Программа дисциплины " Вакуумная и криогенная техника"  для специальности 210602. 65 «Наноматериалы» подготовки инженера

Процесс изучения дисциплины направлен на формирование следующих навыков:

● способность собирать, обрабатывать, анализировать и систематизировать научно-техническую информацию по вакуумной технике, использовать достижения отечественной и зарубежной науки, техники и технологии в области вакуумных технологий;

● способностью владеть современными методами расчета оборудования электронного машиностроения, в т.ч. с использованием средств автоматизации проектирования;

● способностью владеть методиками выбора оборудования и оснастки для проведения технологических процессов изготовления изделий электроники и наноэлектроники;

● способность разрабатывать схемы вакуумных систем оборудования для производства изделий электронной техники на основе современных технологий и с применением навыков компьютерной обработки информации.

Знать: физические основы молекулярно-кинетической теории газов, физические основы взаимодействия газов и паров с поверхностью твердого тела, основы диффузии и газопроницаемости газов в твердых телах, явления адсорбции, хемосорбции и конденсации, физические принципы действия вакуумных насосов, средств измерения вакуума, конструкции элементов и устройств вакуумной техники, представлять современный уровень вакуумной техники.

Уметь: рассчитывать основные характеристики вакуумных насосов, проводить оценку величины газовой нагрузки различных технологических процессов в вакууме, уметь строить схемы вакуумных систем различного назначения.

Владеть: методикой вакуумных расчетов, в т.ч. с использованием программных средств, основами эксплуатации вакуумных постов и агрегатов, соблюдением норм безопасной жизнедеятельности при работе с вакуумным оборудованием.

1. 
   Розанов Л.Н. Вакуумная техника. Москва, Высшая школа, издания 1982, 1991, 2007 гг.
   
2. 
   Кикоин А.А., Кикоин И.К. Молекулярная физика. Москва, Наука, 1976 г.
   
3. 
   Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. Москва, Мир, 1964
   
4. 
   Грошковский Я. Техника высокого вакуума. Москва, Мир, 1975 г.
   

1. 
   Пипко А.И. и другие. Конструирование и расчет вакуумных систем. Москва, Энергия, 1979 г.
   
2. 
   Минайчев В.Е. Вакуумные крионасосы. Москва, Энергия, 1976 г.
   
3. 
   Васильев Г.А. Магниторазрядные насосы. Москва, Энергия, 1970 г.
   
4. 
   Волчкевич А.И. Высоковакуумные адсорбционные насосы. Москва, Машиностроение, 1973 г.
   
5. 
   Рот А. Вакуумные уплотнения. Москва, Энергия, 1971 г.
   
6. 
   Справочник "Вакуумная техника". Москва, Машиностроение, 1992 г.
   

1. 
   Комплект плакатов по курсу "Вакуумная техника".
   
2. 
   Макеты вакуумных насосов, коммутационной арматуры, датчиков для измерения вакуума.
   
3. 
   Комплект методических указаний к лабораторным работам.
   
4. 
   Комплект индивидуальных расчетных заданий (30 вариантов) для усвоения лекционного курса.
   

Программа дисциплины составлена в соответствии с Государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по специальности 210602.65 «Наноматериалы».