Отчет государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования
Скачать 1.22 Mb.
|
Укрепление материально-технического оснащения университетаСовременная электроника является одной из наиболее динамично развивающихся отраслей науки и производства. Удовлетворение ожиданий работодателей и обучающихся по тематическим направлениям «Микро- и наноэлектроника» и «Радиоэлектронные устройства и системы» возможно только при наличии в структуре университета развитой учебно-лабораторной и научно-исследовательской базы, обеспечивающей практическое освоение современных методов полного технологического цикла создания изделий электроники. Укрепление материально-технического оснащения вуза решает не только задачу повышения качества предоставляемых образовательных услуг и расширения спектра научных исследований, но и является главным стимулом развития кадрового потенциала университета. С одной стороны, современные программно-технологические комплексы обеспечивают высокий уровень проводимых исследований и разработок; с другой, научно-педагогические работники получают серьезную мотивацию к совершенствованию содержания реализуемых учебных курсов и образовательных программ. Укрепление материально-технического оснащения университета осуществлялось в рамках Мероприятия 1 и было направлено на развитие приборно-технологической базы научных исследований и учебного процесса, создание лабораторий мирового уровня и повышение эффективности научно-инновационной и образовательной деятельности. Мероприятие осуществля-лось как продолжение работ по развитию инфраструктуры МИЭТ, проводившейся в рамках инновационной образовательной программы «Современное профессиональное образование для российской инновационной системы в области электроники», Федеральной адресной инвестиционной программы на 2007г., ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 – 2010 годы». В рамках мероприятия осуществлена закупка оборудования и программно-технических комплексов, обеспечивающих дооснащение и модернизацию структурных подразделений образовательного и научно-исследовательского комплексов МИЭТ. Мероприятие в целом направлено на интеграцию подразделений МИЭТ в единое научно-исследовательское и учебно-лабораторное пространство, расширяющее возможности научной и образовательной деятельности вуза. Для обеспечения эффективного проведения комплексных работ по исследованию микро- и наносистем, локальной модификации, наномате-риалов и наноструктур, проведения НИР в области диагностики электронно-микроскопическими методами и нанометрологии на современном мировом уровне в НИУ МИЭТ в составе ЦКП «Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов» создана лаборатория мирового уровня «Электронно-микроскопическая нанодиагностика» (ЛЭМН). Лаборатория оснащена следующим оборудованием. 1. Электронно-ионный растровый микроскоп Helios NanoLab 650. Электронно-ионный растровый микроскоп Helios NanoLab 650 (США), удовлетворяющий самым современным требованиям, приобретен в рамках реализации программы развития НИУ МИЭТ. Он относится к новому поколению приборов, предназначенных для измерения геометрических параметров, исследований и анализа внутреннего строения и модификации наноструктур и нанообъектов. Электронная колонна оснащена катодом с полевой эмиссией электронов и монохроматором, что обеспечивает получение высококонтрастных изображений с субнанометровым разрешением в диапазоне ускоряющих напряжений от 50 В до 30 кВ. Ионная колонна в виде системы с фокусированным ионным пучком позволяет совмещать операции модификации подложек, наноструктур, нанообъектов с одновременным выполнением анализа и контроля процесса модификации электронным лучом. Микроскоп оснащен широким набором детекторов, обеспечивающих проведение прецизионного топографического, и химического микроанализа, а также исследование тонкой фольги в просвечивающем режиме. Химический микроанализ выполняется для элементов периодической системы, начиная с бериллия. Специальные инжекционные системы, которые могут устанавливаться в колонне микроскопа, позволяют проводить до десяти химических процессов, включающих операции травления и нанесения, как металлов, так и диэлектриков. В настоящее время микроскоп укомплектован инжекционной системой для нанесения платины. Система позиционирования исследуемого объекта оснащена 5-ти осевым программно-управляемым предметным столиком, обеспечивающим перемещение исследуемого образца с высокой точностью в диапазоне 150×150×10 мм. В состав микроскопа входит манипулятор, позволяющей приготавливать тонкую фольгу для просвечивающей электронной микроскопии, а также программное обеспечение для препарирования такой фольги в автоматизированном режиме. Важная особенность оборудования Helios NanoLab 650 заключается в возможности удаления радиационных нарушений, образующихся в процессе препарирования тонкой фольги. Такая возможность обеспечивается применением низковольтного режима финишной обработки образцов. Микроскоп Helios NanoLab 650 размещен в помещении с классом чистоты 7ИСО согласно ГОСТ Р 14644-1-2000. Технические параметры микроскопа Helios NanoLab 650. Электронный пучок: ускоряющее напряжение - 50 В ÷ 30 кВ; разрешение - 0.8 нм - 15 кВ, 0.9 нм - 1 кВ; ток пучка <= 26 нА; Ионный пучок: ускоряющее напряжение - 500 В ÷ 30 кВ; разрешение - 4,5 нм - 30 кВ; ток пучка - 1.5 пА ÷ 65 нА; Рабочая камера: максимальный размер загружаемой пластины - 150 мм; максимальный вес образца - 500 г; вакуум < 2.6 ·10-6 мбар. 2. Просвечивающий электронный микроскоп Philips CM-30 (Нидерланды), с приставкой рентгеноспектрального анализа состава образцов и рентгеновского микроанализа EDX Link AN 10000/85, системой оцифровки изображений на базе ССD камеры TEM Camera KeenView 30 совместно с аппаратно-программным комплексом цифровой обработки изображений Soft Imaging Workstation Extended. Основные технические характеристики просвечивающего микроскопа Philips CM-30: разрешение - 0,2 нм; ускоряющее напряжение до 300 кВ; катод - из гексаборида лантана (LaB6), локальный микроанализ элементов, начиная с кислорода с определением массовой доли до 1 %. 3. Растровый электронный микроскоп FEI XL-40 (США) с приставкой рентгеноспектрального микроанализа, оснасткой для покадровой съемки объектов на поверхности образца, состоящей из высокопрецизионного столика Kleindiek (точность перемещения столика – 0,5 нм, скорость перемещения - 2 мм/сек, величина дрейфа - 1 нм/мин) и персонального компьютера с программным обеспечением для управления покадровой съемкой. Основные технические характеристики растрового электронного микроскопа FEI XL-40: ускоряющее напряжение - до 30кВ; разрешающая способность -менее 5 нм; тип катода- вольфрамовый (W) или из гексаборида лантана (LaB6); локальный микроанализ элементов, начиная с кислорода с определением массовой доли до 1 %; размер камеры - 379 мм. 4. Система с фокусированным ионным пучком FEI FIB-200 (США) (разрешение – около 7 нм), укомплектованная микроманипулятором компании Kleindiek Nanotechnik (Германия), предназначенным для широкого спектра манипуляций с нанообъектами: перемещения и модификации, подготовки образцов для просвечивающей электронной микроскопии. 5. Линия приготовления электронно-микроскопических образцов, включающая оборудование и оснастку для механической шлифовки и полировки объектов, систему ионного травления компании Gatan PIPS Model 601 (США) (энергия ионного пучка - 1,5 – 6,0 кэВ, плотность ионного тока - 10 мА/cм2, угол падения пучка 0 - 10 градусов), которая позволяет контролируемым способом управлять процессом травления поверхности образца. 6. Система сухого ионного травления RIE-1C фирмы SAMCO Inc. для операций травления поверхности полупроводниковых микро- и наноструктур, наноразмерных пленок и нанообъектов. Для обеспечения метрологических возможностей электронно-микроскопического оборудования лаборатория располагает мерой ширины и периода МШПС-2.0К с программой обработки видео-изображений MSHPS-NDPL, что позволяет осуществлять функции передачи размера единицы длины в диапазоне 1 нм÷0,1 мм, калибровки и поверки растрового электронного микроскопа в соответствии с требованиями ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки» и ГОСТ Р 8.636-2007 «Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки». Для калибровки систем микроанализа имеется набор тестовых образцов, включающий 44 стандартных образца металлов. Для реализации своих функций оборудование ЛЭМН размещено в специализированных помещениях, созданных на основе использования элементов конструкций «чистых комнат», антистатического напольного покрытия, систем вентиляции и кондиционирования воздуха, в которых на площади около 140 кв. м обеспечивается класс чистоты 8ИСО согласно ГОСТ Р 14644-1-2000, в том числе в одном из помещений размером 25 кв. м класс чистоты удовлетворяет требованиям 7ИСО. Помещения характеризуются низким уровнем вибрации и электромагнитных полей. Их эксплуатация и допуск в них персонала осуществляется в соответствии с требованиями указанного ГОСТа. Функционирование оборудования обеспечивается системами подачи сжатого воздуха, осушенного газообразного азота, оборотной воды. Сжатый воздух применяется в системах компенсации механических вибраций, управления работой части оборудования. Он подается по магистрали с помощью компрессоров производства компании Jun-Air. Сухой газообразный азот применяется для заполнения вакуумных объемов при загрузке образцов в рабочую камеру или проведении профилактических и ремонтных работ. Он подается в магистраль из танка с жидким азотом. Оборотная вода исполь-зуется для охлаждения высоковакуумных насосов и электронных линз. Система водяного охлаждения высоковакуумных насосов и электронных линз представляет собой индивидуальные замкнутые контуры с охлаж-дающей жидкостью. Охлаждающей жидкостью служит деионизованная вода. Охлаждение осуществляется рефрижератором. Теплый воздух отводится наружу по специальной магистрали за пределы здания, в котором расположено оборудование ЛЭМН. Электропитание оборудования производится от сети 220 - 230 В, частотой 50 Гц, ±6%. На критически важных по электропитанию участках установлены источники бесперебойного питания. Материально-техническая база и научный потенциал ЛЭМН будут использованы при реализации инновационных образовательных учебных программ, для повышения квалификации специалистов и при подготовке кадров высшей квалификации, в том числе при проведении спецкурсов для студентов старших курсов по диагностике микро- и наноструктур и нанообъектов, электронно-микроскопическим методам исследования, включающих теоретические занятия и лабораторный практикум с исполь-зованием научно-исследовательского оборудования лаборатории и разработанных ее специалистами учебно-методических материалах и для подготовки дипломных работ и магистерских диссертаций. Ранее в НИЧ МИЭТ была создана сертифицированная лаборатория радиооборудования информационно-управляющих систем, которая оснащена современным измерительным оборудованием выпускаемом фирмами Agilent Technologies, Tektronix, GWInstek, в составе: - генератор векторный E8267D до 20 ГГц; - генератор E8257D до 40 ГГц; - векторный анализатор цепей E8363B до 40 ГГц; - векторный анализатор цепей N5230A до 40 ГГц; - анализатор спектра E4440A до 26.5 ГГц; - измеритель коэффициента шума N8975A до 26.5 ГГц; - осциллограф TDS 2024B. Данное оборудование позволило поднять на качественно новый уровень научные исследования МИЭТ в сфере СВЧ техники, расширило возможности при выполнении хоздоговорных и госбюджетных работ. Наличие данной лаборатории позволило успешно провести в МИЭТ разработку самолетной радиолокационной станции обнаружения осадков в атмосфере сантиметрового диапазона, а также радиолокатора сантиметрового диапазона морского базирования для определения степени волнения морской поверхности, кромки льда, нефтяных пятен и обнаружения малоразмерных судов в радиусе до 10 км. Необходимо заметить, что современная техника развивается стремительно, постоянно совершенствуя методики измерения параметров, улучшая точности измерения, открывая новые возможности по интеграции, комплексной разработке ячеек, блоков, систем и исследованию их параметров. В частности с развитием компьютерной техники, ПО и создания принципиально новых подходов к сбору обработке информации, всё больше современных задач требует математического моделирования, совмещённого с реальными измерениями. Кроме того, необходимо отметить ряд научно-технических задач, из которых наиболее перспективными в настоящее время являются: повышение разрешающей способности и быстродействия радиолокационных систем гражданского и специального назначения, например, для контроля окружающей среды, навигации и охраны территории в сантиметровом диапазоне частот, интеграция цифровой и аналоговой частей в современных радиоинформационных системах и исследование новых принципов формирования и обработки сигналов, в системах на основе цифровых антенных решеток. Анализ вышеперечисленных проблем позволил сформировать комплекс научно-исследовательского оборудования, который, в совокупности с уже имеющимся, позволяет их решить. В состав данного комплекса входят такие приборы как: широкополосный модулятор аналоговых сигналов, широкополосный цифровой осциллограф, прецизионные источники питания, учебно-исследовательское оборудование National Instruments. Достоинством этого комплекса является то, что оно совместимо с уже работающим оборудованием. Необходимо подчеркнуть модульную структуру совокупности оборудования, которая позволяет гибко конфигурировать сложные измерительные установки различного назначения и проводить дальнейшую модернизацию оборудования под решение будущих задач. Дополнительным преимуществом комплекса является относительно простая интеграция с современным специализированным ПО. Реализация программы развития НИУ МИЭТ включает также решение задач, связанных с дальнейшим развитием и совершенствованием материально-технического оснащения учебного процесса, в том числе при изучении дисциплин естественно-научного цикла подготовки бакалавров. К числу базовых дисциплин относится курс «Физика», преподавание которого осуществляется для студентов всех технических факультетов университета. Важнейшую роль при изучении физических законов и явлений и для приобретения навыков экспериментальной научно-исследовательской деятельности, особенно по ПНР-1 «Микро- и наноэлектроника», играет физический практикум. Для организации лабораторного практикума по физике на качественно новом учебно-методическом уровне, соответст-вующем задачам разрабатываемых инновационных образовательных программ НИУ МИЭТ, были осуществлены мероприятия по оснащению кафедры общей физики современными учебно-лабораторными комплексами, изготовленными компанией «PHYWE», Германия. Эти комплексы отличаются продуманностью организации физического эксперимента, высоким уровнем технического исполнения, применением автомати-зированных компьютерных систем для снятия экспериментальных данных и их последующей обработки. Имеющийся опыт эксплуатации комплексов свидетельствует об их надежности и удобстве использования при проведении лабораторных работ. Приобретенные учебно-лабораторные комплексы, используемые при изучении курса «Механика», включают пять типов установок, которые позволят экспериментально изучать закон Гука, действие центробежной силы, колебания связанных маятников и струн, измерять моменты инерции различных тел, проводить эксперименты, подтверждающие теорему Штейнера. Для изучения законов молекулярно-кинетической теории и термодинамики приобретены четыре вида лабораторных комплексов, позволяющих изучать уравнение состояния идеального газа, распределение скорости Максвелла, измерять теплоемкость газов и теплопроводность различных материалов. Для лабораторного практикума, используемого при изучении курса «Атомная физика и строение вещества» приобретены учебно-лабораторные комплексы семи типов. Они позволяют проводить экспери-менты по измерению удельного заряда электрона, выполнять опыт Франка и Герца, исследовать спектральные линии атома водорода, изучать эффект Зеемана, комптоновское рассеяние рентгеновских лучей, эффект Холла. Большинство перечисленных комплексов приобретено в двух экземплярах, что позволяет обеспечить полноценными рабочими местами студентов всей студенческой группы. В целом, дооснащение лабораторий университета позволяет существенно усилить подготовку специалистов по таким направлениям как «Нанотехнология в электронике» (210601), «Электроника и микроэлектро-ника» (210100), «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы» (010803), «Микроэлектроника и твердотельная электроника» (210104), и др. |
Похожие:
 | Отчет о результатах самообследования филиала государственного образовательного учреждения Отчет по результатам самообследования филиала государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования... | | Отчет о результатах самообследования государственного образовательного... Государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования российская правовая академия |
| Учебное пособие Челябинск 2004 Челябинский институт (филиал) Государственного... Государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования | | Отчет о самообследовании забайкальского института железнодорожного... Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования |
 | Отчет о результатах самообследования филиала федерального государственного... Филиала федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования | | Отчет о самообследовании Федерального государственного образовательного... Отчет о самообследовании Федерального государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «морской... |
| Отчет по результатам самообследования Ноябрьского филиала Негосударственного... Ноябрьский филиал Негосударственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Московский финансово-промышленный... | | Отчет о результатах самооценки Махачкалинского филиала федерального... Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Российская академия народного... |
| Отчет государственного бюджетного образовательного учреждения среднего... Основные задачи колледжа в соответствии с концепцией развития образовательного учреждения | | Отчет государственного образовательного учреждения среднего профессионального... Основные задачи училища в соответствии с концепцией развития образовательного учреждения |
| Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения... Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования | | Публичный отчет о проделанной работе краевого государственного бюджетного... Вид образовательного учреждения – техникум, реализующий основные профессиональные образовательные программы среднего профессионального... |
| Отчет по самообследованию Кировского областного государственного... Полное наименование образовательного учреждения: Кировское областное государственное образовательное автономное учреждение среднего... | | Отчет о самообследовании государственного бюджетного образовательного... Отчет рассмотрен на заседании Расширенного административного совета Государственного бюджетного образовательного учреждения среднего... |
| Отчет о результатах самообследования Государственного автономного... Государственного автономного образовательного учреждениЯ среднего профессионального образования | | Отчет о результатах самообследования калининградского филиала государственного... Калиниградский филиал государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «московский государственный... |
