Правительство Российской Федерации Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики" Московский институт электроники и математики Национального
исследовательского университета "Высшая школа экономики" Факультет электроники и телекоммуникаций
Программа дисциплины
Вакуумная и плазменная электроника
для направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроники»
подготовки бакалавра
Автор программы:
Симонов Валентин Павлович, д.т.н., с.н.с., vsimonov@hse.ru Одобрена на заседании кафедры «___» _______________ 2013 г.
Электроники и наноэлектроники
Заведующий кафедрой _______________ К.О. Петросянц Рекомендована профессиональной коллегией
УМС по электронике «____»____________ 20 г.
Председатель С.У. Увайсов_______________________ Утверждена Учёным советом МИЭМ «____»_____________20 г.
Ученый секретарь В.П. Симонов __________________
Москва, 2013
Настоящая программа не может быть использована другими подразделениями университета и другими вузами без разрешения кафедры-разработчика программы.
Область применения и нормативные ссылки
Настоящая программа учебной дисциплины устанавливает минимальные требования к знаниям и умениям студента и определяет содержание и виды учебных занятий и отчетности.
Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра, изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника»
Программа разработана в соответствии с:
Федеральным государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования для направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра, утвержденным приказом Минобрнауки России от 21 декабря 2009 г. № 743;
Образовательной программой 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра;
Рабочим учебным планом университета по направлению 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра, утвержденным в 2013 г.
Цели освоения дисциплины
Целями освоения дисциплины «Вакуумная и плазменная электроника» являются:
получение систематизированного представления о современных научных подходах к изучению физических основ вакуумной и плазменной электроники;
формулировка и решение уравнений, описывающих процессы распространения электронных и ионных пучков разной интенсивности в вакууме;
изучение эмиссионных процессов;
изучение возможностей формирования, транспортировки и управления пучками заряженных частиц с помощью электромагнитных полей, создаваемых различными типами электронных линз;
ознакомление с примерами использования рассматриваемых физических процессов в элементах и узлах электровакуумных приборов.
В результате изучения дисциплины студенты должны знать физические основы эмиссионных процессов; разбираться в особенностях формирования, транспортировки, управления и преобразования электронных и ионных потоков различной интенсивности (применительно к приборам вакуумной электроники); получить практические знания и навыки по расчетам, конструированию и компьютерному моделированию элементов и узлов электронно-оптических систем вакуумных приборов.
Компетенции обучающегося, формируемые в результате освоение дисциплины В результате освоения дисциплины «Вакуумная и плазменная электроника» студент должен:
иметь преставления об основных технологических методах, применяемых при изготовлении материалов и изделий вакуумной электроники ;
знать физические закономерности, лежащие в основе этих методов;
уметь ориентироваться в многообразии современных технологических методов;
владеть представлениями о перспективах и тенденциях развития технологии изделий вакуумной электроники.
В результате освоения дисциплины «Вакуумная и плазменная электроника» студент осваивает следующие компетенции: Компетенция
| Код по НИУ
| Дескрипторы – основные признаки освоения (показатели достижения результата)
| Формы и методы обучения, способствующие формированию и развитию компетенции
| Способен учитывать современные тенденции развития электроники, измерительной и вычислительной техники, информационных технологий в своей профессиональной деятельности
(формируется частично)
| ПК-3
| Подготовка к практическим и лабораторным занятиям, обсуждение заданий лабораторного практикума, решение задач, в том числе – в рамках зачета
| Посещение лекций, подготовка к практическим и лабораторным занятиям и работа на них, написание зачетной работы
| Способен выполнять работы по технологической подготовке производства материалов и изделий электронной техники (формируется частично)
| ПК -14
| Ориентируется в основных работах по технологической подготовке производства материалов и изделий электронной техники в
| Посещение лекций, подготовка к практическим и лабораторным занятиям и работа на них, написание зачетной работы
| Способен строить простейшие физические и математические модели приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения, а также использовать стандартные программные средства их компьютерного моделирования (формируется частично)
| ПК -19
| Демонстрирует полученные знания при защите результатов расчетной лабораторной работы и в ответах на задаваемые вопросы
| Посещение лекций, подготовка и выполнение расчетной лабораторной работы, защита выполненной работы
| Способен анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций (формируется частично)
|
ПК -21
| Самостоятельное оформление результатов расчетов в виде отчетов о выполнении лабораторных работ
| Подготовка отчетов о выполнении лабораторных работ
| Место дисциплины в структуре образовательной программы
Для направления 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» подготовки бакалавра дисциплина «Вакуумная и плазменная электроника» является вариативной дисциплиной. Изучение дисциплины «Вакуумная и плазменная электроника» базируется на следующих дисциплинах:
Физика (электричество, магнетизм, оптика);
Физическая оптика (световая оптика и линзы);
Физика твердого тела;
Математический анализ (дифференциальное и интегральное исчисление, дифференциальные уравнения).
Основные положения дисциплины «Вакуумная и плазменная электроника» используются в дальнейшем при изучении следующих дисциплин:
Материалы электронной техники;
Физические основы электроники;
Основы технологии электронной компонентной базы
Тематический план учебной дисциплины
№
| Название темы
| Всего часов по дисциплине
| Аудиторные часы
| Самостоя-тельная работа
| Лекции
| Лабор.
работы
| Практич. занятия
| 1
| Введение в предмет «Вакуумная и плазменная электроника»
| 2
| 2
| -
| -
| -
| 2
| Основы электронной оптики
| 24
| 10
| 10
| 4
| 4
| 3
| Устройства для фокусировки, модуляции и отклонения электронного пучка.
| 22
| 18
| -
| 4
| 4
| 4
| Люминофоры и катодолюминесцентные экраны.
| 8
| 6
| -
| 2
| 2
| 5
| Фотоэлектронная эмиссия. Фотокатоды для электронных приборов
| 20
| 8
| 8
| 4
| 4
| 6
| Вторичная электронная эмиссия.
Эффективные эмиттеры вторичных электронов
| 12
| 8
| -
| 4
| 4
| 7
| Ионизованный газ и плазма.
Типы газовых разрядов.
| 2
| 2
| -
| -
|
|
| Итого:
| 90
| 54
| 18
| 18
| 18
| Формы контроля знаний студентов
Тип контроля
| Форма контроля
| Семестр
| Параметры
| Текущий
| контроль активности на практических занятиях
| 3
| ответы на вопросы, решение задач, участие в дискуссиях
| Промежуточный
| защита лабораторных работ
| 3
| Отчеты о выполнении лабораторных работ (до 10 стр. каждая, шрифт Times New Roman, 1,5 интервала)
| Итоговый
| экзамен
| 3
| письменная работа на 80 минут
| Порядок формирования оценок по дисциплине
текущий контроль предусматривает учет активности студентов в ходе проведения практических занятий, выступления, участие в дискуссиях и т.п.;
промежуточный контроль предусматривает защиту расчетной лабораторной работы;
итоговый контроль проводится в форме письменного зачета с использованием как открытых, так и закрытых вопросов (80 минут).
Итоговая оценка формируется как взвешенная сумма оценки, накопленной в течение курса, и оценки за письменную зачетную работу.
Критерии оценки знаний, навыков
Активность на практических занятиях оценивается по следующим критериям:
Ответы на вопросы, предлагаемые преподавателем;
Решение задач у доски;
Участие в дискуссии по предложенной проблематике.
Защита лабораторных работ оценивается по следующим критериям:
степень решения поставленных целей и задач;
аргументация, четкость и понятность выводов;
аккуратность в оформлении работы, стиль изложения.
Письменный экзамен выполняется в конце курса в присутствии преподавателя. Перед началом работы даются вопросы, которые составляются с учетом материала, пройденного в 3-м семестре как на лекционных, так и на практических занятиях. Ответ излагается письменно в форме ответа на предложенные вопросы. Использование каких-либо текстов, калькуляторов, телефонов и др. средств связи запрещается. Время написания работы – 80 мин. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины
Базовые учебники
Жигарев А.А., Шамаева Г.Г. (1982). Электронно-лучевые и фотоэлектронные приборы. М.:Высшая школа.
Основная литература
Кацнельсон Б.В., Калугин А.М., Ларионов А.С. (1985). Электровакуумные электронные и ионные приборы. Справочник. М.: Энергия.
Миллер В.А., Куракин Л.А. (1972). Приемные электронно-лучевые трубки. М.: Энергия.
Шерстнев Л.Г. (1971). Электронная оптика и электронно-лучевые приборы. М.: Энергия.
Берковский А.Г., Гаванин В.А., Зайдель И.Н. (1988). Вакуумные фотоэлектронные приборы. М.: Радио и связь.
Барановский В.И. (1970). Технология производства приемных электроннолучевых трубок. М.:Энергия.
Силадьи М. (1990). Электронная и ионная оптика. М.: Мир.
Хокс П., Каспер Э. (1993). Основы электронной оптики в 2-х т. М.: Мир.
Соболева М.А., Меламид А.Е. (1974). Фотоэлектронные приборы. М.: Энергия.
Бутслов М.М., Степанов Б.М., Фанченко С.Д. (1978). Электронно-оптические преобразователи и их применение в научных исследованиях. М.: Наука.
Гугель Б.М. (1967). Люминофоры для электровакуумной промышленности. М.: Энергия.
Симонов В.П. (2012). Электронно-оптические преобразователи как детекторы пространственно-распределенных потоков излучения различного спектрального диапазона: Учебное пособие. М.: МИЭМ.
Симонов В.П. (2011). Определение кардинальных элементов электронных линз: Метод. указания к лабораторной работе. М.: МИЭМ.
Симонов В.П. (2011). Определение энергетических параметров ЭОП. Метод. указания к лабораторной работе. М.: МИЭМ.
Симонов В.П. (2011). Определение основных характеристик электронно-оптических трактов электронно-оптических камер, сопряженных с ПТТ. Метод. указания к курсовой работе. М.: МИЭМ.
Симонов В.П. (2011). Высокоскоростные электронно-оптические камеры, комплектующие электронно-оптические преобразователи и передающие телевизионные трубки типа видикон и суперкремникон. Метод.указания к проведению самостоятельной и подготовке к выполнению курсовой работы. М.: МИЭМ.
Содержание программы
Тема 1. Введение в предмет «Вакуумная и плазменная электроника» (2 часа)
Тема читается проф. Симоновым В.П. (кафедра электроники и наноэлектроники)
Тема 2. Основы электронной оптики (24 часов).
Тема читается проф. Симоновым В.П. (кафедра электроники и наноэлектроники) Аналогия между законами распространения света и законами движения материальных частиц в консервативном поле сил. Основные законы как следствие фундаментальных принципов.
Теория потенциала аксиально-симметричных электростатических полей. Уравнение параксиальных траекторий в аксиально-симметричных электростатических полях, свободных от источников. Четыре следствия из уравнения траекторий.
Электростатические электронные линзы и их кардинальные элементы.
Методы определения распределения потенциала в электрических полях.
Методы определения траекторий заряженных частиц в электрических полях.
Равномерное магнитное поле как линза. Уравнение параксиальных траекторий в аксиально-симметричном магнитном поле.
Короткая магнитная линза и ее фокусное расстояние.
Толстые (длинные) электронные линзы. Слабые и сильные линзы. Формула Ньютона.
Теорема Лагранжа-Гельмгольца для электростатических и магнитных линз.
Аберрации электронных линз.
Цилиндрические электростатические и магнитные линзы.
Электронные зеркала. Основная литература:
Жигарев А.А., Шамаева Г.Г. (1982). Электронно-лучевые и фотоэлектронные приборы: Учебник для вузов. М.: Высшая школа. Гл.1.
Симонов В.П. (2011). Определение кардинальных элементов электронных линз: Метод. указания к лабораторной работе. М.: МИЭМ.
Дополнительная литература:
Миллер В.А., Куракин Л.А. (1971). Приемные электроннолучевые трубки. М.: Энергия. Гл. 1.
Шерстнев Л.Г. (1971). Электронная оптика и электронно-лучевые приборы. М.: Энергия.
Хокс П., Каспер Э. (1993). Основы электронной оптики в 2-х т. М.: Мир.
Тема 3. Устройства для фокусировки, модуляции и отклонения электронного пучка (24 часа).
Тема читается проф. Симоновым В.П. (кафедра электроники и наноэлектроники) Сущность проблемы создания узкого, остросфокусированного электронного пучка. Схемы построения лучеобразующей системы.
Электрическое поле иммерсионного объектива и траектории электронов. Характеристики кроссовера: размер сечения, плотность тока и ее распределение по сечению. Распределение плотности тока на катоде.
Общая схема формирования электронного пучка в ЭЛП.
Схемы электронных прожекторов с электростатической главной фокусирующий линзой.
Схемы электронных прожекторов с магнитной главной фокусирующей линзой.
Важнейшие характеристики электронных прожекторов: модуляционные характеристики токов катода и луча; запирающее напряжение; плотность тока электронного пятна и ее распределение по радиусу пятна; апертурные углы электронного пучка.
Фокусирующие катушки.
Электростатическое отклонение электронного пучка. Дефокусировка электронного пучка при электростатическом отклонении. Искажения формы растра при электростатическом отклонении.
Магнитное отклонение электронного пучка. Отклоняющие катушки с внешним и внутренним магнитопроводом. Дефокусировка электронного пучка при магнитном отклонении. Искажения формы растра при магнитном отклонении. Сравнение электростатических и магнитных отклоняющих систем.
Основная литература:
Жигарев А.А., Шамаева Г.Г. (1982). Электронно-лучевые и фотоэлектронные приборы: Учебник для вузов. М.: Высшая школа. Гл.1.
Симонов В.П. (2011). Определение кардинальных элементов электронных линз: Метод. указания к лабораторной работе. М.: МИЭМ. С. 1-14.
Дополнительная литература:
Миллер В.А., Куракин Л.А. (1971). Приемные электроннолучевые трубки. М.: Энергия. Гл. 1.
Кацнельсон Б.В., Калугин А.М., Ларионов А.С. (1985). Электровакуумные электронные и ионные приборы. Справочник. М.: Энергия.
Шерстнев Л.Г. (1971). Электронная оптика и электронно-лучевые приборы. М.: Энергия.
Барановский В.И. (1970). Технология производства приемных электроннолучевых трубок. М.:Энергия. Гл. 2-5.
Тема 4. Люминофоры и катодолюминесцентные экраны (6 часов)
Тема читается проф. Симоновым В.П. (кафедра электроники и наноэлектроники) Важнейшие потребительские и технологические требования к катодолюминофорам.
Технические катодолюминофоры.
Методы нанесения светосоставов.
Параметры люминофоров: спектральный состав излучения и цвет свечения; яркость; лучистость; световая отдача; время высвечивания. Зависимость параметров от условий возбуждения.
Разгорание и затухание свечения. Кинетика разгорания и затухания. Время послесвечения и различные применения люминофоров.
Динатронные свойства экранов. Основная литература:
Жигарев А.А., Шамаева Г.Г. (1982). Электронно-лучевые и фотоэлектронные приборы: Учебник для вузов. М.: Высшая школа. Гл.8
Дополнительная литература:
Симонов В.П. (2012). Электронно-оптические преобразователи как детекторы пространственно-распределенных потоков излучения различного спектрального диапазона: Учебное пособие. М.: МИЭМ.
Миллер В.А., Куракин Л.А. (1971). Приемные электроннолучевые трубки. М.: Энергия. Гл. 3.
Гугель Б.М. (1967). Люминофоры для электровакуумной промышленности. М.: Энергия.
Барановский В.И. (1970). Технология производства приемных электроннолучевых трубок. М.:Энергия. Гл. 2-5.
Тема 5. Фотоэлектронная эмиссия. Фотокатоды для электронных приборов
(14 часов)
Тема читается проф. Симоновым В.П. (кафедра электроники и наноэлектроники) Физические основы процесса фотоэффекта.
Фотоэлектронная эмиссия из металлов.
Фотоэлектронная эмиссия из полупроводников.
Параметры фотокатодов: абсолютная и относительная спектральные чувствительности, интегральная чувствительность, связь между интегральной и спектральной чувствительностями; квантовый выход.
Основные типы фотокатодов: серебряно-кислородно-цезиевые фотокатоды; сурьмяно-цезиевые фотокатоды; многощелочные фотокатоды; фотокатоды для ультрафиолетовой области спектра: солнечно-слепые фотокатоды, фотокатоды для глубокой ультрафиолетовой области; фотокатоды на основе соединений А3В5 с отри цательным электронным сродством; фотокатоды с барьером Шоттки. Основная литература:
Жигарев А.А., Шамаева Г.Г. (1982). Электронно-лучевые и фотоэлектронные приборы: Учебник для вузов. М.: Высшая школа. Гл.3,8
Соболева М.А., Меламид А.Е. (1974). Фотоэлектронные приборы. М.: Энергия.
Симонов В.П. (2011). Определение энергетических параметров ЭОП. Метод. указания к лабораторной работе. М.: МИЭМ.
Дополнительная литература:
Берковский А.Г., Гаванин В.А., Зайдель И.Н. (1988). Вакуумные фотоэлектронный приборы. М.: Радио и связь. Гл.2
Бутслов М.М., Степанов Б.М., Фанченко С.Д. (1978). Электронно-оптические преобразователи и их применение в научных исследованиях. М.: Наука.
Симонов В.П. (2012). Электронно-оптические преобразователи как детекторы пространственно-распределенных потоков излучения различного спектрального диапазона: Учебное пособие. М.: МИЭМ. Гл.1.
Симонов В.П. (2011). Определение основных характеристик электронно-оптических трактов электронно-оптических камер, сопряженных с ПТТ. Метод. указания к курсовой работе. М.: МИЭМ.
Симонов В.П. (2011). Высокоскоростные электронно-оптические камеры, комплектующие электронно-оптические преобразователи и передающие телевизионные трубки типа видикон и суперкремникон. Метод.указания к проведению самостоятельной и подготовке к выполнению курсовой работы. М.: МИЭМ.
Тема 6. Вторичная электронная эмиссия. Эффективные эмиттеры вторичных электронов (14 часов) Тема читается проф. Симоновым В.П. (кафедра электроники и наноэлектроники) Физическая модель процесса вторичной электронной эмиссии.
Особенности вторичной электронной эмиссии из металлов.
Особенности вторичной электронной эмиссии из полупроводников и диэлектриков.
Эффективные эмиттеры вторичных электронов на основе соединений: сурьмы с цезием; висмута с цезием; сурьмы со щелочными металлами.
Сплавные эффективные эмиттеры вторичных электронов.
Эффективные эмиттеры на основе вторичной электронной эмиссии, усиленной полем.
Эффективные эмиттеры вторичных электронов на основе полупроводников с отрицательным электронным сродством (на основе GaP, GaAs и Si)
Основная литература:
Жигарев А.А., Шамаева Г.Г. (1982). Электронно-лучевые и фотоэлектронные приборы: Учебник для вузов. М.: Высшая школа. Гл.3,8
Соболева М.А., Меламид А.Е. (1974). Фотоэлектронные приборы. М.: Энергия.
Дополнительная литература: 1. Берковский А.Г., Гаванин В.А., Зайдель И.Н. (1988). Вакуумные фотоэлектронные приборы.
М.: Радио и связь.
Тема 7. Ионизованный газ и плазма. Типы газовых разрядов. (14 часов) Тема читается проф. Симоновым В.П. (кафедра электроники и наноэлектроники) Ионизованный газ и плазма, элементарные процессы в плазме и на пограничных поверхностях, основные методы генерации плазмы, модели для описания свойств плазмы.
Основы физики газового разряда.
Явления переноса, колебания, неустойчивости, эмиссионные свойства и излучение плазмы. Плазма в магнитном поле.
Применение плазмы в электронике. Основная литература:
Жигарев А.А., Шамаева Г.Г. (1982). Электронно-лучевые и фотоэлектронные приборы: Учебник для вузов. М.: Высшая школа. Гл.3,8
Дополнительная литература:
Кацнельсон Б.В., Калугин А.М., Ларионов А.С. (1985). Электровакуумные электронные и ионные приборы. Справочник. М.: Энергия.
Оценочные средства для контроля и аттестации студента: лабораторный практикум
Лабораторный практикум включает 2 лабораторные работы:
«Определение кардинальных элементов электронных линз»;
2) «Определение энергетических параметров ЭОП».
Целью лабораторной работы «Определение кардинальных элементов электронных линз» является изучение осесимметричных линз электростатического типа, применяемых в электронно-оптических системах электронно-лучевых приборов. На примере электронно-оптической системы, состоящей из двух коаксиальных цилиндров одинакового диаметра (иммерсионная линза) и задаваемых начальных и граничных условий с использованием «Метода ломаной линии» определяются кардинальные элементы линзы. На защиту выносится Отчёт о выполнении лабораторной работы, оформленный на компьютере, который должен содержать:
Титульный лист.
Схему изучаемой электростатической осесимметричной линзы.
Исходные данные для расчёта, выдаваемые преподавателем.
Результаты решения поставленной задачи по подпунктам 1 – 6, включая:
таблицы и графики распределения потенциала и его производных вдоль оси;
график траектории электрона в линзе с обозначением всех её кардинальных элементов.
Выводы по проделанной лабораторной работе.
Контрольные вопросы
Что называют кардинальными элементами электронных линз?
Какие линзы называют тонкими, а какие толстыми?
Какое выражение называют основным уравнением электронной оптики?
Чем определяется точность расчета траекторий методом ломаной линии?
Какие из перечисленных электронных линз: линза-диаграмма с круглым отверстием, иммерсионная линза, одиночная линза и иммерсионный объектив – являются собирающими?
В каких электронных пушках с электростатической фокусировкой электронного пучка применяются перечисленные в п. 5) электронные линзы?
Целью лабораторной работы «Определение энергетических параметров ЭОП». является изучение энергетических и оптических параметров электронно-оптических преобразователей (ЭОП), методы их определения и измерений. На примере двухкамерного электронно-оптического преобразователя типа УМ-91, использующего усилительный каскад на принципе оптического контакта люминофор-фотокатод определяются основные параметры входного фотокатода, коэффициент усиления по току промежуточного каскада, спектральный коэффициент преобразования ЭОП.
На защиту выносится Отчёт о выполнении лабораторной работы, оформленный на компьютере, который должен содержать:
1) Титульный лист.
2) Схему изучаемого ЭОП типа УМ-91Ш.
3) Исходные данные для расчетов, выдаваемые преподавателем.
4) Результаты выполнения заданий I-III раздела 3, включая:
спектральные характеристики фотокатодов и катодолюминесцентных экранов ЭОП;
основные уравнения, объясняющие физический смысл рассчитанных параметров;
анализ полученных результатов с точки зрения оптимальности сочетания пары люминофор - фотокатод промежуточного каскада усиления.
Выводы по проделанной работе.
Контрольные вопросы
Что называется красной границей фотоэффекта?
Каковы границы видимого диапазона излучения?
Какая связь между энергией квантов в электрон - вольтах и длиной волны излучения в нанометрах?
Что понимают под источником типа А?
Какие параметры и характеристики ЭОП называют энергетическими?
Какие параметры и характеристики ЭОП называют оптическими?
Какие требования предъявляются к парам люминофор - фотокатод, используемых в каскадах усиления многокамерных ЭОП?
Оценочные средства контроля и аттестации студента: вопросы для оценки качества освоения дисциплины 1. Понятия: грубый вакуум, средний вакуум, высокий вакуум и сверхвысокий вакуум.
Вакуумные насосы: вращательные вакуумные насосы, эжекторные и диффузионные насосы, гетеро-ионные насосы, насосы с газопоглощением охлажденными поверхностями (криогенные насосы)
Установки для получения высокого вакуума
Приборы для измерения вакуума – вакуумметры: термомолекулярные, компрессионные, Термоэлектрические, ионизационные
Приборы для нахождения течей в вакуумных системах – течеискатели
Сопоставление геометрической электронной оптики со световой оптикой
Распределение потенциала в аксиально-симметричных электрических полях (уравнение Лапласа)
Уравнение параксиальных электронов в аксиально-симметричных электрических полях – основное уравнение электронной оптики. Следствия из основного уравнения электронной оптики
Типичные электрические и магнитные линзы: электрические электронные линзы (линза-диафрагма с круглым отверстием, иммерсионные и одиночные линзы, иммерсионный объектив); магнитные электронные линзы.
Классификация электронно-лучевых и фотоэлектронных приборов по видам преобразуемой информации
Устройства для формирования сфокусированного электронного луча в электронно-лучевом приборе – электронные пушки (с электростатической и магнитной фокусировкой)
Устройства для отклонения электронного луча – отклоняющие системы (электростатического и магнитного типов)
Катодолюминесцентные экраны: потребительские и технологические требования к катодолюминесцентным экранам, основные типы светосоставов
Фотоэлектронные катоды
Волоконно-оптические диски, фоконы
Микроканальные пластины
Наиболее распространенные технологические процессы, применяемые при изготовлении электронно-лучевых и фотоэлектронных приборов
Свойства материалов, применяемые при изготовлении электронно-лучевых и фотоэлектронных приборов
Технология обработки металлических деталей
Наиболее распространенные методы изготовления стеклянных деталей
Вакуумноплотные спаи стекла со стеклом и стекла с металлом
Технология изготовления католюминесцентных экранов
Технология изготовления фотоэлектронных катодов
Автор программы – профессор кафедры «Электроника и наноэлектроника», д.т.н., с.н.с. __________________ / Симонов В.П. /
|