Согласовано

1. 
   Цели и задачи дисциплины:
   

2. 
   Место дисциплины в структуре ООП:
   

3. 
   Требования к результатам освоения дисциплины:
   

Процесс изучения дисциплины направлен на формирование следующих компетенций:


ПК-3	готовность учитывать современные тенденции развития электроники, измерительной и вычислительной техники, информационных технологий в своей профессиональной деятельности
ПК-5	способность владеть основными приемами обработки и представления экспериментальных данных
ПК-6	способность собирать, обрабатывать, анализировать и систематизировать научно-техническую информацию по тематике исследования, использовать достижения отечественной и зарубежной науки, техники и технологии
ПК-8	способность проводить предварительное технико-экономическое обоснование проектов
ПК-9	способность осуществлять сбор и анализ исходных данных для расчета и проектирования электронных приборов, схем и устройств различного функционального назначения
ПК-12	готовность осуществлять контроль соответствия разрабатываемых проектов и технической документации стандартам, техническим условиям и другим нормативным документам
ПК-16	готовность организовывать метрологического обеспечение производства материалов и изделий электронной техники
ПК-18	способность собирать, анализировать и систематизировать отечественную и зарубежную научно-техническую информацию по тематике исследования в области электроники и наноэлектроники
ПК-21	готовность анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций
ПК-22	способность внедрять результаты исследований и разработок и организовывать защиту прав на объекты интеллектуальной собственности
ПК-23	способность организовывать работу малых групп исполнителей
ПК-25	способность выполнять задания в области сертификации технических средств, систем, процессов, оборудования и материалов
ПК-27	способность налаживать, испытывать, проверять работоспособность измерительного, диагностического, технологического оборудования, используемого для решения различных научно-технических, технологических и производственных задач в области электроники и наноэлектроники
ПК-28	готовность к участию в монтаже, испытаниях и сдаче в эксплуатацию опытных образцов материалов и изделий электронной техники
ПК-30	готовность осуществлять регламентную проверку технического состояния оборудования, его профилактический осмотр и текущий ремонт
ПК-31	способность составлять заявки на запасные детали и расходные материалы, а также на поверку и калибровку аппаратуры
ПК-33	способность осваивать новые области исследований, изучать и учитывать новые проблемы в сфере физики, проектирования, технологии изготовления и применения электронных приборов и устройств, устанавливать связь прикладных научно-исследовательских задач с фундаментальными законами физики
ПК-34	способность применять методы математического моделирования для разработки моделей исследуемых процессов, материалов, элементов, приборов и устройств электронной техники

Уметь

Иметь навыки

4. 
   Объем дисциплины и виды учебной работы
   

5. 
   Содержание дисциплины
   
   1. 
      Содержание разделов дисциплины
      

      № п/п	Наименование раздела дисциплины	Содержание раздела
      1.	Современные методы исследования химического состава поверхности. ВИМС.	Введение задачи курса. Основные методы изучения химического состава поверхности твёрдых тел (РФЭС, Оже-спектроскопия, ВИМС, РМИ…) и их физические основы. Причины выбора тех или иных методов анализа поверхности твёрдого тела (разрешение по поверхности, в глубину, чувствительность, тип получаемой информации). Вторично ионная масспектрометрия (ВИМС) – основные физические принципы и типы анализаторов (магнитный, времяпролетный, квадрупольный). Преимущества и недостатки различных типов ВИМС.
      2.	Конструкция времяпролётных вторичноионных масспектрометров.	Принципиальная схема устройства TOF SIMS 5. Устройство вакуумной системы. Особенности строения колонны жидкометаллической пушки. Устройство и принцип работы BiMn источника. Времяпролетный анализатор: реализация в приборе TOF.SIMS.5. Конструкция колонны с двумя источниками и возможности её видоизменения. Система позиционирования и её связь с системой нагрева и охлаждения. Характеристики периферийных и вспомогательных устройств, возможные альтернативные комплектации системы.
      3.	Программное обеспечение. Реализуемые режимы работы. Обработка сигнала.	Загрузка и крепление образцов. Включение, настройка и тестирование прибора. Получение оптического изображения. Настройка высоты экстракции. Настройка компенсации заряда. Получение изображения во вторичных ионах. Получение изображения во вторичных электронах. Режим высокого массового разрешения, Картирование в режиме высокого пространственного разрешения. Компромиссный режим Bunch mode и особенности работы в нём. Режим MCs, его возможности для полуколичественного анализа металлов. PCMA как инструмент расшифровки химического состава сложных соединений. G-SIMS для очистки спектра от излишней фрагментации. Особенности измерения и обработки спектров на неровных поверхностях. Измерение нестандартных областей образца. Измерение профилей легирования. Воссоздание трёхмерной структуры. Работа с 4D – базами данных. Работа с базой данных соединений.

   2. 
      Разделы дисциплин и виды занятий
      

6. 
   Лабораторный практикум
   

7. 
   Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины:
   

1. 
   Benninghoven, A., Chemical Analysis of INorganic and Organic Surfaces and Thin Films by Static Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (ToF-SIMS), 1994, Angewandte Chemie International (in English), vol 33 #10, 1023-1043.
   
2. 
   J. C. Vickerman, David Briggs, ToF-SIMS: surface analysis by mass spectrometry
   

1. 
   Ian Gilmore, Surface analysis: the principal techniques
   
2. 
   Bruno W. Schueler, Time-of-Flight Mass Analysers Physical Electronics,
   

• 
  http://www.uniyar.ac.ru
  

8. 
   Материально-техническое обеспечение дисциплины:
   

• 
  Оборудование Центра коллективного пользования диагностики микро- и наноструктур, компьютеры с доступом в Интернет