Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования
|
«Московский государственный технический университет
имени Н.Э. Баумана»
(МГТУ им.Н.Э. Баумана)
|
УТВЕРЖДАЮ
Первый проректор —
проректор по учебной работе
МГТУ им. Н.Э. Баумана
________ Б.В. Падалкин «___» _____________ 201_ г.
Регистрационный номер
Программа учебной дисциплины
Процессы и оборудование микротехнологии
Авторы программы:
Профессор Ю.В. Панфилов
Профессор Ю.Б. Цветков
Кафедра МТ-11, «Электронные технологии в машиностроении»
Виды учебной работы
|
Объем в часах по семестрам
|
Всего
|
05 семестр
17 недель
|
06семестр
17 недель
|
Лекции
|
59
|
34
|
34
|
Семинары
|
60
|
34
|
34
|
Лабораторные работы
|
17
|
17
|
|
Практические занятия
|
|
|
|
Итого аудиторные занятия
|
153
|
85
|
68
|
Самостоятельная работа
|
85
|
51
|
17
|
Трудоемкость, час
|
221
|
136
|
85
|
Трудоемкость, зач.единицы
|
7
|
5
|
2
|
Оценка знаний:
|
|
Экзамен
|
Экзамен
|
Наименование направления
|
Шифр направления
|
Электроника и наноэлектроника
|
210100
|
Москва, 201_ г.
1. Цель изучения дисциплины
Цель изучения дисциплины - освоение системы общих принципов, положений и методов построения наукоемких технологических процессов на примере микротехнологии; приобретение базовых знаний о номенклатуре, возможностях и перспективах развития процессов и оборудования микротехнологий, освоение методов анализа уровня качества технологических процессов, приобретение практических навыков реализации ключевых процессов микротехнологии.
2. Место дисциплины в структуре ООП бакалавриата
Дисциплина входит в профессиональный цикл ООП бакалавриата.
Изучение дисциплины предполагает предварительное освоение следующих дисциплин учебного плана:
Иностранный язык (модуль «Профессиональная и научная терминология»).
Математический анализ (модуль «Дифференциальное исчисление функций одного переменного»).
Аналитическая геометрия (модули «Векторная алгебра», «Матрицы и системы линейных алгебраических уравнений»).
Интегралы и дифференциальные уравнения.
Линейная алгебра и функции многих переменных.
Информатика.
Физика (модули «Физические основы термодинамики», «Электричество и магнетизм», «Электромагнитные волны и оптика», «Основы квантовой теории», «Физика твердого тела».
Химия (модули «Строение вещества», «Общие закономерности протекания химических процессов», «Химические и электрохимические процессы в растворах», «Химия элементов»).
Электронная компонентная база» (модуль Физические процессы в полупроводниковых структурах», модуль «Полупроводниковые приборы).
Физико-химические основы электронных технологий
Освоение данной дисциплины необходимо как предшествующее для следующих дисциплин ООП:
Термовакуумные процессы и оборудование
Проектирование оборудования электронной техники
Системы автоматического управления
Технологические комплексы электроники
Прецизионные механизмы микро и наноперемещений
Конструкторско-технологический практикум
3. Требования к результатам освоения содержания дисциплины
Процесс изучения дисциплины направлен на формирование элементов следующих компетенций в соответствии с ОС МГТУ им. Н.Э. Баумана по данному направлению.
Выпускник должен обладать следующими общекультурными компетенциями:
Познавательные компетенции (П):
способность воспринимать математические, естественнонаучные, социально-экономические и профессиональные знания, умение самостоятельно приобретать и применять их при решении базовых профессиональных и социальных задач (П-1);
культура мышления, способность выстраивать логику рассуждений и высказываний, основанных на интерпретации соответствующих данных (П-2);
способность анализировать и оценивать уровни своих компетенций в сочетании с готовность к непрерывному образованию, в том числе обучению в магистратуре, переобучению и самообучению, профессиональной мобильности (П-3);
свободное владение русским языком как средством делового общения и обмена научно-технической информацией (П-4);
владение, по крайней мере, одним из иностранных языков на уровне социального и профессионального общения (П-5);
способность к поиску, хранению, переработке и трансляции информации посредством современных компьютерных технологий, в том числе, в глобальных компьютерных сетях (П-6);
способность анализировать профессиональную информацию, выделять в ней главное, структурировать, оформлять и представлять в виде реферативных обзоров (П-7).
Творческие компетенции (Т):
способность выявлять, формулировать, преобразовывать поставленную задачу и принимать верные решения на основе имеющихся знаний, умений и навыков (Т-1);
способность к самостоятельному выбору способа решения проблемы из альтернативных вариантов на основе выявления и устранения противоречий в системе (Т-2);
способность к переносу знаний из одной области в другую для генерации идей (Т-3);
способность решать нестандартные задачи, в том числе за пределами профессионального поля деятельности (Т-4).
Социально-личностные компетенции (СЛ):
способностью строить в коллективе конструктивные отношения, эффективно работать в творческих группах, создавать в коллективе отношения сотрудничества, использовать методы конструктивного разрешения конфликтных ситуаций, в том числе, в мультикультурной профессиональной среде (СЛ-1);
способность соблюдать общепринятые в социальном межкультурном взаимодействии нормы морали и права, уважать историческое наследие и культурные традиции, толерантно воспринимать социальные и культурные различия (СЛ-2);
готовность участвовать в принятии групповых решений, разрешать конфликты ненасильственно, участвовать в поддержании и улучшении демократических институтов (СЛ-3);
владение культурой безопасности, экологическим сознанием и риск-ориентированным мышлением, при котором вопросы безопасности и сохранения окружающей среды рассматриваются в качестве важнейших приоритетов в жизни и деятельности (СЛ-4);.
способность формировать и отстаивать свою гражданскую позицию на основе патриотизма, осознания социальной значимости своей будущей профессии, устойчивой мотивации к профессиональной деятельности, ощущения принадлежности к выдающимся научно-педагогическим школам Университета и приверженности к корпоративным ценностям ИМТУ-МВТУ-МГТУ им. Н.Э. Баумана (СЛ-5);
готовность к самостоятельной работе, владение методами достижения высокой работоспособности и обеспечения эффективности своих действий, владеть приемами защиты от эмоциональной перегрузки (СЛ-6)
Выпускник должен обладать следующими профессиональными компетенциями в различных областях деятельности.
Общепрофессиональные компетенции (ОП):
способность выполнять и редактировать изображения и чертежи при подготовке конструкторско-технологической документации с использованием методов начертательной геометрии и инженерной графики, в том числе на базе современных систем автоматизации проектирования (ОП-1);
готовность проводить расчёты, оценку функциональных возможностей и проектировать наиболее распространенных деталей и узлов машин, механизмов, приборов (ОП-2);
способность использовать методы и средства метрологии для измерения физических величин, проводить сертификацию средств измерения, использовать стандарты и другие нормативные документы при оценке, контроле качества и сертификации продукции (ОП-3);
способность анализировать, рассчитывать и моделировать электрические и магнитные цепи, электротехнические и электронные устройства, электроизмерительные приборы для решения профессиональных задач (ОП-4);
способность использовать в профессиональной деятельности принципы современных промышленных технологий, сведения о материалах и способах их получения и обработки (ОП-5);
способность поддерживать комфортное состояние среды обитания в зонах трудовой деятельности человека, идентифицировать негативные воздействия среды обитания, разрабатывать и реализовывать меры защиты производственного персонала, населения и среды обитания от возможных последствий аварий, катастроф, стихийных бедствий (ОП-6).
Компетенции в проектно-конструкторской деятельности (ПР):
способность проводить предварительное технико-экономическое обоснование проектов (ПР-1);
способность осуществлять сбор и анализ исходных данных для обоснованного выбора, расчета и проектирования элементов технологического оборудования различного функционального назначения с использованием средств автоматизации проектирования (ПР-2);
способность разрабатывать проектную и техническую документацию, оформлять законченные проектно-конструкторские работы (ПР-3);
готовность осуществлять контроль соответствия разрабатываемых проектов и технической документации стандартам, техническим условиям и другим нормативным документам (ПР-4).
Компетенции в производственно-технологической деятельности (ПТ):
готовность внедрять результаты разработок в производство (ПТ-1);
способность выполнять работы по технологической подготовке производства материалов и изделий электронной техники (ПТ-2);
способность готовить документацию и участвовать в работе системы менеджмента качества на предприятии (ПТ-3);
готовность организовывать метрологического обеспечение производства материалов и изделий электронной техники (ПТ-4);
способность осуществлять контроль соблюдения экологической безопасности (ПТ-5);
владение основными методами защиты производственного персонала и населения от возможных последствий аварий, катастроф, стихийных бедствий (ПТ-6).
Компетенции в научно-исследовательской деятельности (НИ):
способность собирать, анализировать и систематизировать отечественную и зарубежную научно-техническую информацию по профессиональной тематике (НИ-1);
способность владеть основными приемами планирования, обработки и представления экспериментальных данных (НИ-2);
способность применять физические и математические модели технологических процессов и оборудования для производства и изделий электронной и микросистемной техники, микро- и наноэлектроники, а также использовать стандартные программные средства их компьютерного моделирования (НИ-3);
способность обоснованно выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров технологических процессов и оборудования для производства и изделий электронной и микросистемной техники, микро- и наноэлектроники, а также использовать стандартные программные средства их компьютерного моделирования (НИ-4);
готовность анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций (НИ-5);
Компетенции в организационно-управленческой деятельности (ОУ):
способность организовывать работу малых групп исполнителей (ОУ-1);
готовность участвовать в разработке организационно-технической документации (графиков работ, инструкций, планов, смет) установленной отчетности по утвержденным формам (ОУ-2);
способность выполнять задания в области сертификации технических средств, систем, процессов, оборудования и материалов (ОУ-3);
способность владеть методами профилактики производственного травматизма, профессиональных заболеваний, предотвращения экологических нарушений (ОУ-4).
Выпускник МГТУ им. Н.Э. Баумана по профилю подготовки «Электронное машиностроение» программы бакалавриата должен обладать следующими профильно-специализированными компетенциями (ПСК):
Способность проводить технологический анализ изделий электронной техники, микро- и наноэлектроники различного функционального назначения и выявлять лимитирующие факторы, ограничивающие возможность или эффективность технологического процесса (ПСК-1).
Способность применять методы управления качеством наукоемких технологических процессов, включая измерение параметров процессов, их анализ физическими и статистическими методами, коррекцию параметров процессов (ПСК-2).
Способность обосновывать требования к основным параметрам технологического оборудования (ПСК-3).
Владение методами расчета и выбора режимов технологического процесса и параметров оборудования по критериям качества изделий, быстродействия, надежности (ПСК-4).
Способность проводить системный анализ технологического оборудования как совокупности иерархически связанных механических, электронных и программных подсистем, взаимодействующих между собой материальными, энергетическими и информационными потоками (ПСК-5).
Умение выделять и анализировать целевой, механический, энергетический и информационный интерфейсы различных компонентов технологического оборудования и формулировать на них обоснованные технические задания и технические предложения (ПСК-6).
Готовность проводить обоснованный выбор механизмов и устройств, обеспечивающих реализацию технологических требований к производственному и контрольно-диагностическому оборудованию (ПСК-7).
Способность анализировать пути повышения производительности технологического оборудования с помощью циклограмм и результатов эксплуатационных исследований (ПСК-8).
Владение методами сравнительной оценки и выбора вариантов прецизионных электро-механических приводов в зависимости от их функционального назначения и на основе анализа параметров технологических движений (ПСК-9).
Владение методами сравнительной оценки и выбора вариантов термического оборудования для реализации технологических процессов изготовления изделий электронной техники, микро- и наноэлектроники различного функционального назначения (ПСК-10).
Умение учитывать влияние газовой и вакуумной технологической среды на качество элионных процессов и выбирать способы и средства для достижения требуемых параметров среды (ПСК-11).
Владение методами анализа и обоснованного выбора, расчета и конструирования типовых газовых и вакуумных систем и элементов вакуумного технологического и исследовательского оборудования (ПСК-12).
Способность осваивать и эксплуатировать аппаратное и программное обеспечение систем управления технологическим оборудованием (ПСК-13).
Владение навыками анализа, систематизации и типизации данных предметной области для создания информационной модели объекта (ПСК-14).
Способность разрабатывать реляционные базы данных для накопления и анализа информации по оборудованию и экспериментам (ПСК-15).
4. Структура и содержание дисциплины
Семестр 5
5+3
|
Трудоемкость в кредитн. ед.
|
Часы общ./ауд.
|
Контрольные мероприятия
|
Рейтинг
мин. / макс.
|
Модуль 1
|
1,0
|
21/12
|
Тест
|
8/15
|
Модуль 2
|
1,0
|
28/16
|
Тест
|
8/15
|
Модуль 3
|
1,5
|
43/28
|
Тест
|
22/35
|
Модуль 4
|
1,5
|
44/29
|
Тест
|
22/35
|
ИТОГО
|
5,0
|
136/85
|
|
60/100
|
Семестр 6
4+1
|
Трудоемкость в кредитн. ед.
|
Часы общ./ауд.
|
Контрольные мероприятия
|
Рейтинг макс./мин
|
Модуль 5
|
0,7
|
30/24
|
Тест
|
20/33
|
Модуль 6
|
0,7
|
30/24
|
Тест
|
20/33
|
Модуль 7
|
0,6
|
25/20
|
Тест
|
20/34
|
ИТОГО
|
2,0
|
85/68
|
|
60/100
|
|
