н-. Приложения в электронике // Электронная техника. Сер.3. Микроэлектроника. 1992. Вып.4. С.65-68.
Прокопьев Е.П. Поляронные свойства позитрония при локализации в квантовых ямах // Химия высоких энергий. 1992. Т.26. №5. С.395-397.
Прокопьев Е.П. Аннигиляция позитронов на F- центрах в ионных кристаллах // Химия высоких энергий. 1994. Т.28. №4. С.366-368.
Прокопьев Е.П. О позитронной метрике дефектов структуры твердого тела // Поверхность. 1993. №10. С.91-94.
Прокопьев Е.П. Позитронная аннигиляция и суператомы в полупроводниковых сверхрешетках // Химия высоких энергий. 1994. Т.28. №3. С.286-288.
Прокопьев Е.П. Позитронная астрофизика и позитронные состояния в галактической среде с низкой плотностью // Астрономический журнал. 1994. Т.70. №3. С.906-908.
Прокопьев Е.П., Шантарович В.П., Тарасов В.Д., Фокина Л.А., Кобрин Б.В. Механизм аннигиляции при облучении позитронами полярных веществ // Химия высоких энергий. 1995. Т.29. №1. С.66-69.
Прокопьев Е.П. Аннигиляция позитронов на примесях с глубокими уровнями в полупроводниках // Физика и техника полупроводников. 1993. Т.27. Вып.9. С.1569-1572.
Прокопьев Е.П. Аннигиляция позитронов и комплексы Уилера в полупроводниках // Химия высоких энергий. 1995. Т.29. №5. С.394-396.
Прокопьев Е.П. О влиянии внешнего магнитного поля на свойства позитрония в полупроводниках // Поверхность. 1994. №4. С.117-120.
Прокопьев Е.П. Термализация позитронов и атома позитрония в молекулярных веществах // Поверхность. 1994. №5. С.5-7.
Прокопьев Е.П. Позитронные состояния в новой физике полупроводников. М., 1993. С.15. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5490.
Прокопьев Е.П. Новые представления об аннигиляции позитронов и позитронных состояниях в полупроводниках // Химия высоких энергий. 1994. Т.28. №5. С.426-428.
Прокопьев Е.П. Аннигиляция позитронов на примесях с глубокими уровнями в полупроводниках. М., 1994. С.184-191. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5497.
Прокопьев Е.П. Исследования позитронных состояний и позитронной аннигиляции в новой физике полупроводников. М., 1994. С.192-194. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5497.
Prokop’ev E.P. Positron annihilation in a new Semiconductor Physics // Abstracts of 10 th International Conference on Positron Annihilation. Beijing, China, May 23-29, 1994. P2-10.
Prokop’ev E.P. Positron annihilation and positron states in galactic medium with low density // Abstracts of 10 th International Conference on positron annihilation. Beijing, China, May 23-29, 1994. C24-2.
Прокопьев Е.П. Позитроний в квантовой яме и сильном магнитном поле в полупроводниковых сверхструктурах // В кн.: Ядерная спектроскопия и структура атомного ядра. Тезисы докладов 44 Международного совещания. Санкт-Петербург: Наука, 1994. С.367.
Прокопьев Е.П. Исследования в области технологии получения слоев кремния и сложных систем. М., 1994. 138 с. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5500.
Прокопьев Е.П. Исследования в области электронного материаловедения и физических методов исследования материалов электронной техники. М., 1994. 196 с. - Отчет НИИМВ. №2858 инф.
Прокопьев Е.П. Позитроний в резко анизотропных слоях полупроводников и сильном магнитном поле // Поверхность. 1994. №12. С.54-59.
Прокопьев Е.П. О локализованных позитронных и позитрониевых состояниях на дефектах структуры кристаллов // В кн.: Ядерная спектроскопия и структура атомного ядра. Тезисы докладов 45 Международного совещания. Санкт-Петербург: Изд-во ПИЯФ, 1995. С.407.
Прокопьев Е.П. Применение метода функций Грина к исследованию позитронных процессов в кристаллах // Поверхность. 1995. №7-8. С.5-11.
Prokop’ev E.P. Investigations of defect parametres in a-Si:H by positron annihilation method // Abstracts of 8 Internat. Conf. on the Physics of Non-Crystalline Solids. Turku, Finland. 1995. P.92.
Prokop’ev E.P. Investigations by positron annihilation method of chalcogenide glassy semiconductors // Abstracts of 8 Inernat. Conf. on the Physics of Non-Crystaline Solids. Turku, Finland. 1995. P.92.
Prokop’ev E.P. Structure defects in chalcogenide semiconductor glasses on date of positron annihilation // Proc. of “12 Internat. Congress on Glass”. 1995. Vol.7. P.174 (Beijing, 9-14 october 1995).
Прокопьев Е.П., Петров С.В., Соколов Е.М. Некоторые вопросы теории технологии получения аморфных и эпитаксиальных слоев кремния, физики медленных позитронов и сложных систем. М., 1995. 149 с. - Деп. в ЦННИ “Электроника”. Р-5501.
Прокопьев Е.П. Магнитопозитроний в полупроводниках // Химия высоких энергий. 1996. Т.30. №2. С.141-144.
Прокопьев Е.П. Особенности определения свободных объемов и их распределение по радиусам в технически важных материалах методом ПАВ спектроскопии // В кн.: Международное совещание по физике ядра (46 Совещание по ядерной спектроскопии и структуре атомного ядра. Москва, 18-21 июня 1996 г.). Тезисы докладов. Санкт-Петербург: Изд-во ПИЯФ, 1996. С.377.
Прокопьев Е.П. Некоторые вопросы теории позитроники полупроводников и ионных кристаллов. М., 1996. 128 с. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5502.
Прокопьев Е.П., Шантарович В.П. Квантовополевая теория позитронных состояний в твердых телах, содежащих электроны, позитроны, дырки, экситоны, атом позитрония и комплесы Уилера // Химия высоких энергий. 1996. Т.30. №4. С.300-303.
Prokop’ev E.P. Investigations in area of slow positron physics, complex systems and material science. М., 1995. С.49. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5501.
Prokop’ev E.P. Investigations of defect parametres in a-Si:H by positron annihilation method.М., 1995. С.130. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5501.
Prokop’ev E.P. Investigations by positron annihilation method of chalcogenide glassy semiconductors. М., 1995. С.131. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5501.
Прокопьев Е.П. Теория атома позитрония в кристаллах. М., 1996. С.1-15. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5502.
Прокопьев Е.П. Теория атома позитрония в полупроводниках и ионных кристаллах. М., 1996. С.16-25. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5502.
Прокопьев Е.П. Теория позитронных F’+ - центров в ионных кристаллах. М., 1996. С.26-37. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5502.
Прокопьев Е.П., Шантарович В.П. Оптическая модель позитрона и эффективные заряды ионов кислорода в окислах металлов. М., 1996. С.39-56. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5502.
Прокопьев Е.П. “Позитронные” эффективные заряды анионов в средах ионного типа. М., 1996. С.57-77. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5502.
Прокопьев Е.П. Позитроны и атом позитрония, локализованные на дефектах структуры кристаллов. М., 1996. С.78-87. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5502.
Прокопьев Е.П. Позитронные состояния в кремнии i-типа. М., 1996. С.88-100. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5502.
Прокопьев Е.П. Позитронные состояния в бездефектных кристаллах кремния. М., 1996. С.113-128. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5502.
Prokop’ev E.P., Shantarovich V.P., Minaev V.S. Structure defects in chalcogenide semiconductor glasses on data of positron annihilation. М., 1996. С.101-102. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5502.
Прокопьев Е.П. Позитронсодержащие системы Х-е+ и X=e+ : учет поляризации анионов // Химическая физика. 1997. Т.16. №5. С.65-71.
Прокопьев Е.П. Позитроны и атом позитрония, локализованные на дефектах структуры кварца и кремния // Химия высоких энергий. 1997. Т.31. №2. С.158-160.
Прокопьев Е.П. “Позитронные” эффективные заряды анионов в полярных веществах // Известия вузов. Физика. 1997. №2. С.23-29.
Прокопьев Е.П. О познании сложных систем. II. Самоорганизация в неравновесных твердых телах. М., 1991. С.35-47. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5436.
Прокопьев Е.П. О геттерировании и синергетическом подходе в проблеме кремния. М., 1991. 71 с. - Деп. в ВИНИТИ. №2886-В91.
Прокопьев Е.П. Анализ математических моделей скорости роста аморфных пленок a-Si:H в силановых плазменных смесях пониженного давления и синергетические эффекты в проблеме окисления кремния. М., 1992. 74 с. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5476.
Прокопьев Е.П. О возможности синергетического подхода к эволюции свойств технически важных материалов. М., 1992. С.35-41. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5482.
Прокопьев Е.П. Модели Лоттки-Вольтерра, брюсселятора и орегонатора и научные основы синтеза и эксплуатации материалов электронной техники. М., 1992. С.42-52. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5482.
Прокопьев Е.П. Возможные химические реакции для случая неравновесных фазовых переходов в атмосфере дефектов кремния // Физика и химия обработки материалов. 1992. №4. С.107-111.
Прокопьев Е.П. О возможности синергетического подхода к эволюции свойств технически важных материалов // Письма в ЖТФ. 1992. Т.18. Вып.21. С.80-84.
Прокопьев Е.П. Феноменологическая модель эволюции свойств пленок SiO2 на поверхности кремния // Журнал прикладной химии. 1993. Т.66. №6. С.1242-1245.
Прокопьев Е.П. Возможность самоорганизации в атмосфере собственных дефектов кремния // Известия вузов. Химия и химическая технология. 1993. Т.36. №11. С.22-25.
Прокопьев Е.П. Исследования в области технологии получения слоев кремния и сложных систем. М., 1994. 138 с. - Деп. в ЦНИИ “Электроника”. Р-5500.
Прокопьев Е.П. Неравновесные фазовые переходы в квазихимических реакциях в ансамблях дефектов кремния в процессе ионной имплантации // Известия вузов. Химия и химическая технология. 1994. Т.37. №7-9. С.18-22.
Прокопьев Е.П. О возможности неравновесных фазовых переходов в атмосфере собственных дефектов кремния при протекании квазихимических реакций // Высокочистые вещества. 1995. №5. С.24-29.
Прокопьев Е.П. Модель неравновесных фазовых переходов в системе радиационных дефектов кремния и германия // Химическая физика. 1996. Т.15. №10. С.107-111.
Прокопьев Е.П. Позитронсодержащие системы Х-е+ и Х=е+: учет поляризации анионов // Химическая физика. 1997. Т.16. №5. С.65-71.
Прокопьев Е.П. Позитроны и атом позитрония, локализованные на дефектах структуры кварца и кремния // Химия высоких энергий. 1997. Т.31. №2. С.158-160.
Прокопьев Е.П. “Позитронные” эффективные заряды анионов в полярных веществах // Известия вузов. Физика. 1997. №2. С.23-29.
Прокопьев Е.П. Теория позитронных F+ - центров в ионных кристаллах // Химия высоких энергий. 1998. Т.32. №1. С.60-62.
Прокопьев Е.П., Шантарович В.П. Оптическая модель позитрона и эффективные заряды ионов кислорода в окислах металлов // Химическая физика. 1998. Т.17. №4. С.3-7.
Прокопьев Е.П. Об аномалиях аннигиляции атома позитрония в кристаллах // Химическая физика. 1998. Т.17. №7. С.122-124.
Прокопьев Е.П. Времена жизни магнитопозитрония в полупроводниковых квантовых ямах // Письма в ЖТФ. 1998. Т.24. №12. С.82-84.
Е.П.Прокопьев, В.И.Графутин С.П.Тимошенков.О возможности использования атома позитрония в проблеме квантовой телепортации. В кн.: Международный научно-технический семинар “Проблемы передачи и обработки информации в сетях и системах телекоммуникаций”. Материалы семинара. Рязань: Изд-во Рязанской государственной радиотехнической академии, 1999. С.138-140.
В.И.Графутин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.П.Шантарович. Времена жизни магнитопозитрония в квантовых ямах полупроводниковых сверхструктур GaAs|Al0,3Ga0,7As. Химическая физика. 2001. Т.20. №3. С.27-30.
В.И.Графутин, Е.П.Прокопьев, Г.Г.Мясищева, Ю.В.Фунтиков. Особенности механизма аннигиляции позитронов в металлах. Физика твердого тела. 1999. Т.41. Вып.6. С.929-934.
GETTERRING
E.P.Prokop'ev. Problem of getterring in silicon. Moscow. 1991. P.1-34. Deposited paper. VINITI. 5.07.91. No 2886-B91.
E.P.Prokop'ev, one co-author. A simple analytical model of getterring of gold in silicon. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1991. No 8. P.78-80.
E.P.Prokop'ev. Mathematical model of getterring of metal impurities in silicon based on intrinsic atom model. Vysokochistye veshchestva. 1992. No 4. P.47-53.
EXPERIMENTAL AND INDUSTRIAL SILICON EPITAXY
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Mathematical description of process of epitaxial silicon growth. I. Total organization of problem of optimization of epitaxial growth reactors. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1972. No 5. P.58-63.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. Mathematical description of process of epitaxial silicon growth. II. Analytical formula of growth rate function. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1972. No 7. P.44-52.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. Mathematical description of process of epitaxial silicon growth. III. Non-stationary process of growth. Ibidem 1973. No 1. P.44-50.
E.P.Prokop'ev, four co-authors. Mathematical description of silicon epitaxial growth process. IV. Calculation of longitudional diffusion. Ibidem. 1973. No 2. P.27-31.
E.P.Prokop'ev, four co-author. Mathematical description of silicon epitaxial growth process in cylindrical circular canal of variable section. Ibidem. 1973. No 3. P.43-51.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. A simple analytical model of silicon epitaxial growth in tetrachloride process. Ibidem. 1973. No 7. P.64-70.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. About regimes of silicon epitaxial growth from vapour gas phase. Teoreticheskie osnovy khimicheskoi tekhnologii. 1975. V.9. No 8. P.448-452.
E.P.Prokop'ev, seven co-authors. Elementary theory of growth and doping of epitaxial silicon films. In book: Rep. thes. "V Symposium on processes of growth and synthesis of semiconductor crystals and wafers". Novosibirsk. Publ. INC SO AN USSR. P.29.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Calculation of sensibilities of growth rate function G(x) and function of distribution of doping impurities N(x) for chloride and hydride processes in vertical reactor. Elektronnaya teknika. Ser.6. Materialy. 1973.No 8. P.25-31.
E.P.Prokop'ev, five co-authors. Optimization of growth and doping of silicon in hydride epitaxial process. Ibidem. 1974. No 1. P.34-41.
E.P.Prokop'ev, one co-author. About possibility to carry out vacuum silicon epitaxy in space. Ibidem. 1974. No 1. P.53-61.
E.P.Prokop'ev, one co-author. About phenomenological theory of growth processes of semiconductor materials. Elektronnaya tekhnika. Ser.3. Mikroelektronika. 1974. No 2. P.43-47.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. Basis of growth and doping theory of epitaxial silicon films in tetrachloride process. Zhurnal fizicheskoi khimii. 1976. V.50. No 7. P.2941-2946.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. Growth and doping of epitaxial silicon layers in tetrachloride process for case of vertical reactor. Elektronnaya teknika. Ser.6. Materialy. 1977. No 2. P.62-74.
E.P.Prokop'ev. Regimes of growth and doping processes of epitaxial silicon films in tetrachloride process. In book: Rep. thes. "III All-union conf. on physical and chemical bases of doping of semiconductor materials. Moscow. Nauka. 1975. P.1.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. Anomalies of epitaxial silicon growth rate in vertical reactor. Elektronnaya teknika. Ser.6. Materialy. 1974. No 8. P.52-57.
E.P.Prokop'ev. About processes of growth and doping of epitaxial silicon films in tetrachloride process. Zhurnal prikladnoi khimii. 1976. V.49. No 7. P.1924-1932.
E.P.Prokop'ev. Connection between statistical and analytical methods of description of growth and doping processes of epitaxial silicon layers. Elektronnaya teknika. Ser.6. Materialy. 1977. No 8. P.122-125.
E.P.Prokop'ev, four co-authors. To theory of growth and doping of epitaxial semiconductor layers from vapour and gas phase in conditions of microgravitation. Progr. and rep. thes. "Conf. country-participation "Interkosmos" on questions of space technology". Moscow. Publ. IKI AN USSR. 1978. P.6.
E.P.Prokop'ev, six co-authors. Gybride models of processes of growth and doping of epitaxial semiconductor layers. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1976. No 10. P.9-26.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. To question of carring out vacuum epitaxy of elementary semiconductors in space. In book: "Production and behaviour of materials in space". Moscow. Nauka. 1973. P.8-15.
E.P.Prokop'ev, six co-authors. To theory of processes of epitaxial growth and doping of silicon layers in hydride process in conditions of homogenic monosilane decomposition in volume of gas mixture in vertical reactor. Zhurnal prikladnoi khimii. 1979. V.52. No 2. P.512-516.
E.P.Prokop'ev, fife co-authors. Calculation of stability of growth rate function G(x) and doping level function N(x) of epitaxial silicon layers in hydride process. Moscow. 1978. 5 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-2369.
E.P.Prokop'ev, six co-authors. Peculiarities of processes of growth and doping of epitaxial silicon layers in hydride process. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1978. No 2. P.47-55.
E.P.Prokop'ev, fife co-authors. Principal criterial dependences for processes of epitaxial silicon growth from vapour gas phase in condition of microgravitation. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1978. No 6. P.28-34.
E.P.Prokop'ev, seven co-authors. In coll.: Growth problems of semiconductor crystals and films. Moscow. VINITI. V.1, No 158-80; V.2, No. 159-80. 565 p.
E.P.Prokop'ev, four co-authors. The theory of LPCVD method of growth of polycrystaline silicon layers. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1979. No 2. P.34-38.
E.P.Prokop'ev, six co-authors. Possibility of construction of hybride model of growth processes and doping of epitaxial silicon layers in tetrachloride process. In book: Rep. thes. "VIII All-union conf. on microelectronics ". Moscow. MIET Publ. 1978. P.53.
E.P.Prokop'ev, seven co-authors. Growth and doping theory of epitaxial semiconductor layers from vapour gas phase in conditions of microgravitation. Fizika i tekhnika poluprovodnikov. 1979. V.13. No 7. P.2075.
E.P.Prokop'ev, eight co-authors. Report of theory of growth and doping of epitaxial silicon layers from vapour gas phase in flowing systems. Moscow. 1979. 50 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-2621.
E.P.Prokop'ev. Peculiriaties of growth and doping of epitaxial semiconductor layers in flowing systems. In book: Rep. thes. "IV All-union conf. on physical and chemical bases of doping of semiconductor materials". Moscow. Nauka. 1979. P.121.
E.P.Prokop'ev, one co-author. The theory of growth processes of semiconductor and dielectric films in diffusion furnaces at low pressure. I. Diffusion-kinetic regimes. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1980. No. 3. P.53-57.
E.P.Prokop'ev. Theory of growth processes of semiconductor and dielectric films in diffusion furnaces at low pressure. II. Kinetic and diffusion regimes of processes. Ibidem. 1980. No 5. P.78-81.
E.P.Prokop'ev. Theory of epitaxial silicon growth in tetrachloride process including molecular diffusion processes and thermodiffusion in stationary boundary layer. Zhurnal prikladnoi khimii. 1981. V.54. No 7. P.1468-1473.
E.P.Prokop'ev. Calculation of thermodiffusion influence on growth of epitaxial silicon layers in hydride process. Zhurnal prikladnoi khimii. 1981. V.54. No 7. P.1599-1601.
E.P.Prokop'ev, six co-authors. Investigation of growth of epitaxial silicon layers in hydride process. Zhurnal prikladnoi khimii. 1981. V.54. No 9. P.1963-1966.
E.P.Prokop'ev, five co-authors. Investigation of process of growth of epitaxial silicon layers in tetrachloride process. Zhurnal prikladnoi khimii. 1981. V.54. No.9. P.2133-2137.
E.P.Prokop'ev. Effussion and space electron material science and technology. Elektronnaya tekhnika. Ser.3. Mikroelektronika. 1981. No.1. P.3-5.
E.P.Prokop'ev. Investigation of novel type convective flows in space materil science. Elektronnaya tekhnika. Ser.3. Mikroelektronika. 1981. No 1. P.6-8.
E.P.Prokop'ev. Investigation of novel type convective flows in microgravitation conditions and their possible role in space electron material science. Moscow. 1981. 5 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-3291.
E.P.Prokop'ev. To question of epitaxial silicon growth theory. Elektronnaya tekhnika. Ser.3. Mikroelektronika. 1981. No 5. P.8-10.
E.P.Prokop'ev. About calculation of influence of Stephan flow at silicon epitaxy in tetrachloride process. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1981. No 2. P.51-53.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. About gas dynamics of growth of epitaxial silicon layers in system SiH4-SiCl4-H2. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1981. No 3. P.30-33.
E.P.Prokop'ev, one co-author. Mathematical description of epitaxial silicon growth. VI. Calculation of rotation of pyramide. Moscow. 1981. 5 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-3078.
E.P.Prokop'ev. About masstransfer in processes of growth of semiconductor layers. Teoreticheskie osnovy khimicheskoi tekhnologii. 1983. V.17. No 5. P.599-603.
E.P.Prokop'ev, six co-authors. Investigation of mass transfer in condition microgravitation in stationary bound layer for process of epitaxial growth of semiconductor layers. Progr. and rep. thes. "11 Gagarinskie chteniya". Moscow. MAI Publ.1981. P.5.
E.P.Prokop'ev, four co-authors. Investigation of process of growth of epitaxial silicon layers in dichlorsilane process. Zhurnal prikladnoi khimii.. 1983. V.56. No 2. P.410-412.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. About gas dynamics of growth of epitaxial silicon layers in system SiH4-SiCl4-H2. II. Calculation of gas phase decomposition of monosilane. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1981. No 6. P.42-45.
E.P.Prokop'ev. About gas dynamics of growth of epitaxial silicon layers in system SiH4-SiCl4-H2. III. The theory of general case of transition regime of process. Ibidem. 1981. No 7. P.51-52.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. About gas dynamics of growth of epitaxial silicon layers. IV. Optimization of process. Ibidem. 1981. No 8. P.38-40.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Analysis of stability of processes of growth and doping of epitaxial silicon layers in hydride process. Moscow. 1982. P.41. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-3534.
E.P.Prokop'ev, five co-authors. Modern state of technology of production of semiconductor materials and perspectives her development in space conditions. Progr. and rep. thes. on science and technical seminar "Problems of space industry and technology". Kaliningrad, Moscow region, 18-20 April 1977. P.10.
E.P.Prokop'ev, five co-authors. Peculiriaties of growth of epitaxial silicon layers from dichlorsilane process. Coll. work of All-union seminare "Application of epitaxial technology in industry of semiconductor power devices". Ellaste. Publ. AN Est.SSR. 1981. P.6-10.
E.P.Prokop'ev,two co-authors. Analysis of mass transfer in conditions microgravitation in stationary boundary layer for processes of epitaxial growth of semiconductor layers. Elektronnaya tehknika. Ser.6. Materialy. 1982. No. 1. P.29-31.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. About calculation of contribution of natural convection in growth process of epitaxial silicon layers in tetrachloride process. Elektronnaya tekhnika. Ser.3. Mikroelektronika. 1982. No 6. P.86-87.
E.P.Prokop'ev. Role of diffusion processes in space material science and technology. In book: Nauchnye chteniya po aviatsii i kosmonavtike. Moscow. Nauka. 1980. P.290.
E.P.Prokop'ev, five co-authors. Peculiriaties of mathematical modeling of processes of growth and doping of monocrystals and epitaxial semiconductor layers from gas and vapour phase in conditions microgravitation. Progr. and rep. thes. "16 nauchnye chteniya po aviatsii i kosmonavtike". Kaluga. Publ. IET. 1981. P.24.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. To question of mathematical description of industrial vertical reactors for growth of epitaxial silicon layers. Elektronnaya tehknika. Ser.6. Materialy. 1982. No 1. P.41-43.
E.P.Prokop'ev, four co-authors. Investigation of process of industrial silicon epitaxy in vertical cylinder reactor. Ibidem. 1982. No. 2. P.6-10.
E.P.Prokop'ev, four co-authors. The theory of surface processes determining growth rate of epitaxial silicon layers in system SiH4-H2 at low pressures. Moscow. 1982. P.44. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-3534.
E.P.Prokop'ev, four co-authors. Analysis of surface reactions determinig growth rate of epitaxial silicon layers in systems SiH4-SiCl4-H2 and SiH4-SiH2Cl2-H2. Moscow. 1982. P.43. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-3534.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. About gas dynamics of growth of epitaxial silicon layers in system SiH4-SiCl4-H2. V. Surface reactions determining growth rate. Moscow. 1982. 6 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-3640.
E.P.Prokop'ev, one co-author. Investigation of non-stationary growth processes of epitaxial silicon layers. Zhurnal prikladnoi khimii. 1983. V.55. No 5. P.1135-1136.
E.P.Prokop'ev. The chemical hydrodynamics of growth processes of epitaxial silicon layers. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1983. No. 7. P.70-71.
E.P.Prokop'ev, one co-author. Analysis of hydrodynamics of diffusion regime of growth processes of epitaxial silicon layers. Zhurnal prikladnoi khimii. 1985. V.58. No 2. P.455-457.
E.P.Prokop'ev. Investigation of growth process of epitaxial silicon layers in vertical reactors. Teoreticheskie osnovy khimicheskoi tekhnologii. 1986. V.20. No 3. P.698-701.
E.P.Prokop'ev. Peculiriaties of chemical hydrodynamics of growth processes of epitaxial silicon layers. Zhurnal prikladnoi khimii. 1983. V.56. No 7. P.1636-1638.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Application of Boreskov-Slin'ko reactor model for calculation of growth of epitaxial silicon layers in conditions microgravitation at low pressures. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1982. No 8. P.21-24.
E.P.Prokop'ev, one co-author. Application of non-stationary Frank-Kamenetskii diffusion model to investigation of growth processes of epitaxial silicon layers. Ibidem. 1982. No 9. P.33-35.
E.P.Prokop'ev. Investigation in materials science region. Theory, methods of investigations, applications. Moscow. 1984. 52 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-3870.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. Investigation of surface reactions determining growth rate of epitaxial silicon layers in system SiH4-SiH2Cl2-H2. Zhurnal prikladnoi khimii. 1985. V.58. No. 5. P.1057-1061.
E.P.Prokop'ev. Investigation of hydrodynamics of growth processes of epitaxial silicon layers. Moscow. 1985. P.22-25. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-4164.
E.P.Prokop'ev. To question of mass transfer theory in processes of epitaxial silicon growth for the case of hydride process in conditions of disintegration of monosilane. Zhurnal prikladnoi khimii. 1986. V.59. No. 7. P.659.
E.P.Prokop'ev, four co-authors. Application of theory of boundary Landau layer for investigation of chemical hydrodynamics of growth of monocrystals and films in conditions of microgravitation. In book: "3 All-union seminar on problems of hydrodynamics and heat- and mass-transfer in conditions of microgravitation". Moscow. Publ. IPM AN USSR. 1984. P.67.
E.P.Prokop'ev. Investigation of chemical hydrodynamics in epitaxial reactors. Moscow. 1987. 6 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-4321.
E.P.Prokop'ev, one co-author. Mathematical models of growth processes of epitaxial silicon layers in industrial tetrachloride and hydride processes. In book: Rep. thes. 1 All-union conf. "Physical methods of investigations of surface and diagnostics of materials and elements of computer technique on base of silicon". Kishinev. Shtinitsa. 1986. P.61.
E.P.Prokop'ev, five co-authors. Peculiriaties of mathematical modelling of growth and doping processes of epitaxial silicon layers from vapour gas phase in conditions of microgravitation. In book: K.E.Tsiolkovskii and problems of space industry. Moscow. Publ. IIET AN USSR. 1982. P.105-109.
E.P.Prokop'ev, one co-author. Peculiriaties of growth process of epitaxial silicon layers in system SiH4-H2 at low pressures. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1988. No 5. P.40-43.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. About local chacteristics of chemical hydrodynamics of growth processes of epitaxial silicon layers in industrial reactors of vertical type. Ibidem. 1985. No 12. P.73-75.
E.P.Prokop'ev. About possible fractal structure of whilrewind in epitaxial reactors of semiconductor growth. Ibidem. 1991. No. 1. P.60-61.
E.P.Prokop'ev. About possibilities of process of vapour gas levitation in silicon epitaxy. Zhurnal prikladnoi khimii. 1990. V.63. No.6. P.1401-1403.
E.P.Prokop'ev. About hydrodynamics of growth processes of epitaxial silicon layers in vertical reactor. Ibidem. 1992. V.65. No. 5. P.1811-1812.
E.P.Prokop'ev. About processes of masstransfer and kinetics of deposition of silicon films by LICVD method. Moscow. 1992. P.64. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5476.
E.P.Prokop'ev, three co-authors. To question of masstransfer theory in processes of epitaxial semiconductor layer growth. Ibidem. P.65-74.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Peculiriaties of masstransfer in hydride and chloride processes of growth of silicon layers at speed impulse heating of wafers by noncoherent light sources. Moscow. 1992. 14 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5490.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Model of non-stationary diffusion kinetics of silicon layer growth in hydride and tetrachloride processes at speed impulse thermal heating.Vysokochistye veshechestva. 1993. No. 5. P.165-173.
E.P.Prokop'ev. Catalysis of layer growth GexSi(1-x) by german in mixture hydride and dichlorsilane processes. Moscow. 1992. 9 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5482.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Modelling of process of silicon layer growth in hydride and tetrachloride processes at speed impulse heating by light. Vysokochistye veshechestva. 1994. No 1. P.39-47.
E.P.Prokop'ev. About diffusion and recombination of point defects in silicon. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1990. No 4. P.39-47.
E.P.Prokop'ev. About possibilities of growth of monocrystals and thin films of high temperature superconductor materials in conditions of microgravitation. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1991. No.1. P.45-50.
E.P.Prokop'ev. About possibility of receipt of information bit with help of modification of properties of artifical atoms in semiconductor superstructures. Moscow. 1994. P.178-183. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5497.
E.P.Prokop'ev. Possibility of receipt of infomation bit with help of modification of properties of artifical atoms in semiconductor superstructures. Mikroelektronika. 1994. In press.
E.P.Prokop'ev. Mathematical model of laser photochemical deposition of silicon films in hydride process. Moscow. 1992. P.63. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5476.
E.P.Prokop'ev. About applications of kinetical Chen theory to photochemical method of silicon deposition in hydride process. Moscow. 1992. 48 p. Deposited paper. VINITI. No 2462-B92.
E.P.Prokop'ev. Mathematical models of laser chemical method of deposition of silicon layers in hydride process. Moscow. 1992. P.12-19. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5482.
E.P.Prokop'ev. Mathematical model of impulse laser chemical method of deposition of silicon layers in hydride process. Moscow. 1992. P.20-27. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5482.
E.P.Prokop'ev. About calculation of growth rate of laser chemical method of silicon layer deposition in hydride process. Fizika i khimiya obrabotki materialov. 1993. No 3. P.105-108.
E.P.Prokop'ev, four co-authors. Novel investigations of some perspective technological processes of growth and doping of silicon layers. Moscow. 1994. 195 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5497.
E.P.Prokop'ev. To question of modelling and optimization of production of epitaxial silicon layers in tetrachloride process. Ibidem. P.36-57.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Modelling of processes of growth and doping of silicon layers in tetrachloride process at speed impulse heating of wafers by noncoherent radiation. Ibidem. P.58-85.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Analitical model of growth rate and doping level of epitaxial silicon layers in chloride and hydride processes. Ibidem. P.86-113.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. About modelling of processes of silicon layer growth at speed impulse heating of wafers by noncoherent radiation. Ibidem. P.137-145.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Nonstationary diffusion kinetics of rapid thermal CVD process of silicon. P.146-147.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Theory of doping of silicon layers deposited at rapid heating of wafers by noncoherent radiation. Ibidem. P.148-158.
E.P.Prokop'ev. A model of deposition of semiconductor layers in flowing epitaxial reactor. Ibidem. P.159-166.
DIAMOND FILMS
E.P.Prokop'ev. A simple mathematical model of growth of diamond layers in gas mixture CH4+H2 at low pressure using heating filament. Moscow. 1992. P.28-34. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5482.
E.P.Prokop'ev. Modelling of process of diamond layer growth in gas mixture CH4+H2 of low pressure using heating filament method. Fizika i khimiya obrabotki materialov. 1993. No 6. P.48-52.
a-SiH:H FILMS
E.P.Prokop'ev, three co-authors. Some aspects of silane plasma chemistry. Moscow. 1988. 35 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-4676.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. In book: Rep. thes. "3 All-union conf. on physics and technology of thin semiconductor films". Ivanovo-Frankovsk. Publ. IFPI. 1990. P.77.
E.P.Prokop'ev. Ibidem. P.14.
E.P.Prokop'ev. Simulation of silane rf glow discharge plasma. Moscow. 1990. 30 p. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5404.
E.P.Prokop'ev. Elementary theory of growth of a-Si:H films. Moscow. 1990. P.36-41. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5413.
E.P.Prokop'ev. About theory of growth of a-Si:H films. Ibidem. P.33.
E.P.Prokop'ev. About theory of growth of a-Si:H films in conditions of rf glow discharge in gas mixtures SiH4-H2 and SiH4-He. Ibidem. P.53-60.
E.P.Prokop'ev. About theory of growth process amorphous a-Si:H films in conditions of rf glow discharge in silane gas mixtures. Ibidem. P.40-52.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Elementary theory of a-Si:H film deposition in glow-discharge conditions. Moscow. 1990. P.1-33. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5413.
Boundary layer model of a-Si:H film deposition process in rf glow-discharge conditions. Ibidem. P.42-51.
E.P.Prokop'ev. Application of nuclear Fliorov filters in the technology of a-Si:H film production. Ibidem. P.30-31.
E.P.Prokop'ev. The a-Si:H film deposition in rf glow-discharge process in SiH4-H2 mixture. Elektronnaya tekhnika. Ser.3. Mikroelektronika. 1990. No. 3. P.9-11.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Study of a-Si:H film deposition rf glow-discharge in SiH4-H2 mixture. Elektronnaya tekhnika. Ser.3. Mikroelektronika. 1990. No 4. P.14-17.
E.P.Prokop'ev. Mathematical model of a-Si:H film deposition in rf glow-discharge in silane mixtures. Elektronnaya tekhnika. Ser.3. Mikroelektronika. 1990. No 5. P.68-72.
E.P.Prokop'ev. Simulation and optimization of a-Si:H film deposition in silane gas mixtures at low pressure. Moscow. 1991. P.2-29. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5436.
E.P.Prokop'ev. Elementary analytical model of a-Si:H film deposition in rf glow-discharge conditions in SiH4-H2 gas mixtures. Ibidem P.48-57.
E.P.Prokop'ev. Boundary layer model of a-Si:H film deposition in rf glow-discharge conditions in SiH4-H2 gas mixtures. Vysokochistye veshechestva. 1991. No 2. P.180-184.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Optimization of a-Si:H film deposition in silane rf glow-discharge. Elektronnaya tekhnika. Ser.6. Materialy. 1991. No 2. P.71-73.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. The a-Si:H film deposition in silane glow discharge at low pressure. Elektronnaya tekhnika. Ser.3. Mikroelektronika. 1991. No 2. P.51-54.
E.P.Prokop'ev. Model of a-Si:H film deposition in rf glow-discharge conditions in SiH4-H2 and SiH4-He gas mixture. Izvestiya vuzov. Ser. khimiya i khimicheskaya tekhnologiya. 1991. V.34. No.10. P.109-115.
E.P.Prokop'ev. Elementary theory of a-Si:H film deposition in rf glow-discharge. Khimiya vysokikh energii. 1992. V.26. No 2. P.169-172.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Analysis of the mathematical model of a-Si:H film deposition rate in silane plasma miztures at low pressure. Moscow. 1992. P.2-39. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5476.
E.P.Prokop'ev. Elementary analytical model of a-Si:H film deposition in rf glow-discharge conditions in SiH4-H2 gas mixture. Vysokochistye veshechestva. 1992. No 3. P.67-71.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Hybrid model of a-Si:H film deposition in rf glow-discharge in SiH4-H2 gas mixture. Fizika i khimiya obrabotki materialov. 1993. No 2. P.85-90.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Analysis of regimes of growth process of amorphous a-Si:H films in silane plasma mixtures at low pressure. Moscow. 1994. P.85-95. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5500.
E.P.Prokop'ev, two co-authors. Analysis of amorphous silicon deposition conditions in plasma silane mixtures at low pressure. Nuovo Cimento. D. 1997. Vol.19. №6. P.817-826.
E.P.Prokop'ev. A model of deposition of semiconductor layers in flowing epitaxial reactor. Zhurnal tekhnicheskoi fiziki. 1995. Т.68. Вып.2. С.22-29.
E.P.Prokop'ev. Mathematical model of impulse laser chemical method of deposition of silicon layers in hydride process. Fizika i khimiya obrabotki materialov. 1994. №4-5. С.121-125.
E.P.Prokop'ev. Analysis of regimes of growth process of diamond layers in gas mixture CH4+H2 at low pressure using a heating filament. Moscow. 1992. P.73-84. Deposited paper. TSNII "Elektronika". P-5476.
E.P.Prokop'ev. Analysis of diffusion-controlled reaction I + V |
